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本发明涉及激光器领域，具体涉及一种基于准分子激光器的终端监测方法、装置及系统。该方法、装置及系统通过备用控制器实时检测主控制器的工作状态，以及实时监测各传感器的工作状态，并采集各传感器的工作信息；当备用控制器检测到主控制器发出的故障诊断信号...
该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。

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