一种用于合成砷化锌的石墨坩埚制造技术

一种用于合成砷化锌的石墨坩埚，包括坩埚底座和置放于坩埚底座上的坩埚筒体(3)；所述坩埚底座包括托盘座(1)和位于托盘座中心的凸起的圆柱形连接内座(2)，在圆柱形连接内座的外壁面加工有外螺纹，在托盘座的两侧配装有可拆卸把手(4)；在所述坩埚筒体外壁上端设置有一圈环形卡槽，坩埚筒体的内腔为上口大下口小的圆台形内腔，在圆台形内腔的下口段加工有可与圆柱形连接内座的外螺纹配合的内螺纹，所述圆柱形连接内座可旋入坩埚筒体内，使坩埚底座和坩埚筒体组装为一体。本实用新型专利技术结构简单，拆装方便，易于搬动和合成的砷化锌产品脱出，同时减少石墨坩埚损坏率和环境污染，有利于砷化锌的清洁生产。化锌的清洁生产。化锌的清洁生产。

【技术实现步骤摘要】
一种用于合成砷化锌的石墨坩埚


[0001]本技术涉及用于合成砷化锌的坩埚


技术介绍

[0002]砷化锌是生产电子半导体材料用特种气体砷烷的主要材料，电子特种气体工业是当今推动科技发展的高新技术产业是新兴的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产品，主要应用在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产几大领域，在电子、石油化工、医药、国防等各领域发挥着巨大的作用。随着我国对电子半导体产业政策的调整，我国加大了对该产业发展的支持力度。开展砷化锌生产有利于国内电子半导体产业的健康发展，符合国家产业政策。
[0003]目前，合成砷化锌的设备大多采用卧式或竖罐式电阻丝加热式合成设备，存在产品产量小，机械化操作差，生产成本过高等问题。采用中频加热方式来替代电阻丝加热方式来制备产品，大大提高了加热速率和加热效率，采用竖式石墨坩埚作为中频加热设备的加热中间体，产品产量较大。通过实践发现在生产过程中仍然存在一系列问题，主要是：(1)由于使用的竖式杠型石墨坩埚外形过大且外部较为光滑很难搬动；(2)竖式石墨坩埚内外都是圆柱形，在砷本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于合成砷化锌的石墨坩埚，其特征在于，包括坩埚底座和置放于坩埚底座上的坩埚筒体(3)；所述坩埚底座包括托盘座(1)和位于托盘座中心的凸起的圆柱形连接内座(2)，在圆柱形连接内座的外壁面加工有外螺纹，在托盘座的两侧配装有可拆卸把手(4)；在所述坩埚筒体外壁上端设置有一圈环形卡槽(3a)，坩埚筒体的内腔(3b)为上口大下口小的圆台形内腔，在圆台形内腔的下口段加工有可与圆柱形连接内座的外螺纹配合的内螺纹，所述圆柱形连接内座(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：张洪，黄迎红，张涛，刘柳，杨瑞华，
申请(专利权)人：红河砷业有限责任公司，
类型：新型
国别省市：