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一种压电微泵的振动板及其压电微泵制造技术
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文档序号:31460306
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本实用新型涉及压电微泵技术领域,尤其是一种压电微泵的振动板及其压电微泵,该振动板包括振动部和配置在振动部外周的连接部,本实用新型的压电微泵的振动板一方面连接部除去窗口的部分均能够与支撑板固定连接,极大地提高了作为关键部件的振动板与支撑板之间...
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