一种静电设备与基板制造设备联动生产系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种静电设备与基板制造设备联动生产系统，包括至少一基板制造设备、静电消除子系统、静电监控子系统和CIM主机，所述基板制造设备上预先设定有至少一静电位；所述静电消除系统用以消除所述静电位上基板的静电，所述静电监控子系统用以监控所述静电位上基板的带电量；所述CIM主机、静电监控子系统、静电消除子系统和各个基板制造设备均连接于同一局域网中。该联动生产系统将静电消除子系统、静电监控子系统以及各个基板制造设备形成联动。形成联动。形成联动。

【技术实现步骤摘要】
一种静电设备与基板制造设备联动生产系统


[0001]本技术涉及面板生产技术，尤其涉及一种静电设备与基板制造设备联动生产系统。

技术介绍

[0002]近年来，ESD导致的产品不良一直是液晶面板行业影响良率的主要问题。为消除ESD，提高产品良率，各液晶面板厂势必会加装很多（Ion/X
‑
Ray）静电消除器，但大量的静电消除器会让点检它们的状态变得异常困难（很多设备不停机无法检查静电消除器是否正常工作），且量大易漏检查，从而导致产品质量得不到保障，易出现批量质量事故，造成人力、物资成本浪费，同时很可能造成客户流失等严重问题。数以千计的静电消除器如果不能跟基板制造设备联动，浪费很多压缩空气，增加了成本。
[0003]同时，消除ESD的前提是要找到ESD异常工序，异常单元。目前液晶面板行业主要是通过分析GATE、ISLAND、SD、CONTANT、ITO等膜层确认ESD异常具体位置，从而制定消除ESD方案（生产线体都是封闭的，且ESD随时都在产生，测量要求的距离一般在25—100mm，生产中人工无法测）。这种分析方式是在已经出现ESD异常的前提下，此时必然已经造成成本浪费，后续的分析、解决也必然会人力、物力的浪费。

技术实现思路

[0004]为了解决上述现有技术的不足，本技术提供一种将静电消除子系统、静电监控子系统以及各个基板制造设备形成联动的联动生产系统。
[0005]本技术所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现：
[0006]一种静电设备与基板制造设备联动生产系统，包括至少一基板制造设备、静电消除子系统、静电监控子系统和CIM主机，
[0007]所述基板制造设备上预先设定有至少一静电位；
[0008]所述静电消除系统用以消除所述静电位上基板的静电，所述静电监控子系统用以监控所述静电位上基板的带电量；
[0009]所述CIM主机、静电监控子系统、静电消除子系统和各个基板制造设备均连接于同一局域网中。
[0010]进一步地，所述静电消除子系统包括至少一基板传感器和至少一静电消除器，所述静电监控子系统包括至少一静电传感器；所述基板传感器、静电消除器和静电传感器设置于对应的基板制造设备对应的静电位上，且沿基板输送方向依次设置。
[0011]进一步地，所述静电监控子系统还包括通讯模块和第一服务器，所述静电传感器通过所述通讯模块与所述第一服务器连接，所述第一服务器与所述CIM主机之间通过局域网连接。
[0012]进一步地，所述通讯单元为Lora通讯单元，基于Lora通讯协议向附近的信号采集器发送信号，一个信号采集器可同时采集八个静电传感器发送的信号，然后通过网线和交
换机接入所述第一服务器。
[0013]进一步地，所述静电监控子系统还包括报警模块，用于当所述静电传感器感测到的基板带电量超出预设阈值时进行报警。
[0014]进一步地，所述静电消除器为软X射线静电消除器或等离子束静电消除器。
[0015]进一步地，所述静电消除子系统还包括第一中继器、PLC模块、第二中继器、电磁阀、压缩空气源和第二服务器，所述基板传感器的输出端连接于所述第一中继器的输入端，所述第一中继器的输出端连接于所述PLC模块的输入端，所述PLC模块的输出端连接于所述第二中继器的输入端，所述第二中继器的输出端连接于所述电磁阀的控制端；所述压缩空气源和静电消除器则通过所述电磁阀相连通；所述PLC模块接入所述第二服务器所在的局域网，所述第二服务器与所述CIM主机之间通过局域网连接。
[0016]进一步地，所述压缩空气源与所述电磁阀之间通过一气压控制阀或气压调节阀相连通。
[0017]进一步地，所述静电消除器可采集自身运行数据；所述静电消除子系统还包括第三中继器，所述静电消除器的自采输出端通过所述第三中继器连接于所述PLC模块的第二输入端。
[0018]进一步地，还包括与所述CIM主机连接的用户终端。
[0019]本技术具有如下有益效果：该联动生产系统同时将静电消除子系统、静电监控子系统以及各个基板制造设备通过局域网接入所述CIM（计算机集成制造）主机实现数据交互，在生产制造基板时，所述CIM主机可根据所述静电消除子系统和静电监控子系统的工作情况对各个基板制造设备进行联动控制，以达到合理安排生产的目的，同时也会对所述静电消除子系统和静电监控子系统进行联动控制，以达到节能减排的目的。
附图说明
[0020]图1为本技术提供的联动生产系统的硬件架构示意图。
具体实施方式
[0021]下面结合附图和实施例对本技术进行详细的说明。
[0022]如图1所示，一种静电设备与基板制造设备联动生产系统，包括至少一基板制造设备、静电消除子系统、静电监控子系统和CIM主机，
[0023]所述基板制造设备上预先设定有至少一静电位；
[0024]所述静电消除系统用以消除所述静电位上基板的静电，所述静电监控子系统用以监控所述静电位上基板的带电量；
[0025]所述CIM主机、静电监控子系统、静电消除子系统和各个基板制造设备均连接于同一局域网中。
[0026]该联动生产系统同时将静电消除子系统、静电监控子系统以及各个基板制造设备通过局域网接入所述CIM（计算机集成制造）主机实现数据交互，在生产制造基板时，所述CIM主机可根据所述静电消除子系统和静电监控子系统的工作情况对各个基板制造设备进行联动控制，以达到合理安排生产的目的，同时也会对所述静电消除子系统和静电监控子系统进行联动控制，以达到节能减排的目的。
[0027]所述静电消除子系统包括至少一基板传感器2和至少一静电消除器3，所述静电监控子系统包括至少一静电传感器4，所述基板传感器2、静电消除器3和静电传感器4设置于对应的基板制造设备对应的静电位上，且沿基板1输送方向依次设置。
[0028]所述基板传感器2用于感测对应的基板制造设备的输送方向上是否有基板1经过，所述静电消除器3用于消除对应的基板制造设备的输送方向上经过的基板1所带的静电，所述静电传感器4用于感测对应的基板制造设备的输送方向上经过的基板1是否带有静电。当基板1在对应的基板制造设备的输送方向上传输时，先经过所述基板传感器2而被感测到，再经过所述静电消除器3而被消除静电，最后经过所述静电传感器4而被监控带电量。
[0029]所述CIM主机联动所述静电消除子系统、静电监控子系统以及各个基板制造设备进行基板1生产的具体方式可根据实际生产需求而定，包括但不限于以下几种：
[0030]1、所述静电传感器4实时感测输送路径上的基板1带电量，当基板1带电量超出阈值时，所述静电监控子系统则进行报警，同时将报警信号上报给所述CIM主机，以使所述CIM主机可向各个基板制造设备发出指令，自动对与静电异常的基板1相对应的基板制造设备停止派工，同时通过邮件、微信推送等方式将报警信息推送给相应岗位的用户终端上，通知用户及时处理静电异常问题；
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，包括至少一基板制造设备、静电消除子系统、静电监控子系统和CIM主机，所述基板制造设备上预先设定有至少一静电位；所述静电消除系统用以消除所述静电位上基板的静电，所述静电监控子系统用以监控所述静电位上基板的带电量；所述CIM主机、静电监控子系统、静电消除子系统和各个基板制造设备均连接于同一局域网中。2.根据权利要求1所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述静电消除子系统包括至少一基板传感器和至少一静电消除器，所述静电监控子系统包括至少一静电传感器；所述基板传感器、静电消除器和静电传感器设置于对应的基板制造设备对应的静电位上，且沿基板输送方向依次设置。3.根据权利要求2所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述静电监控子系统还包括通讯模块和第一服务器，所述静电传感器通过所述通讯模块与所述第一服务器连接，所述第一服务器与所述CIM主机之间通过局域网连接。4.根据权利要求3所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述通讯模块为Lora通讯单元，基于Lora通讯协议向附近的信号采集器发送信号，一个信号采集器可同时采集八个静电传感器发送的信号，然后通过网线和交换机接入所述第一服务器。5.根据权利要求3或4所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述静电监控子系统还包括报警...

【专利技术属性】
技术研发人员：李杰，钟少龙，杨华葛，张曼，彭杰，陈海雷，
申请(专利权)人：信利仁寿高端显示科技有限公司，
类型：新型
国别省市：