温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种静电设备与基板制造设备联动生产系统，包括至少一基板制造设备、静电消除子系统、静电监控子系统和CIM主机，所述基板制造设备上预先设定有至少一静电位；所述静电消除系统用以消除所述静电位上基板的静电，所述静电监控子系统用以监控...
该专利属于信利（仁寿）高端显示科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信利（仁寿）高端显示科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。