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本实用新型涉及一种浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，包括：冷却法兰，盖板，石英管，感应线圈和外壳；所述外壳为中空的筒状体，所述冷却法兰和盖板分别安装在所述外壳的相对两端，且相互密封连接；所述石英管与所述外壳同轴的设置在所述外壳内，且所述石英...
该专利属于中国人民解放军国防科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。

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