下载一种新型分子泵排气接口的技术资料

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本技术公开了一种新型分子泵排气接口,包括腔体,所述腔体内部设置有排气口,所述排气口的外部设置有侧向连接件,所述侧向连接件的上端呈矩形体并与所述排气口吻合,其下端呈不规则四面体且底部设置有压力控制装置,所述压力控制装置的底部设置有缓冲层,所述...
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