一种具有安装腔的微动台及运动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于集成电路制备技术领域，具体公开了一种具有安装腔的微动台及运动装置。安装基座；垂向底座；旋转座，转动套设在垂向底座内部，内部设有上端开口的安装腔；旋转驱动电机，设置于垂向底座与旋转座之间；垂向驱动装置，设置于安装基座且输出端连接至垂向底座，垂向驱动装置包括音圈电机组件和重力补偿组件，音圈电机组件和重力补偿组件的定子均相对安装基座固定，音圈电机组件和重力补偿组件的动子均相对垂向底座固定，音圈电机组件用于驱动垂向底座相对安装基座沿Z方向运动，重力补偿组件用于补偿垂向底座的重力。运动装置包括上述的微动台。本实用新型专利技术公开的微动台和运动装置，有利于实现微动台及运动装置功能扩展以及轻量化和扁平化设计。以及轻量化和扁平化设计。以及轻量化和扁平化设计。

【技术实现步骤摘要】
一种具有安装腔的微动台及运动装置


[0001]本技术涉及集成电路制备
，尤其涉及一种具有安装腔的微动台及运动装置。

技术介绍

[0002]在半导体硅片膜厚的检测领域，要求工件台可以和硅片传输系统完成硅片的交接，同时需要承载着12英寸或者8英寸的硅片完成垂向运动和360
°
的旋转运动，因此，应用于膜厚检测领域的运动装置一般包括XY运动台和设置于XY运动台上的微动台。
[0003]微动台为运动装置的核心部件，其一般能够提供绕Z方向的转动运动和沿Z方向的垂向运动。随着对产率要求和膜厚检测精度要求的不断提高，对运动装置的运行速度、加速度及性能要求也随之提高，这就要求运动装置更加轻量化及扁平化，以及具备更好的运动精度。
[0004]为实现硅片的交接，现有的部分微动台的中部设置有能够实现硅片交接的交接机构。现有技术提供了一种微动台，其包括垂向底座、转动设置于垂向底座上方的Rz转台，垂向底座和Rz转台均为中空结构，其中心设置有用于交接硅片的交接机构。垂向底座的外侧环绕其周向间隔设置有三组垂向驱动装置和三组重力补偿装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有安装腔的微动台，其特征在于，包括：安装基座(5)；垂向底座(3)，可活动地设置于所述安装基座(5)的上方；旋转座(2)，转动套设在所述垂向底座(3)的内部，且所述旋转座(2)内部设有上端开口的安装腔(23)；旋转驱动电机(1)，设置于所述垂向底座(3)与所述旋转座(2)之间，用于驱动所述旋转座(2)相对所述垂向底座(3)绕Z方向转动；垂向驱动装置(4)，设置于所述安装基座(5)上，且环绕所述垂向底座(3)间隔设置若干个，所述垂向驱动装置(4)的输出端连接至所述垂向底座(3)，所述垂向驱动装置(4)包括音圈电机组件(41)和重力补偿组件(42)，所述音圈电机组件(41)的定子和所述重力补偿组件(42)的定子均相对所述安装基座(5)固定，所述音圈电机组件(41)的动子和所述重力补偿组件(42)的动子均相对所述垂向底座(3)固定，所述音圈电机组件(41)用于驱动所述垂向底座(3)相对所述安装基座(5)沿所述Z方向运动，所述重力补偿组件(42)用于补偿所述垂向底座(3)的重力。2.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述垂向底座(3)包括：主体筒部(31)，同轴且转动套设在所述旋转座(2)的外侧；安装板部(32)，沿所述主体筒部(31)的径向方向延伸设置，所述音圈电机组件(41)的动子及所述重力补偿组件(42)的动子均与所述安装板部(32)固定连接。3.根据权利要求2所述的微动台，其特征在于，所述垂向驱动装置(4)在所述安装基座(5)上的正投影位于所述安装板部(32)在所述安装基座(5)上的正投影范围内。4.根据权利要求2所述的微动台，其特征在于，所述微动台还包括垂向导向组件(9)，所述垂向导向组件(9)包括滑动配合的固定件(91)和滑动件(92)，所述固定件(91)与所述安装基座(5)连接，所述滑动件(92)与所述垂向底座(3)连接，所述垂向导向组件(9)用于为所述垂向底座(3)沿所述Z方向运动进行导向。5.根据权利要求4所述的微动台，其特征在于，所述垂向导向组件(9)在...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁嘉欣，江旭初，彭仁强，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：