基于准分子激光器的终端监测方法、装置及系统制造方法及图纸

本发明专利技术涉及激光器领域，具体涉及一种基于准分子激光器的终端监测方法、装置及系统。该方法、装置及系统通过备用控制器实时检测主控制器的工作状态，以及实时监测各传感器的工作状态，并采集各传感器的工作信息；当备用控制器检测到主控制器发出的故障诊断信号时，则备用控制器获取主控制器的控制权限，主控制器停止工作；备用控制器与上位机之间通讯连接，并将获取到的工作状态以及工作信息实时发送至上位机；上位机判断各传感器的工作状态以及工作信息是否达到极限工作条件；若未达到极限工作条件，则上位机发出预警提示，并启动设备保护，便于管理人员及时维护，本发明专利技术基于准分子激光器的终端监测方法、装置及系统运行的可靠性高、维修成本低。维修成本低。维修成本低。

【技术实现步骤摘要】
基于准分子激光器的终端监测方法、装置及系统


[0001]本专利技术涉及激光器领域，具体而言，涉及一种基于准分子激光器的终端监测方法、装置及系统。

技术介绍

[0002]准分子激光器是一种面向深紫外特征应用的脉冲式气体激光器，具有高重频，大能量，短波长，窄线宽等特点，是优秀的微电子光刻系统用激光光源。
[0003]传统的放电泵浦准分子激光器参数采集监测终端系统，并未加双冗余控制器，不能监测各流量采集电路及比例阀控制电路的工作状态，也无法相互监测两控制器的工作状态。
[0004]随着激光器技术的发展，要求激光器连续运行不能停顿，从而要求对各模块及终端系统的要有持续正常运作的能力，可靠性再高的终端系统也很难保证零故障持续运行。
[0005]另外，因为单片机具有小巧灵活、易扩展成为强大的控制系统，故目前一些采集控制终端多以单片机为核心构成。但由于电磁干扰等原因即使使用按工业测控环境要求设计的单片机也难以保证控制系统能长期可靠的运行，从而影响到整个系统的可靠运行，且随着准分子激光器的发展，降低各模块维修成本是必然的。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于准分子激光器的终端监测方法，其特征在于，包括以下步骤：主控制器控制所述准分子激光器运行；备用控制器实时检测所述主控制器的工作状态，以及实时监测各传感器的工作状态，并采集各所述传感器的工作信息；当所述备用控制器检测到主控制器发出的故障诊断信号时，则所述备用控制器获取所述主控制器的控制权限，所述主控制器停止工作以及断开与上位机之间的通讯；所述备用控制器与所述上位机之间通讯连接；所述备用控制器将获取到的各所述传感器的工作状态以及工作信息实时发送至上位机；所述上位机判断各所述传感器的工作状态以及工作信息是否达到极限工作条件；若所述各所述传感器的工作状态以及工作信息未达到极限工作条件，则所述上位机发出工作正常的提示；若所述各所述传感器的工作状态以及工作信息达到极限工作条件，则所述上位机发出预警提示，并启动设备保护措施。2.根据权利要求1所述的基于准分子激光器的终端监测方法，其特征在于，在所述备用控制器实时检测主控制器的工作状态的步骤之后，所述方法还包括：当所述备用控制器检测到主控制器正常运行时，所述备用控制器将获取到的各所述传感器的工作状态以及工作信息实时发送至主控制器；所述主控制器与所述上位机之间保持通讯连接，并将接收到的各所述传感器的工作状态以及工作信息实时发送至所述上位机。3.根据权利要求1所述的基于准分子激光器的终端监测方法，其特征在于，所述备用控制器还监测供电电路的工作状态，以使所述供电电路故障时所述备用控制器发出预警提示。4.根据权利要求1所述的基于准分子激光器的终端监测方法，其特征在于，所述备用控制器实时检测主控制器的工作状态的步骤包括：所述备用控制器通过CAN总线实时检测所述主控制器的工作状态。5.一种基于准分子激光器的终端监测装置，其特征在于，包括：系统主控模块，用于主控制器控制所述准分子激光器运行；信息监测模块，用于备用控制器实时检测所述主控制器的工作状态，以及实时监测各传感器的工作状态，并采集各所述传感器的工作信息；权限获取模块，用于当所述备用控制器检测到主控制器发出的故障诊断信号时，则所述备用控制器获取所述主控制器的控制权限，所述主控制器停...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琴，冯泽斌，张华，廖密，王香，牟迪，江锐，黄利杰，马天龙，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：