一种压电微泵的振动板及其压电微泵制造技术

本实用新型专利技术涉及压电微泵技术领域，尤其是一种压电微泵的振动板及其压电微泵，该振动板包括振动部和配置在振动部外周的连接部，本实用新型专利技术的压电微泵的振动板一方面连接部除去窗口的部分均能够与支撑板固定连接，极大地提高了作为关键部件的振动板与支撑板之间的连接面积，增大了连接强度，降低了工作过程中连接失效的风险，另一方面，通过设置由内悬臂部、中间悬臂部和外悬臂部构成的悬臂结构，在有限的空间内等效增加了悬臂结构的长度和宽度，能够减小悬臂结构变形过程中悬臂结构与梁部以及悬臂结构与连接部之间连接位置处的应力集中，降低工作过程中，悬臂结构从根部断裂失效的风险，提高使用寿命。提高使用寿命。提高使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种压电微泵的振动板及其压电微泵


[0001]本技术涉及压电微泵
，尤其是一种压电微泵的振动板，此外，本技术还涉及一种包括上述压电微泵的振动板的压电微泵。

技术介绍

[0002]压电驱动型流体输送和控制装置具有结构紧凑，易微小型化，易集成，控制精度高，响应速度快，功耗低、寿命长、可靠性高等优点，在医疗、生物、化工等领域有着广泛的应用需求。
[0003]对此，现有技术中出现了一些压电微泵，如专利文献CN109869302A一种垂直支承微型压电泵，其挠性板(振动板)中的梁部为周向设置，导致梁部随致动器(压电振子)弯曲时，容易发生扭转变形，进而导致梁部的根部形成应力集中，容易发生断裂；
[0004]专利文献CN 111980887 A中公开了一种压电微泵的错层支承结构及气体控制装置，其共振板(振动板)中的悬臂为径向设置，虽然能够在梁部随压电振子弯曲时，可大幅度的降低扭转变形，但是其梁部均为设置在共振板的外周，势必会导致共振板与支承板之间的有效连接面积变小，存在连接失效的风险。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电微泵的振动板，所述压电微泵具有压电振子(2)，所述振动板(3)用于和压电振子(2)配合，其特征在于：该振动板(3)包括振动部(31)和配置在振动部(31)外周的连接部(32)，所述振动部(31)上贯穿有过流孔(311)；所述连接部(32)上贯穿有至少一个窗口(321)，所述窗口(321)内具有用于和压电振子(2)固定连接的连接悬臂(322)，所述连接悬臂(322)包括梁部(3221)及悬臂结构，所述悬臂结构包括内悬臂部(3222)、中间悬臂部(3223)和外悬臂部(3224)，所述内悬臂部(3222)和外悬臂部(3224)的数量总和大于三个，所述内悬臂部(3222)的一端均与窗口(321)的内壁连接，另一端均与中间悬臂部(3223)的内侧壁连接，中间悬臂部(3223)的外侧壁和外悬臂部(3224)连接，外悬臂部(3224)远离中间悬臂部(3223)的一端和梁部(3221)连接，梁部(3221)远离外悬臂部(3224)的一端悬空。2.根据权利要求1所述的压电微泵的振动板，其特征在于：所述内悬臂部(3222)和外悬臂部(3224)在振动部(31)的周向上相互错开。3.根据权利要求1或2所述的压电微泵的振动板，其特征在于：所述内悬臂部(3222)和外悬臂部(3224)均具有两个。4.根据权利要求3所述的压电微泵的振动板，其特征在于：两个所述内悬臂部(3222)分别位于中间悬臂部(3223)内侧壁的两端，两个所述外悬臂部(3224)均位于中间悬臂部(3223)外侧壁的中间部位。5.根据权利要求3所述的压电微泵的振动板，其特征在于：两个所述内悬臂部(3222)均位于中间悬臂部(3223)内侧壁的中间部位，两个所述外悬臂部(3224)分别位于中间悬...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：常州威图流体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：