可见光热反射测温方法及测温设备技术

本发明专利技术适用于微电子测温技术领域，提供了一种可见光热反射测温方法及测温设备，上述方法包括：控制待测件的温度稳定在第一预设温度，并采集待测件的反射率，作为第一反射率；控制待测件的温度升高并稳定在第二预设温度，并采集待测件的反射率，作为第二反射率；控制待测件的温度降低并稳定在第一预设温度，将待测件通电，待待测件的温度稳定后，采集通电待测件的反射率，作为第三反射率；根据第一反射率对第三反射率进行校正，得到校正后的第三反射率；根据第一反射率、第二反射率及校正后的第三反射率确定待测件的温度变化量。本发明专利技术采用不通电时的第一反射率对通电后的第三反射率进行校正，可以有效消除随机干扰，提高了测量精度。精度。精度。

【技术实现步骤摘要】
可见光热反射测温方法及测温设备


[0001]本专利技术属于微电子测温
，尤其涉及一种可见光热反射测温方法及测温设备。

技术介绍

[0002]可见光热反射测温仪器通过测量材料表面反射率的变化量计算得到材料表面温度的变化量。可见光热反射测温仪器的读数不仅随着温度改变，也会随着光源的波动、探测器随机噪声、外部光强改变等因素改变，而引入测量误差。
[0003]现有技术中，为提高可见光热反射测温仪器的测量精度，通常采用滤除热反射率校准系数值较小的区域的数据，以消除随机干扰。但由于反射率校准系数值较小的区域容易受随机干扰的影响，导致该区域的反射率校准系数值高于阈值标准，从而导致该区域数据没有被滤除掉，测量精度的改善效果不佳。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种可见光热反射测温方法及测温设备，以解决现有技术中的测温方法对测量精度的改善效果不佳的问题。
[0005]本专利技术实施例的第一方面提供了一种可见光热反射测温方法，包括：
[0006]控制待测件的温度稳定在第一预设温度，并采集待测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可见光热反射测温方法，其特征在于，包括：控制待测件的温度稳定在第一预设温度，并采集所述待测件的反射率，作为第一反射率；控制所述待测件的温度升高并稳定在第二预设温度，并采集所述待测件的反射率，作为第二反射率；控制所述待测件的温度降低并稳定在所述第一预设温度，将所述待测件通电，待所述待测件的温度稳定后，采集通电待测件的反射率，作为第三反射率；根据所述第一反射率对所述第三反射率进行校正，得到校正后的第三反射率；根据所述第一反射率、所述第二反射率及所述校正后的第三反射率确定所述待测件的温度变化量。2.如权利要求1所述的可见光热反射测温方法，其特征在于，所述根据所述第一反射率对所述第三反射率进行校正，得到校正后的第三反射率，包括：确定所述第一反射率是否小于预设阈值；若所述第一反射率小于所述预设阈值，则将所述第三反射率替换为所述第一反射率，得到所述校正后的第三反射率。3.如权利要求2所述的可见光热反射测温方法，其特征在于，在所述根据所述第一反射率对所述第三反射率进行校正，得到校正后的第三反射率之前，所述方法还包括：控制所述待测件的温度稳定在所述第一预设温度，并采集所述待测件的各个像素点的反射率；将各个像素点的反射率中的最大值乘以比例系数得到所述预设阈值。4.如权利要求1所述的可见光热反射测温方法，其特征在于，所述根据所述第一反射率、所述第二反射率及所述校正后的第三反射率确定所述待测件的温度变化量，包括：根据所述第一反射率及所述第二反射率，确定热反射率校准系数；根据所述热反射率校准系数、所述第一反射率及所述校正后的第三反射率，得到所述待测件的温度变化量。5.如权利要求4所述的可见光热反射测温方法，其特征在于，所述待测件的温度变化量ΔT
x
的计算公式为：其中，C
x
为所述校正后的第三反射率，C
L
为所述第一反射率，C
TR
为所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：翟玉卫，默江辉，王强栋，刘岩，李灏，丁立强，荆晓冬，丁晨，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：