一种浸没冷却式感应耦合等离子体发生器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，包括：冷却法兰，盖板，石英管，感应线圈和外壳；所述外壳为中空的筒状体，所述冷却法兰和盖板分别安装在所述外壳的相对两端，且相互密封连接；所述石英管与所述外壳同轴的设置在所述外壳内，且所述石英管相对的两端分别与所述冷却法兰和所述盖板密封连接；所述感应线圈套设在所述石英管的外壁上，且所述感应线圈的接线端安装在所述盖板上；所述冷却法兰设置有用于输入冷却液的第一通道；所述外壳远离所述冷却法兰的一端的侧壁上设置有输出所述冷却液的第二通道。本实用新型专利技术可通过将冷却液输入至装置内部对感应线圈进行浸没冷却，极大的提高了本实用新型专利技术的散热效果。极大的提高了本实用新型专利技术的散热效果。极大的提高了本实用新型专利技术的散热效果。

【技术实现步骤摘要】
一种浸没冷却式感应耦合等离子体发生器


[0001]本技术涉及等离子体发生器领域，尤其涉及一种浸没冷却式感应耦合等离子体发生器。

技术介绍

[0002]现有技术中，感应等离子体发生器的冷却方式通常为将感应线圈的内部通水冷却，受到线圈尺寸的限制，冷却水量较少，冷却效果有限，且石英管壁无法进行冷却，导致感应等离子体发生器通常处于高温运行状态，严重影响内部线圈和其他结构的使用安全性和使用寿命。另外，现有的感应等离子体发生器结构复杂，在更换线圈时还要对冷却水路重新进行安装，极为不便。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，解决散热效果差的问题。
[0004]为实现上述技术目的，本技术提供一种浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，包括：冷却法兰，盖板，石英管，感应线圈和外壳；
[0005]所述外壳为中空的筒状体，所述冷却法兰和盖板分别安装在所述外壳的相对两端，且相互密封连接；
[0006]所述石英管与所述外壳同轴的设置在所述外壳内，且所述石英管相对的两端分别与所述冷却法兰和所述盖本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，其特征在于，包括：冷却法兰(11)，盖板(12)，石英管(13)，感应线圈(14)和外壳(15)；所述外壳(15)为中空的筒状体，所述冷却法兰(11)和盖板(12)分别安装在所述外壳(15)的相对两端，且相互密封连接；所述石英管(13)与所述外壳(15)同轴的设置在所述外壳(15)内，且所述石英管(13)相对的两端分别与所述冷却法兰(11)和所述盖板(12)密封连接；所述感应线圈(14)套设在所述石英管(13)的外壁上，且所述感应线圈(14)的接线端安装在所述盖板(12)上；所述冷却法兰(11)设置有用于输入冷却液的第一通道(111)；所述外壳(15)远离所述冷却法兰(11)的一端的侧壁上设置有输出所述冷却液的第二通道(151)。2.根据权利要求1所述的浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，其特征在于，沿所述冷却法兰(11)的周向所述第一通道(111)设置有多个。3.根据权利要求2所述的浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，其特征在于，所述冷却法兰(11)中间位置设置有阶梯通孔(112)；所述阶梯通孔(112)包括：第一部分(1121)和与所述第一部分(1121)同轴设置的第二部分(1122)；所述第一部分(1121)位于所述阶梯通孔(112)靠近所述外壳(15)的一端；所述第二部分(1122)的内径与所述石英管(13)的外径相匹配；所述第一部分(1121)的内径大于所述第二部分(1122)的内径。4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑鹏，吴建军，张宇，王墨戈，程玉强，车碧轩，李健，欧阳，赵元政，王昊义，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：新型
国别省市：