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本实用新型属于集成电路制备技术领域，具体公开了一种具有安装腔的微动台及运动装置。安装基座；垂向底座；旋转座，转动套设在垂向底座内部，内部设有上端开口的安装腔；旋转驱动电机，设置于垂向底座与旋转座之间；垂向驱动装置，设置于安装基座且输出端连接...
该专利属于上海隐冠半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海隐冠半导体技术有限公司授权不得商用。

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