【技术实现步骤摘要】
基板处理设备
[0001]本公开涉及制程设备,并且特别地涉及利用远程电浆源的基板处理设备。
技术介绍
[0002]国际半导体技术发展蓝图组织(International TechnologyRoadmap for Semiconductors,ITRS)指出,传统的CMOS制程已经接近极限,而持续的产业成长和持续缩减的每单位功能成本,将需要新的装置型态、新的封装架构和新的材料来因应。尤其当摩尔定律可能走到终点的时候,异质整合(HeterogeneousIntegration)正式成为半导体产业的发展方针。而采用封装制程的系统级封装(System in a Package,SiP)将会是最关键的技术,它是平衡性能多样化与成本的最佳解决方案。因应这个新架构,包含印刷电路、更薄的晶圆、以及主动/被动的嵌入式装置都会因此而兴起,然后用在封装的生产设备和制程材料也会有快速的变化,以满足新的架构需求。未来15年内,异质整合的布局会着重在组装(assembly)和封装(packaging)、测试、与导线互连 (interconnection)技术。
[0003]嵌入式芯片基板(Embedded die in substrate,EDS)、嵌入式被动元件基板(Embedded passive in substrate,EPS)、扇出型面板级封装(Fan
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out panel level package,FOPLP)等先进封装技术,一般采用包含介电绝缘材料、半导体元件芯片、金属导线 (Interconnect ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板处理设备,其特征在于,包含:腔室构件,其内定义有具宽深比的内部空间,所述腔室构件包括:成对的入口墙,彼此在横向上相对设置,每个所述入口墙具有入口,所述入口经配置以接收来自远程电浆源的输出;及装卸端口,布置在所述成对的入口墙之间,经配置以允许基板通过进入所述内部空间。2.如权利要求1所述的基板处理设备,其特征在于,所述内部空间的宽深比不大于1。3.如权利要求2所述的基板处理设备,其特征在于,所述装卸端口经配置以允许竖立设置的基板通过进入所述内部空间。4.如权利要求1所述的基板处理设备,其特征在于,其中,所述入口墙的所述入口具有第一几何平面轮廓,经配置来接收来自所述远程电浆源的输出;其中,每一个所述入口墙具有朝向所述腔室构件的所述内部空间设置的分配孔图案,其中,所述分配孔图案的中央区域投影重迭于所述入口,所述中央区域具有第二几何平面轮廓;其中,所述第一几何平面轮廓相异于所述第二几何平面轮廓。5.如权利要求4所述的基板处理设备,其特征在于,其中,位于所述分配孔图案的所述中央区域的通孔的宽度窄于位于所述分配孔图案中的环绕所述中央区域的周边区域的通孔的宽度。6.如权利要求5所述的基板处理设备,其特征在于,其中,所述分配孔图案形成于电浆分配部件上,所述电浆分配部件配置在所述入口的一侧且面向所述腔室构件的所述内部空间;其中,在所述电浆分配部件及所述入口墙之间,形成有电浆分布空间;其中,所述电浆分配部件的暴露于所述电浆分布空间的表面所具有的表面电阻值大于所述电浆分配部件的面向所述腔室构件的所述内部的表面电阻值。7.如权利要求6所述的基板处理设备,其特征在于,其中,所述入口墙当中的至少一者具有盖体部件,所述盖体部件可自所述腔室构件分离并且经配置以封闭所述腔室构件;其中,所述电浆分配部件可拆地安置于所述盖体部件;其中,所述电浆分配部件与所述盖体部件之间的交界面所具有的表面电阻值小于所述电浆分配部件暴露于所述电浆分布空间的表面所具有的表面电阻值。8.如权利要求4所述的基板处理设备,其特征在于,其中,所述腔室构件设有多个排气口,其等对称地设置于所述分配孔图案设置周围。9.如权利要求8所述的基板处理设备,其特征在于,其中,所述排气口分别设置于所述腔室构件的角落区域。10.如权利要求9所述的基板处理设备,其特征在于,其中,当接收所述基板时,所述基板定义了划分所述内部空间的等分平面;其中,所述排气口分布在所述等分平面的两侧。11.如权利要求10所述的基板处理设备,其特征在于,
其中,所述排气口设置于所述入口墙。12.如权利要求4所...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄一原,刘镒诚,
申请(专利权)人:凌嘉科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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