一种新型分子泵排气接口制造技术

本技术公开了一种新型分子泵排气接口，包括腔体，所述腔体内部设置有排气口，所述排气口的外部设置有侧向连接件，所述侧向连接件的上端呈矩形体并与所述排气口吻合，其下端呈不规则四面体且底部设置有压力控制装置，所述压力控制装置的底部设置有缓冲层，所述缓冲层的底部设置有分子泵。在分子泵与压力控制装置之间增加缓冲层，阻挡部分冲击能量，防止压力控制装置被破坏，同时增加侧向连接件，改变压力控制装置与腔体连接方式，并在排气口上端增加支撑板与遮挡板，防止破损的叶片进入腔体，防止事故进一步的发生，在干刻设备需要分子泵抽真空时候，其缓冲层与侧向连接件能使分子泵得到缓冲，使其得到平衡的状态，减少因抽真空的事故发生。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及显示器制备，特别是涉及了一种新型分子泵排气接口。

技术介绍

1、干刻设备抽真空使用泵组为干泵加分子泵组合，干泵完成初抽真空到1000mtorr后，由分子泵加干泵组合将设备抽至高真空1mtorr以下；干刻设备的分子泵处理高真空需要得到25000r/min，因磁悬浮或其他震动影响其动平衡，使分子泵失衡，导致分子泵内定片和静片叶片碰撞，碰撞产生的震动会破坏分子泵和压力控制装置之间的连接螺丝，同时破坏压力控制装置内的转动盘，碎裂的叶片高速飞出从分子泵上端，即设备的排气口进入腔体，和腔体内壁板和上下部电极碰撞，导致其阳极层被破坏，绝缘功能失效，无法使用，造成巨大损失。

2、如中国技术专利（cn212155287u）公开了一种新型干刻设备，其包括腔室、多个支柱、保护平台、压力控制器和分子泵，所述腔室底部设有排气口；多个所述支柱设于所述腔室的上表面且环绕所述排气口设置；所述保护平台固定于多个所述支柱上且覆盖所述排气口；所述压力控制器设于所述腔室的排气口的下方；所述分子泵设于所述压力控制器的下方。由于保护平台固定于支柱上且覆盖住排气口，玻璃碎屑无法直接落入排气口，而是掉落在保护平台上或掉落在腔室底部，从而防止玻璃碎屑从排气口落入分子泵，从而保护设备不受损坏，也不影响排气。

3、然而，本技术人具体实施此装置时，发现存在以下缺陷：只有考虑事故发生后的处理方式，不利于避免分子泵失衡的事故的发生。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种新型分子泵排气接口，在分子泵与压力控制装置之间增加缓冲层，阻挡部分冲击能量，防止压力控制装置被破坏，同时增加侧向连接件，改变压力控制装置与腔体连接方式，改为侧向连接，并在排气口上端增加支撑板与遮挡板，防止破损的叶片进入腔体，在设置用于检测所述腔体是否有异物通过的传感器，起到发生事故时候，可以及时报警，防止事故进一步的发生，在干刻设备需要分子泵抽真空时候，其缓冲层与侧向连接件能使分子泵得到缓冲，使其得到平衡的状态，减少因抽真空的事故发生。

2、为了解决上述技术问题，本技术采用了如下所述的技术方案：

3、一种新型分子泵排气接口。

4、所述新型分子泵排气接口具体包括：

5、腔体，所述腔体内部设置有排气口，所述排气口的外部设置有侧向连接件，所述侧向连接件的上端呈矩形体并与所述排气口吻合，其下端呈不规则四面体且底部设置有压力控制装置，所述压力控制装置的底部设置有缓冲层，所述缓冲层的底部设置有分子泵。

6、作为本技术提供的所述的新型分子泵排气接口的一种优选实施方式，所述腔体内设置有若干个的支撑板垂直环绕在所述排气口处，各所述支撑板的顶部设置有遮挡板。

7、作为本技术提供的所述的新型分子泵排气接口的一种优选实施方式，所述侧向连接件的底部为圆形，其上端通过所述排气口与所述腔体连通。

8、作为本技术提供的所述的新型分子泵排气接口的一种优选实施方式，所述缓冲层的一面设置有网罩，所述网罩设置在所述缓冲层靠近所述压力控制装置的一侧。

9、作为本技术提供的所述的新型分子泵排气接口的一种优选实施方式，所述网罩的制作材料为不锈钢。

10、作为本技术提供的所述的新型分子泵排气接口的一种优选实施方式，所述新型分子泵排气接口还包括传感器，其用于检测所述腔体是否有异物通过。

11、作为本技术提供的所述的新型分子泵排气接口的一种优选实施方式，所述传感器设置在所述腔体的内部，且靠近所述排气口。

12、作为本技术提供的所述的新型分子泵排气接口的一种优选实施方式，所述传感器为红外线传感器或金属传感器。

13、作为本技术提供的所述的新型分子泵排气接口的一种优选实施方式，所述遮挡板的形状为向上凸起。

14、作为本技术提供的所述的新型分子泵排气接口的一种优选实施方式，所述遮挡板与所述排气口的距离为3~4cm。

15、与现有技术相比，本技术有以下有益效果：

16、本技术提供的新型分子泵排气接口，在分子泵与压力控制装置之间增加缓冲层，阻挡部分冲击能量，防止压力控制装置被破坏，同时增加侧向连接件，改变压力控制装置与腔体连接方式，改为侧向连接，并在排气口上端增加支撑板与遮挡板，防止破损的叶片进入腔体，在设置用于检测所述腔体是否有异物通过的传感器，起到发生事故时候，可以及时报警，防止事故进一步的发生，在干刻设备需要分子泵抽真空时候，其缓冲层与侧向连接件能使分子泵得到缓冲，使其得到平衡的状态，减少因抽真空的事故发生。

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【技术保护点】

1.一种新型分子泵排气接口，其特征在于，其包括腔体（1），所述腔体（1）内部设置有排气口（2），所述排气口（2）的外部设置有侧向连接件（3），所述侧向连接件（3）的上端呈矩形体并与所述排气口（2）吻合，其下端呈不规则四面体且底部设置有压力控制装置（4），所述压力控制装置（4）的底部设置有缓冲层（5），所述缓冲层（5）的底部设置有分子泵（6）。

2.根据权利要求1所述的新型分子泵排气接口，其特征在于，所述腔体（1）内设置有若干个的支撑板（7）垂直环绕在所述排气口（2）处，各所述支撑板（7）的顶部设置有遮挡板（8）。

3.根据权利要求2所述的新型分子泵排气接口，其特征在于，所述侧向连接件（3）的底部为圆形，其上端通过所述排气口（2）与所述腔体（1）连通。

4.根据权利要求1所述的新型分子泵排气接口，其特征在于，所述缓冲层（5）的一面设置有网罩（9），所述网罩（9）设置在所述缓冲层（5）靠近所述压力控制装置（4）的一侧。

5.根据权利要求4所述的新型分子泵排气接口，其特征在于，所述网罩（9）的制作材料为不锈钢。

6.根据权利要求1所述的新型分子泵排气接口，其特征在于，所述新型分子泵排气接口还包括传感器（10），其用于检测所述腔体（1）是否有异物通过。

7.根据权利要求6所述的新型分子泵排气接口，其特征在于，所述传感器（10）设置在所述腔体（1）的内部，且靠近所述排气口（2）。

8.根据权利要求7所述的新型分子泵排气接口，其特征在于，所述传感器（10）为红外线传感器（10）或金属传感器（10）。

9.根据权利要求3所述的新型分子泵排气接口，其特征在于，所述遮挡板（8）的形状为向上凸起。

10.根据权利要求9所述的新型分子泵排气接口，其特征在于，所述遮挡板（8）与所述排气口（2）的距离为3~4cm。

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【技术特征摘要】

1.一种新型分子泵排气接口，其特征在于，其包括腔体（1），所述腔体（1）内部设置有排气口（2），所述排气口（2）的外部设置有侧向连接件（3），所述侧向连接件（3）的上端呈矩形体并与所述排气口（2）吻合，其下端呈不规则四面体且底部设置有压力控制装置（4），所述压力控制装置（4）的底部设置有缓冲层（5），所述缓冲层（5）的底部设置有分子泵（6）。

2.根据权利要求1所述的新型分子泵排气接口，其特征在于，所述腔体（1）内设置有若干个的支撑板（7）垂直环绕在所述排气口（2）处，各所述支撑板（7）的顶部设置有遮挡板（8）。

3.根据权利要求2所述的新型分子泵排气接口，其特征在于，所述侧向连接件（3）的底部为圆形，其上端通过所述排气口（2）与所述腔体（1）连通。

4.根据权利要求1所述的新型分子泵排气接口，其特征在于，所述缓冲层（5）的一面设置有网罩（9），所述网罩（9）设置在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王金宝，冷问竹，程丽娜，
申请(专利权)人：信利仁寿高端显示科技有限公司，
类型：新型
国别省市：