本发明专利技术公开了一种样品托夹取装置，包括取样杆和弹性件，取样杆的第一端呈筒体结构，取样杆的第一端的外壁开设有样品托导槽和样品托摆动槽，样品托导槽贯穿第一端的端面且沿取样杆的轴向延伸，样品托摆动槽连通样品托导槽且沿取样杆的周向延伸；弹性件的一端固定在取样杆的第一端内，弹性件的另一端朝向第一端的端部延伸，用于在耳部沿样品托导槽插入取样杆时产生反向的弹性力，并在耳部沿样品托摆动槽摆动后将耳部弹性抵持在样品托导槽内。本发明专利技术还公开了一种样品托夹取方法和样品传递装置。本发明专利技术的样品托夹取装置的取样杆的尺寸也可以做得很小，使得样品托夹取装置可以满足真空互联系统的小空间内样品的抓取需求，并且可以应用到不同的设备中。应用到不同的设备中。应用到不同的设备中。
【技术实现步骤摘要】
一种样品托夹取装置及夹取方法、样品传递装置
[0001]本专利技术涉及真空机械领域，尤其涉及一种样品托夹取装置及夹取方法、样品传递装置。
技术介绍
[0002]由于在地球上的人造真空可以实现局域的超洁净环境，对特定材料的生长、制备以及科学研究具有重要的意义，如半导体晶圆生长、半导体体器件制备、电子扫描显微镜检测物体、透射电子显微镜检测材料的界面等过程，都是在人造真空环境下进行的。为更好的利用真空高洁净特性连续的研究材料生长、器件制备、性能的检测，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所设计并建造了一套真空互联系统。在该真空互联系统中，所有相关的材料生长、器件制备、性能检测的设备都利用真空管道进行了连接，并在互联的真空管道中布置了磁力推动样品传送小车，用来将研究的样品从一个设备传送至另一个设备，使得被研究样品本身在全生命周期内不必因为样品传送而暴露到大气中引入污染。
[0003]但在真空互联系统中存在一个值得注意的问题是：由于不同设备的存在，各设备构造可能都是按照自己本身的工艺特征进行设计的，没有统一的标准，相应的样品架样品托等也是各不相同，种类繁多，大小不一，从而给实现真空互联增加了一定的难度。因此，目前还没有一种样品托能进入所有的设备，只能实现同种样品托进行互联，或者两种不同的样品托进行互联，还不能实现完全的样品的转化，真空互联系统中，为满足不同样品托的夹取，通常采用机械手等大型的样品托夹取机构来实现样品托的夹取，而且样品托的被夹取部分通常需要做得很大以方便被夹取，更加导致样品托和样品托夹取机构无法满足小空间内样品的抓取操作。
技术实现思路
[0004]鉴于现有技术存在的不足，本专利技术提供了一种样品托夹取装置及夹取方法、样品传递装置，可以满足真空互联系统的小空间内样品的抓取需求，样品托的被夹取部位无需做得很大，只需实现样品托被夹取部与样品托夹取装置的配合即可，而且样品托夹取装置的夹取部位的尺寸也可以相应做得很小，使得样品托和样品托夹取装置可以应用到不同的设备中。
[0005]为了实现上述的目的，本专利技术采用了如下的技术方案：
[0006]一种样品托夹取装置，用于夹取样品托，所述样品托包括用于承载样品的托体、自所述托体伸出的连接臂以及连接所述连接臂自由端的耳部，所述耳部的宽度大于所述连接臂；
[0007]所述样品托夹取装置包括取样杆和弹性件，所述取样杆的第一端呈筒体结构，所述取样杆的第一端的外壁开设有样品托导槽和样品托摆动槽，所述样品托导槽贯穿所述第一端的端面且沿所述取样杆的轴向延伸，所述样品托摆动槽连通所述样品托导槽且沿所述取样杆的周向延伸；所述弹性件的一端固定在所述取样杆的第一端内，所述弹性件的另一
端朝向所述第一端的端部延伸，用于在所述耳部沿所述样品托导槽插入所述取样杆时产生反向的弹性力，并在所述耳部沿所述样品托摆动槽摆动后将所述耳部弹性抵持在所述样品托导槽内。
[0008]作为其中一种实施方式，所述样品托夹取装置还包括夹持柱和插杆，所述夹持柱的径向开设有插孔；所述第一端的外壁还开设有限位孔，所述限位孔相对于所述样品托摆动槽更远离所述第一端的端面，所述插杆插设并固定于所述插孔内，所述夹持柱的底端将所述弹性件压缩于所述取样杆内，所述夹持柱的顶端伸入所述所述样品托摆动槽和所述样品托导槽内，所述插杆的端部在所述弹性件的作用下卡持于所述限位孔内。
[0009]作为其中一种实施方式，所述夹持柱包括顶端的用于夹持所述耳部的夹持部；所述限位孔包括插杆导槽和插杆摆动槽，所述插杆导槽贯穿所述取样杆的外壁且沿所述取样杆的轴向延伸，所述插杆摆动槽连通所述插杆导槽且沿所述取样杆的周向延伸；所述夹持柱可在所述耳部的挤压下带动所述插杆沿所述插杆导槽移动，并在所述耳部相对于所述取样杆周向转动的过程中带动所述插杆沿所述插杆摆动槽摆动。
[0010]作为其中一种实施方式，所述限位孔还包括与所述插杆摆动槽连通的插杆限位槽，所述插杆限位槽自所述插杆摆动槽的端部朝所述第一端的端面延伸。
[0011]作为其中一种实施方式，所述夹持部为供所述耳部插入的插槽，所述插槽贯穿所述夹持柱的径向上相对的侧壁。
[0012]作为其中一种实施方式，所述插槽的至少一个侧壁固定有弹性夹持件。
[0013]作为其中一种实施方式，所述取样杆的第一端的外壁还开设有样品托限位槽，所述样品托限位槽连通所述样品托摆动槽，并自所述样品托摆动槽的端部朝所述第一端的端面延伸。
[0014]作为其中一种实施方式，所述样品托夹取装置还包括限位柱和限位钉，所述限位柱设于所述取样杆内，且所述弹性件的两端分别弹性抵接所述夹持柱和所述限位柱；所述取样杆在靠近第二端的外壁开设有沉孔，所述限位钉固定于所述沉孔内且自由端穿设在所述限位柱外壁的径向槽内。
[0015]本专利技术的另一目的在于提供一种样品传递装置，包括样品托和权利要求～任一所述的样品托夹取装置，所述样品托包括用于承载样品的托体、自所述托体伸出的连接臂以及连接所述连接臂自由端的耳部，所述耳部的宽度大于所述连接臂；所述取样杆的第一端的内径介于所述连接臂的宽度与所述耳部的宽度之间。
[0016]本专利技术的又一目的在于提供一种样品托夹取方法，使用一种所述样品托夹取装置，包括：
[0017]朝样品托移动取样杆，使取样杆的样品托导槽对准耳部；
[0018]再次朝样品托轴向移动取样杆以压缩弹性件，使耳部沿样品托导槽进入取样杆的第一端；
[0019]沿第一方向转动取样杆，使耳部沿样品托摆动槽摆动一定角度而卡持在取样杆内；
[0020]移动取样杆，以带动样品托移动而完成夹取。
[0021]本专利技术通过将样品托被夹取的部位设计为较小的耳部，利用取样杆端部的样品托导槽引导样品托进入取样杆，再通过旋转使耳部沿样品托摆动槽摆动，即可将样品托卡持
在取样杆内，最后通过移动取样杆即可带动样品托移动而完成夹取操作，样品托夹取装置的取样杆的尺寸也可以相应做得很小，使得样品托夹取装置可以满足真空互联系统的小空间内样品的抓取需求，并且可以应用到不同的设备中。
附图说明
[0022]图1为本专利技术实施例的一种样品托夹取装置的结构分解示意图；
[0023]图2为本专利技术实施例的取样杆的局部结构示意图；
[0024]图3为本专利技术实施例的一种样品托夹取装置的抓取完成后的使用状态示意图；
[0025]图4～6分别为本专利技术实施例的一种样品托夹取装置的抓取过程中的三种不同的使用状态示意图；
[0026]图7为本专利技术实施例的一种样品托夹取方法的流程框图。
[0027]图中标号说明如下：
[0028]1-样品托；1a-托体；1b-连接臂；1c-耳部；2-样品；10-取样杆；100-沉孔；101-样品托导槽；102-样品托摆动槽；103-样品托限位槽；104-限位孔；1041-插杆导槽；1042-插杆摆动槽；1043-插杆限位槽；20-弹性件；30-夹持柱；31-插孔；300-插槽；40-插杆；50-限位柱；500-径本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种样品托夹取装置，用于夹取样品托(1)，其特征在于，所述样品托(1)包括用于承载样品(2)的托体(1a)、自所述托体(1a)伸出的连接臂(1b)以及连接所述连接臂(1b)自由端的耳部(1c)，所述耳部(1c)的宽度大于所述连接臂(1b)；所述样品托夹取装置包括取样杆(10)和弹性件(20)，所述取样杆(10)的第一端呈筒体结构，所述取样杆(10)的第一端的外壁开设有样品托导槽(101)和样品托摆动槽(102)，所述样品托导槽(101)贯穿所述第一端的端面且沿所述取样杆(10)的轴向延伸，所述样品托摆动槽(102)连通所述样品托导槽(101)且沿所述取样杆(10)的周向延伸；所述弹性件(20)的一端固定在所述取样杆(10)的第一端内，所述弹性件(20)的另一端朝向所述第一端的端部延伸，用于在所述耳部(1c)沿所述样品托导槽(101)插入所述取样杆(10)时产生反向的弹性力，并在所述耳部(1c)沿所述样品托摆动槽(102)摆动后将所述耳部(1c)弹性抵持在所述样品托导槽(101)内。2.根据权利要求1所述的样品托夹取装置，其特征在于，还包括夹持柱(30)和插杆(40)，所述夹持柱(30)的径向开设有插孔(31)；所述第一端的外壁还开设有限位孔(104)，所述限位孔(104)相对于所述样品托摆动槽(102)更远离所述第一端的端面，所述插杆(40)插设并固定于所述插孔(31)内，所述夹持柱(30)的底端将所述弹性件(20)压缩于所述取样杆(10)内，所述夹持柱(30)的顶端伸入所述所述样品托摆动槽(102)和所述样品托导槽(101)内，所述插杆(40)的端部在所述弹性件(20)的作用下卡持于所述限位孔(104)内。3.根据权利要求2所述的样品托夹取装置，其特征在于，所述夹持柱(30)包括顶端的用于夹持所述耳部(1c)的夹持部；所述限位孔(104)包括插杆导槽(1041)和插杆摆动槽(1042)，所述插杆导槽(1041)贯穿所述取样杆(10)的外壁且沿所述取样杆(10)的轴向延伸，所述插杆摆动槽(1042)连通所述插杆导槽(1041)且沿所述取样杆(10)的周向延伸；所述夹持柱(30)可在所述耳部(1c)的挤压下带动所述插杆(40)沿所述插杆导槽(1041)移动，并在所述耳部(1c)相对于所述取样杆(10)周向转动的过程中带动所述插杆(40)沿所述插杆...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈志敏，丁孙安，陆晓鸣，何高航，黄荣，刘通，许蕾蕾，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：
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