本实用新型专利技术公开了一种SEMI E84接口的测试装置，包括电控盒、传感器单元和包含待测接口的设备，所述传感器单元包括传感器接口，所述电控盒包括控制接口；其中，所述传感器接口、待测接口和控制接口的类型相同，所述电控盒包括控制器，所述传感器接口通过待测接口连接设备，同时所述传感器接口通过控制接口连接控制器；所述控制器通过传感器单元向设备发送使能信号，并读取设备的反馈信号，若反馈信号正常，则待测接口测试完成；若反馈信号异常，则输出报错信息。本实用新型专利技术提供的一种SEMI E84接口的测试装置，具有低成本、便携和操作简单以及远程控制的优势，不必依赖电脑和专用软件。不必依赖电脑和专用软件。不必依赖电脑和专用软件。
【技术实现步骤摘要】
一种SEMI E84接口的测试装置
[0001]本技术属于接口测试领域，具体属于一种SEMI E84接口的测试装置。
技术介绍
[0002]E84接口在半导体设备中应用十分广泛，是晶圆盒自动转运过程通用的通讯接口。该标准接口通常为25Pin D
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Sub接口，需要配对使用，一侧连接发送端传感器，另一侧连接接收端传感器，两个传感器的感应头对接后，可以进行非接触式IO信号交互。两个传感器交互的数据，包含8路数字量输入和8路数字量输出信号，以及一个发送端和接收端传感器配对正常信号。所有包含SEMI E84接口的设备，在出厂前需要对接口的收发功能进行测试。
[0003]传统的测试方法一般是需要使用E84传感器厂家提供的测试软件，使用专用的测试工具及专用软件进行测试。该设备成本较高，而且需要配合电脑使用，在一些无法携带电脑的无尘室中，不能使用。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种SEMI E84接口的测试装置，具有低成本、便携和操作简单以及远程控制的优势，不必依赖电脑和专用软件。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种SEMI E84接口的测试装置，包括电控盒、传感器单元和包含待测接口的设备，所述传感器单元包括传感器接口和E84传感器，所述电控盒包括控制接口；其中，所述待测接口、控制接口和传感器接口均为E84接口，所述电控盒包括控制器，所述传感器接口通过待测接口连接设备，同时所述传感器接口通过控制接口连接控制器。
[0006]进一步地，所述传感器单元包括相互连接的第一传感器和第二传感器，所述第一传感器连接控制接口，第二传感器连接至待测接口，所述第一传感器和第二传感器均为E84传感器。
[0007]进一步地，所述第一传感器的传感器接口连接至控制接口，所述第二传感的传感器接口连接待测接口；所述第一传感器和第二传感器能够进行匹配。
[0008]进一步地，还包括远程控制终端，所述电控盒还包括无线模块，所述无线模块连接至所述远程控制终端和控制器，所述远程控制终端连接通过无线模块与所述控制器进行数据交互。
[0009]进一步地，所述无线模块为蓝牙或者WIFI模块。
[0010]进一步地，所述电控盒还包括电源，所述电源同时连接控制器和无线模块，用于向控制器和无线模块进行供电。
[0011]进一步地，所述电控盒外侧包括按钮和指示灯。
[0012]本技术具有如下有益效果：本技术装置结构简单，且电控盒体积较小，便于携带，同时通过无线模块和远程控制终端可以实现远程接口测试；本技术可以通过电控盒外侧按钮以及远程控制终端定制测试流程，实现不同设备上的待测接口测试，极大
扩展了测试装置的使用范围，并简化了待测接口的测试流程和方法。
附图说明
[0013]附图1为本技术测试装置的结构示意图；
[0014]图中：1设备，2待测接口，3第二传感器，4第一传感器，5控制接口，6 电控盒，7控制器，8电源，9无线模块，10远程控制终端。
具体实施方式
[0015]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本技术的具体实施方式做进一步的详细说明。
[0016]请参阅附图1，一种SEMI E84接口的测试装置，包括电控盒6、传感器单元和包含待测接口的设备1，传感器单元包括传感器接口，电控盒6包括控制接口5；其中，传感器接口、待测接口2和控制接口5的类型相同，且相互之间匹配。待测接口为E84接口，则传感器单元中的传感器为E84传感器，同时，传感器接口、待测接口和控制接口均为E84接口。
[0017]E84是SEMI标准的一个标准编号，该标准中，对接口的物理类型、引脚定义、信号时序均进行了规定。半导体设备中，需要使用晶圆盒，且对晶圆盒进行自动搬运的设备，均采用使用该标准进行信号传输。E84接口是连接E84传感器的标准接口。当待测接口为E84接口时，需要配套使用E84传感器，主要是基于以下两方面的考虑，首先可以确保最终的使用效果。另外，有些设备本身配置了接收端的E84传感器，使用该方式测试，可以同时实现E84传感器的功能测试。E84传感器的特性，需要符合该SEMI标准，经过SEMI认证。传感器需要配对使用，且非接触方式进行IO信号握手。
[0018]请继续参阅附图1，本技术中传感器单元包括相互连接的第一传感器4 和第二传感器3，第一传感器4连接控制接口5，第二传感器3连接至待测接口 2；第一传感器和第二传感器距离较近，能够进行匹配。例如第一传感器和第二传感器为E84传感器，待测接口、控制接口和传感器接口均为E84接口。近距离的两个E84传感器能够进行信号匹配。
[0019]本技术中电控盒6还包括控制器7、电源和8无线模块9。电源8同时连接控制器7和无线模块9，用于向控制器7和无线模块9进行供电。无线模块 9连接至远程控制终端和控制器，远程控制终端10连接通过无线模块9与控制器7进行数据交互。无线模块的无线方式可以是无线射频技术，具体的无线模块可以但不限于为蓝牙或者WIFI模块。
[0020]电控盒外侧包括还包括按钮和指示灯，按钮可以为开始测试按钮等，用于向控制器输出开始测试的信号。指示灯可以为状态指示灯，用于反映不同设备中待测接口的测试结果。具体的，指示灯可以包括不同状态指示灯，例如不同测试结果采用不同颜色表示，或者不同测试结果采用不同数量的灯表示等等。
[0021]本技术中第二传感器中的传感器接口通过待测接口连接设备，同时第一传感器中的传感器接口通过控制接口连接控制器；远程控制终端通过无线模块相控制器发送测试指令，或者电控盒外侧按钮箱控制器发送测试指令；控制器接收到指令后，通过传感器单元向设备发送使能信号，并读取设备的反馈信号，若反馈信号正常，则待测接口测试完成；若反馈信号异常，则输出报错信息。
[0022]值得说明的是，本技术中传感器单元中采用的传感器型号与待测接口和控制
接口皆是相互匹配的；且传感器单元中两个传感器种类相同，可以进行近距离匹配，从而使得控制器的使能信号经过控制接口、第一传感器、第二传感器可以顺利抵达待测接口，进而根据不同的使能信号判断待测接口是否正常。本申请中第一传感器和第二传感器均采用的是标准的E84传感器，且控制接口正常，在这种情况下，若待测接口正常，则使能信号的反馈信号必然是正常的；若反馈信号异常，可以先排除第一传感器、第二传感器以及控制接口的问题之后，即可断定是待测接口出现了问题。
[0023]本技术中控制器包括控制中心，输入端和输出端，且控制中心、输入端和输出端均通过控制接口连接至第一传感器，进而控制第一传感器的输出信号及读取其输入信号。本申请中控制中心可以为CPU。本申请中通过远程控制终端可以对控制器进行编程，进而实现使能信号的流程化控制和单独输入输出信号控制。这也使得本申请装置的应用范围进一步扩大，用于检测不同设备待测接口的各个性能。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种SEMI E84接口的测试装置，其特征在于，包括电控盒、传感器单元和包含待测接口的设备，所述传感器单元包括传感器接口和E84传感器，所述电控盒包括控制接口；其中，所述待测接口、控制接口和传感器接口均为E84接口，所述电控盒包括控制器，所述传感器接口通过待测接口连接设备，同时所述传感器接口通过控制接口连接控制器。2.根据权利要求1所述的一种SEMI E84接口的测试装置，其特征在于，所述传感器单元包括相互连接的第一传感器和第二传感器，所述第一传感器连接控制接口，第二传感器连接至待测接口，所述第一传感器和第二传感器均为E84传感器。3.根据权利要求2所述的一种SEMI E84接口的测试装置，其特征在于，所述第一传感器的传感器接口连接至控制接口，所述第二传感的...
【专利技术属性】
技术研发人员：董怀宝，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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