一种检测设备制造技术

本实用新型专利技术适用于产品检测技术领域，提供了一种检测设备，包括底座组件、设置于底座组件之上的遮光箱、以及设置于底座组件上且位于遮光箱内的检测机构，检测机构包括：多个夹具组件，设于底座组件之上，每个夹具组件可固定至少一待测物件；支架组件，设于底座组件之上；至少一光学成像模块，设于支架组件上、且位于夹具组件的上方；驱动组件，用于驱动夹具组件和光学成像模块当中的一个相对另一个移动，以使光学成像模块对每个夹具组件固定的待测物件进行扫描成像。本实用新型专利技术通过设置多个光学成像模块并搭配驱动组件，这样就可以同时对多个夹具组件固定的待测物件进行移动扫描成像，相比于传统逐件检测的方式，大幅提升了检测效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种检测设备


[0001]本技术属于产品检测
，尤其涉及一种检测设备。

技术介绍

[0002]随着半导体工艺的不断发展，半导体器件愈加集成化，半导体芯片的尺寸越来越小，传统的人工目检已然无法满足检测质量、效率的要求，基于机器视觉的缺陷检测设备应运而生，检测设备精度高、速度快、抗干扰能力强，是未来晶圆等半导体器件自动化检测的主流方向。
[0003]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片晶，晶圆外观缺陷检测是指检测晶圆表面是否存在崩裂、脏污等外观问题。但现有的晶圆等半导体器件的缺陷检测设备大多采用逐件检测，检测效率低，同时检测设备拍摄晶圆时会受到外界光线变化干扰，导致检测效果不理想。

技术实现思路

[0004]本技术实施例提供一种检测设备，旨在解决现有检测设备的检测效率低的技术问题。
[0005]本技术实施例是这样实现的，一种检测设备，包括底座组件、设置于所述底座组件之上的遮光箱、以及设置于所述底座组件上且位于所述遮光箱内的检测机构，所述检测机构包括：
[0006]多个夹具组件，设于所述底座组件之上，每个所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测设备，其特征在于，包括底座组件、设置于所述底座组件之上的遮光箱、以及设置于所述底座组件上且位于所述遮光箱内的检测机构，所述检测机构包括：多个夹具组件，设于所述底座组件之上，每个所述夹具组件可固定至少一待测物件；支架组件，设于所述底座组件之上；多个光学成像模块，设于所述支架组件上、且位于所述夹具组件的上方；驱动组件，用于驱动所述夹具组件和所述光学成像模块当中的一个相对另一个移动，以使所述光学成像模块对每个所述夹具组件固定的待测物件进行扫描成像。2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述底座组件包括底板、及可沿X轴方向滑动的设置于所述底板上的承压板，所述夹具组件固设于所述承压板之上；所述驱动组件包括横向驱动组件，所述横向驱动组件连接所述承压板，以驱动所述承压板沿X轴方向滑动。3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述支架组件包括固定于所述底板上的立架、及可沿Y轴方向滑动的设置于所述立架上的背板，所述光学成像模块固设于所述背板之上；所述驱动组件包括纵向驱动组件，所述纵向驱动组件连接所述背板，以驱动所述背板沿X轴方向滑动。4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述光学成像模块通过一安装架固设于所述背板之上，所述安装架可沿Z轴方向滑动的设置于所述背板上...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡学娟，徐露，郭玉峰，古乐野，陈玲玲，胡凯，张家铭，贺婷，谭雅丹，
申请(专利权)人：深圳技术大学，
类型：新型
国别省市：