一种样品托夹取装置及夹取方法、样品传递装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种样品托夹取装置，包括取样杆和弹性件，取样杆的第一端呈筒体结构，取样杆的第一端的外壁开设有样品托导槽和样品托摆动槽，样品托导槽贯穿第一端的端面且沿取样杆的轴向延伸，样品托摆动槽连通样品托导槽且沿取样杆的周向延伸；弹性件的一端固定在取样杆的第一端内，弹性件的另一端朝向第一端的端部延伸，用于在耳部沿样品托导槽插入取样杆时产生反向的弹性力，并在耳部沿样品托摆动槽摆动后将耳部弹性抵持在样品托导槽内。本发明专利技术还公开了一种样品托夹取方法和样品传递装置。本发明专利技术的样品托夹取装置的取样杆的尺寸也可以做得很小，使得样品托夹取装置可以满足真空互联系统的小空间内样品的抓取需求，并且可以应用到不同的设备中。应用到不同的设备中。应用到不同的设备中。

【技术实现步骤摘要】
一种样品托夹取装置及夹取方法、样品传递装置


[0001]本专利技术涉及真空机械领域，尤其涉及一种样品托夹取装置及夹取方法、样品传递装置。

技术介绍

[0002]由于在地球上的人造真空可以实现局域的超洁净环境，对特定材料的生长、制备以及科学研究具有重要的意义，如半导体晶圆生长、半导体体器件制备、电子扫描显微镜检测物体、透射电子显微镜检测材料的界面等过程，都是在人造真空环境下进行的。为更好的利用真空高洁净特性连续的研究材料生长、器件制备、性能的检测，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所设计并建造了一套真空互联系统。在该真空互联系统中，所有相关的材料生长、器件制备、性能检测的设备都利用真空管道进行了连接，并在互联的真空管道中布置了磁力推动样品传送小车，用来将研究的样品从一个设备传送至另一个设备，使得被研究样品本身在全生命周期内不必因为样品传送而暴露到大气中引入污染。
[0003]但在真空互联系统中存在一个值得注意的问题是：由于不同设备的存在，各设备构造可能都是按照自己本身的工艺特征进行设计的，没有统一的标准，相应的样品架样品托等也是各不相同本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种样品托夹取装置，用于夹取样品托(1)，其特征在于，所述样品托(1)包括用于承载样品(2)的托体(1a)、自所述托体(1a)伸出的连接臂(1b)以及连接所述连接臂(1b)自由端的耳部(1c)，所述耳部(1c)的宽度大于所述连接臂(1b)；所述样品托夹取装置包括取样杆(10)和弹性件(20)，所述取样杆(10)的第一端呈筒体结构，所述取样杆(10)的第一端的外壁开设有样品托导槽(101)和样品托摆动槽(102)，所述样品托导槽(101)贯穿所述第一端的端面且沿所述取样杆(10)的轴向延伸，所述样品托摆动槽(102)连通所述样品托导槽(101)且沿所述取样杆(10)的周向延伸；所述弹性件(20)的一端固定在所述取样杆(10)的第一端内，所述弹性件(20)的另一端朝向所述第一端的端部延伸，用于在所述耳部(1c)沿所述样品托导槽(101)插入所述取样杆(10)时产生反向的弹性力，并在所述耳部(1c)沿所述样品托摆动槽(102)摆动后将所述耳部(1c)弹性抵持在所述样品托导槽(101)内。2.根据权利要求1所述的样品托夹取装置，其特征在于，还包括夹持柱(30)和插杆(40)，所述夹持柱(30)的径向开设有插孔(31)；所述第一端的外壁还开设有限位孔(104)，所述限位孔(104)相对于所述样品托摆动槽(102)更远离所述第一端的端面，所述插杆(40)插设并固定于所述插孔(31)内，所述夹持柱(30)的底端将所述弹性件(20)压缩于所述取样杆(10)内，所述夹持柱(30)的顶端伸入所述所述样品托摆动槽(102)和所述样品托导槽(101)内，所述插杆(40)的端部在所述弹性件(20)的作用下卡持于所述限位孔(104)内。3.根据权利要求2所述的样品托夹取装置，其特征在于，所述夹持柱(30)包括顶端的用于夹持所述耳部(1c)的夹持部；所述限位孔(104)包括插杆导槽(1041)和插杆摆动槽(1042)，所述插杆导槽(1041)贯穿所述取样杆(10)的外壁且沿所述取样杆(10)的轴向延伸，所述插杆摆动槽(1042)连通所述插杆导槽(1041)且沿所述取样杆(10)的周向延伸；所述夹持柱(30)可在所述耳部(1c)的挤压下带动所述插杆(40)沿所述插杆导槽(1041)移动，并在所述耳部(1c)相对于所述取样杆(10)周向转动的过程中带动所述插杆(40)沿所述插杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志敏，丁孙安，陆晓鸣，何高航，黄荣，刘通，许蕾蕾，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：