本实用新型专利技术提供了一种超纯水颗粒的二次抛光处理装置，其能减小超滤进水因更换树脂导致水质变差带来的影响，保证出水水质的稳定性。其包括超滤装置一和超滤装置二，超滤装置一的进水口、超滤装置二的进水口分别通过进水阀一、进水阀二与总进水口连接，超滤装置一的产水口、超滤装置二的产水口分别通过产水阀一、产水阀二与产水排出口连接，超滤装置一的产水口还通过切换阀与超滤装置二的进水口连接。接。接。
【技术实现步骤摘要】
一种超纯水颗粒的二次抛光处理装置
[0001]本技术涉及水处理设备
，具体为一种超纯水颗粒的二次抛光处理装置。
技术介绍
[0002]超纯水是集成电路和平板显示行业电子产品生产中必不可少的一种原材料，水质要求很高。其中，集成电路超纯水的颗粒要求是颗粒（>0.05
µ
m）个数<500pcs/L，平板显示超纯水的颗粒要求是颗粒（>0.2
µ
m）个数<10pcs/mL。
[0003]超纯水颗粒的抛光处理目前主要采用超滤装置，通过膜表面机械筛分、膜孔阻滞和膜表面及膜孔吸附等作用，去除水中的颗粒物质，并在超滤装置出水侧设置颗粒计，检测超纯水颗粒含量。单个超滤装置的处理水量有限，通常会采用多个装置并联，“N+1”的设计方式，并在设计中预留充足的安全裕量，例如，如图1所示的传统“1+1”超滤装置，超滤进水经过超滤进水阀1均匀分配到超滤装置一4和超滤装置二5，超滤装置一4配备进水阀一2、浓水阀一6和产水阀一7，超滤装置二5配备进水阀二3、浓水阀二8和产水阀二9，经过浓水阀一6和浓水阀二8的浓水汇集经过浓水排出阀10排出，经过产水阀一7和产水阀二9的产水汇集经过颗粒计11后由产水排出阀12排出，但当超滤装置前端的抛光混床更换树脂后，抛光树脂会有颗粒溶出，超滤进水水质变差，影响终端超纯水水质。
技术实现思路
[0004]针对传统超纯水抛光处理装置更换树脂后会导致超纯水水质发生波动的问题，本技术提供了一种超纯水颗粒的二次抛光处理装置，其能减小超滤进水因更换树脂导致水质变差带来的影响，保证出水水质的稳定性。
[0005]其技术方案是这样的：一种超纯水颗粒的二次抛光处理装置，其包括超滤装置一和超滤装置二，超滤装置一的进水口、超滤装置二的进水口分别通过进水阀一、进水阀二与总进水口连接，超滤装置一的产水口、超滤装置二的产水口分别通过产水阀一、产水阀二与产水排出口连接，超滤装置一的产水口还通过切换阀与超滤装置二的进水口连接。
[0006]优选的，超滤装置一的浓水出口和超滤装置二的浓水出口分别通过浓水阀一、浓水阀二与浓水排出口连接。
[0007]优选的，总进水口，产水排出口和浓水排出口分别连接有超滤进水阀、产水排出阀和浓水排出阀。
[0008]优选的，产水排出口还连接有颗粒计。
[0009]有益效果：正常使用时，关闭切换阀，从总进水口进入的水通过进水阀一和进水阀二后分别进入超滤装置一和超滤装置二，经过超滤装置一和超滤装置二处理后，产水由产水排出口排出；当因更换树脂影响进水水质时，关闭进水阀二，关闭产水阀一，打开切换阀，超滤装置一的产水通过切换阀再次进入超滤装置二中进一步处理再排出，可以有效稳定水质。
附图说明
[0010]图1为传统抛光处理装置示意图；
[0011]图2为本技术示意图。
具体实施方式
[0012]如图2所示的一种超纯水颗粒的二次抛光处理装置，其包括超滤装置一4和超滤装置二5，超滤装置一4的进水口、超滤装置二5的进水口分别通过进水阀一2、进水阀二3与总进水口100连接，总进水口100通过超滤进水阀1控制水的进入，超滤装置一4的产水口、超滤装置二5的产水口分别通过产水阀一7、产水阀二9与产水排出口200连接，产水排出口200处安装有颗粒计11，产水排出口200通过产水排出阀12控制产水排出，超滤装置一4的浓水出口和超滤装置二5的浓水出口分别通过浓水阀一6、浓水阀二8与浓水排出口300连接，浓水排出口300通过浓水排出阀10控制浓水排出，超滤装置一4的产水口还通过切换阀13与超滤装置二5的进水口连接。
[0013]超滤进水阀1、进水阀二3、产水阀一7、浓水排出阀10、产水排出阀12、切换阀13可以采用自动阀，其余阀门可以采用球阀，各个部件之间通过管道进行连接。正常使用时，和传统的处理装置工作原理类似，此时切换阀13关闭，从总进水口100进入的水通过进水阀一2和进水阀二3后分别进入超滤装置一4和超滤装置二5，经过超滤装置一4和超滤装置二5处理后，产水经过产水阀一7、产水阀二9由产水排出口200排出，而浓水经过浓水阀一6、浓水阀二8由浓水排出口300排出；当因更换树脂影响进水水质时，关闭进水阀二3，关闭产水阀一7，打开切换阀13，此时总进水口100进入的水依次经过进水阀一2、超滤装置一4、产水管支路上的切换阀13、超滤装置二5，超滤装置二5的产水经过产水阀二9由产水排出口200排出，超滤装置一4、超滤装置二的浓水经过浓水阀一6、浓水阀二8由浓水排出口300排出，从而将正常使用时并联的超滤装置一4和超滤装置二5改为串联，对水质变差的水进行二次超滤。
[0014]本技术可以通过控制程序将一备一用的并联超滤装置转变为串联的二级超滤。当前端抛光混床更换树脂后，通过二级超滤可以迅速稳定水质。此系统在前期设备投入没有明显提升的情况下，很好地应对了超纯水水质波动的问题，具有成本低、效果好的优点。
[0015]以上，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉该技术的人在本技术所揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超纯水颗粒的二次抛光处理装置，其包括超滤装置一和超滤装置二，所述超滤装置一的进水口、所述超滤装置二的进水口分别通过进水阀一、进水阀二与总进水口连接，所述超滤装置一的产水口、所述超滤装置二的产水口分别通过产水阀一、产水阀二与产水排出口连接，其特征在于：所述超滤装置一的产水口还通过切换阀与所述超滤装置二的进水口连接。2.根据权利要求1所述的一种超纯水颗粒的二次抛光处理装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈炜彧，周伟，戎宇舟，高康，张浩，
申请(专利权)人：中国电子系统工程第二建设有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。