一种静电设备与基板制造设备联动生产系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种静电设备与基板制造设备联动生产系统，包括至少一基板制造设备、静电消除子系统、静电监控子系统和CIM主机，所述基板制造设备上预先设定有至少一静电位；所述静电消除系统用以消除所述静电位上基板的静电，所述静电监控子系统用以监控所述静电位上基板的带电量；所述CIM主机、静电监控子系统、静电消除子系统和各个基板制造设备均连接于同一局域网中。该联动生产系统将静电消除子系统、静电监控子系统以及各个基板制造设备形成联动。形成联动。形成联动。

【技术实现步骤摘要】
一种静电设备与基板制造设备联动生产系统


[0001]本技术涉及面板生产技术，尤其涉及一种静电设备与基板制造设备联动生产系统。

技术介绍

[0002]近年来，ESD导致的产品不良一直是液晶面板行业影响良率的主要问题。为消除ESD，提高产品良率，各液晶面板厂势必会加装很多（Ion/X
‑
Ray）静电消除器，但大量的静电消除器会让点检它们的状态变得异常困难（很多设备不停机无法检查静电消除器是否正常工作），且量大易漏检查，从而导致产品质量得不到保障，易出现批量质量事故，造成人力、物资成本浪费，同时很可能造成客户流失等严重问题。数以千计的静电消除器如果不能跟基板制造设备联动，浪费很多压缩空气，增加了成本。
[0003]同时，消除ESD的前提是要找到ESD异常工序，异常单元。目前液晶面板行业主要是通过分析GATE、ISLAND、SD、CONTANT、ITO等膜层确认ESD异常具体位置，从而制定消除ESD方案（生产线体都是封闭的，且ESD随时都在产生，测量要求的距离一般在25—100mm，生产中人工无法测）。这种分析方式是在已经出现本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，包括至少一基板制造设备、静电消除子系统、静电监控子系统和CIM主机，所述基板制造设备上预先设定有至少一静电位；所述静电消除系统用以消除所述静电位上基板的静电，所述静电监控子系统用以监控所述静电位上基板的带电量；所述CIM主机、静电监控子系统、静电消除子系统和各个基板制造设备均连接于同一局域网中。2.根据权利要求1所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述静电消除子系统包括至少一基板传感器和至少一静电消除器，所述静电监控子系统包括至少一静电传感器；所述基板传感器、静电消除器和静电传感器设置于对应的基板制造设备对应的静电位上，且沿基板输送方向依次设置。3.根据权利要求2所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述静电监控子系统还包括通讯模块和第一服务器，所述静电传感器通过所述通讯模块与所述第一服务器连接，所述第一服务器与所述CIM主机之间通过局域网连接。4.根据权利要求3所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述通讯模块为Lora通讯单元，基于Lora通讯协议向附近的信号采集器发送信号，一个信号采集器可同时采集八个静电传感器发送的信号，然后通过网线和交换机接入所述第一服务器。5.根据权利要求3或4所述的静电设备与基板制造设备联动生产系统，其特征在于，所述静电监控子系统还包括报警...

【专利技术属性】
技术研发人员：李杰，钟少龙，杨华葛，张曼，彭杰，陈海雷，
申请(专利权)人：信利仁寿高端显示科技有限公司，
类型：新型
国别省市：