【技术实现步骤摘要】
一种多通道电弧等离子体源级联铜片水冷装置及其优化方法
[0001]本专利技术涉及低温等离子体
，是一种多通道电弧等离子体源级联铜片水冷装置及其优化方法。
技术介绍
[0002]等离子体是由电子、正负离子和中性粒子组成的非束缚宏观体系，是物质三种形态固体、液体、气体之后的第四态。据不完全统计已探明的物质中99％以上均以等离子体形势存在，但由于地球上存在的天然等离子体极少，为了追求对空间等离子体的探索与研究，自上世纪60年代以来，人们开展了对实验室等离子体科学的研究工作，这成为人们了解等离子体的一个重要途径，实验室产生等离子体主要有以下几种方式：直流放电等离子体、高频放电等离子体、射频放电等离子体、微波等离子体、燃烧、激光、紫外线等等，各种方式产生的等离子体有着不同的参数范围以及不同的应用领域。
[0003]电弧等离子体源属于直流电弧放电的一种，其产生可以追溯到1956年，采用转移电弧放电的方式产生均匀稳定的高密度等离子体，在特定条件下可产生大尺度、稳定、高离子通量(有轴向磁场约束的条件下)、高洁净度的等离子体射流...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多通道电弧等离子体源级联铜片水冷装置，其特征是：所述装置包括：圆柱形铜片、钼环、密封圈、不锈钢管道；多个圆柱形铜片堆叠在一起形成级联铜片，钼环中间设有多通道级联电弧源的放电通道，钼环圆心距铜片圆心10mm，三个钼环互相呈120
°
放置，密封圈的圆心与铜片圆心重合，铜片内部存在水冷通道与外部的不锈钢管道相连接。2.根据权利要求1所述的一种多通道电弧等离子体源级联铜片水冷装置，其特征是：圆柱形铜片的直径为60mm，厚度7mm，三个钼环的内径为2mm，外径为3mm。3.根据权利要求2所述的一种多通道电弧等离子体源级联铜片水冷装置，其特征是：钼环中间设有多通道级联电弧源的放电通道直径为2mm。4.根据权利要求3所述的一种多通道电弧等离子体源级联铜片水冷装置，其特征是：不锈钢管道包括入水不锈钢管道和出水不锈钢管道，通过银焊的方式将两个不锈钢管...
【专利技术属性】
技术研发人员：艾昕，聂秋月，张仲麟，黄韬，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
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