本实用新型专利技术涉及压电微泵技术领域，尤其是一种压电微泵的振动板及其压电微泵，该振动板包括振动部和配置在振动部外周的连接部，本实用新型专利技术的压电微泵的振动板一方面连接部除去窗口的部分均能够与支撑板固定连接，极大地提高了作为关键部件的振动板与支撑板之间的连接面积，增大了连接强度，降低了工作过程中连接失效的风险，另一方面，通过设置由内悬臂部、中间悬臂部和外悬臂部构成的悬臂结构，在有限的空间内等效增加了悬臂结构的长度和宽度，能够减小悬臂结构变形过程中悬臂结构与梁部以及悬臂结构与连接部之间连接位置处的应力集中，降低工作过程中，悬臂结构从根部断裂失效的风险，提高使用寿命。提高使用寿命。提高使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
一种压电微泵的振动板及其压电微泵
[0001]本技术涉及压电微泵
，尤其是一种压电微泵的振动板，此外，本技术还涉及一种包括上述压电微泵的振动板的压电微泵。
技术介绍
[0002]压电驱动型流体输送和控制装置具有结构紧凑，易微小型化，易集成，控制精度高，响应速度快，功耗低、寿命长、可靠性高等优点，在医疗、生物、化工等领域有着广泛的应用需求。
[0003]对此，现有技术中出现了一些压电微泵，如专利文献CN109869302A一种垂直支承微型压电泵，其挠性板(振动板)中的梁部为周向设置，导致梁部随致动器(压电振子)弯曲时，容易发生扭转变形，进而导致梁部的根部形成应力集中，容易发生断裂；
[0004]专利文献CN 111980887 A中公开了一种压电微泵的错层支承结构及气体控制装置，其共振板(振动板)中的悬臂为径向设置，虽然能够在梁部随压电振子弯曲时，可大幅度的降低扭转变形，但是其梁部均为设置在共振板的外周，势必会导致共振板与支承板之间的有效连接面积变小，存在连接失效的风险。
技术实现思路
[0005]本技术要解决的技术问题是：为了解决现有技术中压电微泵内的振动板无法同时兼具降低梁部变形过程中悬臂结构连接位置的应力集中及具有较大有效连接面积的问题，现提供一种压电微泵的振动板，此外，本技术提供一种包括上述压电微泵的振动板的压电微泵。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种压电微泵的振动板，所述压电微泵具有压电振子，所述振动板用于和压电振子配合，该振动板包括振动部和配置在振动部外周的连接部，所述振动部上贯穿有过流孔；
[0007]所述连接部上贯穿有至少一个窗口，所述窗口内具有用于和压电振子固定连接的连接悬臂，所述连接悬臂包括梁部及悬臂结构，所述悬臂结构包括内悬臂部、中间悬臂部和外悬臂部，所述内悬臂部和外悬臂部的数量总和大于三个，所述内悬臂部的一端均与窗口的内壁连接，另一端均与中间悬臂部的内侧壁连接，中间悬臂部的外侧壁和外悬臂部连接，外悬臂部远离中间悬臂部的一端和梁部连接，梁部远离外悬臂部的一端悬空。
[0008]本实施例中一方面连接部除去窗口的部分均能够与支撑板固定连接，极大地提高了作为关键部件的振动板与支撑板之间的连接面积，增大了连接强度，降低了工作过程中连接失效的风险，另一方面，通过设置由内悬臂部、中间悬臂部和外悬臂部构成的悬臂结构，在有限的空间内等效增加了悬臂结构的长度和宽度，能够减小悬臂结构变形过程中悬臂结构与梁部以及悬臂结构与连接部之间连接位置处的应力集中，降低工作过程中，悬臂结构从根部断裂失效的风险，提高使用寿命。
[0009]进一步地，所述内悬臂部和外悬臂部在振动部的周向上相互错开；也就是说内悬
臂部和外悬臂部与中间悬臂部的连接点彼此错开，便于等效增大悬臂结构的长度和宽度，使中间悬臂部受力相对均匀，避免中间悬臂部发生局部受力集中的现象。
[0010]优选地，所述内悬臂部和外悬臂部均具有两个；
[0011]对于内悬臂部和外悬臂部均具有两个的情况，其布局可采用以下两种方案：
[0012]其一为，两个所述内悬臂部分别位于中间悬臂部内侧壁的两端，两个所述外悬臂部均位于中间悬臂部外侧壁的中间部位。
[0013]其二为，两个所述内悬臂部均位于中间悬臂部内侧壁的中间部位，两个所述外悬臂部分别位于中间悬臂部外侧壁的两端。
[0014]进一步地，所述连接部与振动部一体成型，或者连接部与振动部固定连接。
[0015]进一步地，所述振动板为导电体。
[0016]进一步地，所述连接部为导电体。
[0017]进一步地，所述连接悬臂与连接部一体成型；或者连接悬臂与连接部固定连接。
[0018]进一步地，所述连接部的外侧边缘设有第二外部电极。
[0019]本技术还提供一种压电微泵，包括泵壳、压电振子及支撑结构，所述泵壳和支撑结构之间构建出容纳腔，支撑结构包括支撑板及设在支撑板上的振动板，所述振动板和压电振子均位于容纳腔内，所述的振动板为上述的用于压电微泵的振动板，所述支撑板朝向容纳腔的一侧和振动板的连接部固定连接，所述支撑板朝向振动板的一侧设置有凹陷槽，所述凹陷槽与振动部相对，并与振动板配合形成引流腔，支撑板上设置有与引流腔连通的进气孔，所述连接悬臂和压电振子固定连接，支撑板朝向振动板的一侧设有与连接悬臂位置对应的避让槽。
[0020]进一步地，所述振动板的连接部的外周边缘夹持在泵壳和支撑板之间。
[0021]本技术的有益效果是：本技术的压电微泵的振动板一方面连接部除去窗口的部分均能够与支撑板固定连接，极大地提高了作为关键部件的振动板与支撑板之间的连接面积，增大了连接强度，降低了工作过程中连接失效的风险，另一方面，通过设置由内悬臂部、中间悬臂部和外悬臂部构成的悬臂结构，在有限的空间内等效增加了悬臂结构的长度和宽度，能够减小悬臂结构变形过程中悬臂结构与梁部以及悬臂结构与连接部之间连接位置处的应力集中，降低工作过程中，悬臂结构从根部断裂失效的风险，提高使用寿命。
附图说明
[0022]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0023]图1是本技术一种压电微泵的振动板的示意图；
[0024]图2是本技术压电微泵的振动板配置在压电微泵内的示意图；
[0025]图3是本技术压电微泵的进气过程示意图；
[0026]图4是本技术压电微泵的出气过程示意图；
[0027]图中：1、泵壳，11、盖板，111、出气孔，12、第一隔板，13、电极板，131、第一外部电极，14、第二隔板；
[0028]2、压电振子，21、基板，211、连接凸台，22、压电元件；
[0029]3、振动板，31、振动部，311、过流孔，32、连接部，321、窗口，322、连接悬臂，3221、梁部，3222、内悬臂部，3223、中间悬臂部，3224、外悬臂部，323、第二外部电极；
[0030]4、支撑板，41、凹陷槽，42、避让槽，43、进气孔；
[0031]5、容纳腔；
[0032]6、引流腔。
具体实施方式
[0033]现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成，方向和参照(例如，上、下、左、右、等等)可以仅用于帮助对附图中的特征的描述。因此，并非在限制性意义上采用以下具体实施方式，并且仅仅由所附权利要求及其等同形式来限定所请求保护的主题的范围。
[0034]实施例1
[0035]如图1和2所示，一种压电微泵的振动板，所述压电微泵具有压电振子2，所述振动板3用于和压电振子2配合，该振动板3包括振动部31和配置在振动部31外周的连接部32，所述振动部31上贯穿有过流孔311；
[0036]所述连接部32上贯穿有至少一个窗口321，所述窗口本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种压电微泵的振动板，所述压电微泵具有压电振子(2)，所述振动板(3)用于和压电振子(2)配合，其特征在于：该振动板(3)包括振动部(31)和配置在振动部(31)外周的连接部(32)，所述振动部(31)上贯穿有过流孔(311)；所述连接部(32)上贯穿有至少一个窗口(321)，所述窗口(321)内具有用于和压电振子(2)固定连接的连接悬臂(322)，所述连接悬臂(322)包括梁部(3221)及悬臂结构，所述悬臂结构包括内悬臂部(3222)、中间悬臂部(3223)和外悬臂部(3224)，所述内悬臂部(3222)和外悬臂部(3224)的数量总和大于三个，所述内悬臂部(3222)的一端均与窗口(321)的内壁连接，另一端均与中间悬臂部(3223)的内侧壁连接，中间悬臂部(3223)的外侧壁和外悬臂部(3224)连接，外悬臂部(3224)远离中间悬臂部(3223)的一端和梁部(3221)连接，梁部(3221)远离外悬臂部(3224)的一端悬空。2.根据权利要求1所述的压电微泵的振动板，其特征在于：所述内悬臂部(3222)和外悬臂部(3224)在振动部(31)的周向上相互错开。3.根据权利要求1或2所述的压电微泵的振动板，其特征在于：所述内悬臂部(3222)和外悬臂部(3224)均具有两个。4.根据权利要求3所述的压电微泵的振动板，其特征在于：两个所述内悬臂部(3222)分别位于中间悬臂部(3223)内侧壁的两端，两个所述外悬臂部(3224)均位于中间悬臂部(3223)外侧壁的中间部位。5.根据权利要求3所述的压电微泵的振动板，其特征在于：两个所述内悬臂部(3222)均位于中间悬臂部(3223)内侧壁的中间部位，两个所述外悬臂部(3224)分别位于中间悬...
【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：常州威图流体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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