真空泵制造技术

在真空泵(1)中，在泵转子(30)的转子端面(33)形成的转子端面凸部(33a)以较窄的第1间隙(Δ1)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)遍及泵转子(30)的外周缘的整周而形成，并作为气体密封部发挥功能，能够确保泵排气性能。由转子端面凸部(33a)包围的转子端面凹部(33b)以较宽的第2间隙(Δ2)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)只要以较窄的宽度形成即可，由此能够在其内侧形成面积较大的转子端面凹部(33b)。能够可靠地消除：因在泵室内侧端面(70)与转子端面(33)之间形成的生成物引起的泵转子(30)的旋转障碍等。成物引起的泵转子(30)的旋转障碍等。成物引起的泵转子(30)的旋转障碍等。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵


[0001]本专利技术涉及如下真空泵：一对泵转子沿着泵室内周壁保持微小的间隙、且朝相反方向旋转而进行流体的排出动作。

技术介绍

[0002]机械增压泵等真空泵形成为如下构造：对于泵作用部不使用密封液，一对泵转子沿着泵室内周壁保持微小的间隙且朝相反方向无接触地旋转，由此将恒定量的气体从进气侧向排气侧输送而实现真空。该形式的真空泵能够实现油蒸气污染较少的真空排气，以在蚀刻、CVD等半导体制造工艺中创建清洁的真空空间为目的而使用。
[0003]在使用真空泵将在半导体制造工艺等中产生的气体抽吸排出的情况下，因抽吸到真空泵内的气体而在以微小间隙对置的泵室内周壁表面和转子表面引起生成物的蓄积、固附。由于蓄积、固附于上述表面的生成物堵塞于微小间隙中，因此会引起如下弊端等：泵转子的旋转停止，泵转子的旋转驱动力升高使得对泵转子进行旋转驱动的马达处于过大电流的状态而导致泵停止。另外，当泵停止之后再运转时，有时也会因转子夹入蓄积/固附的生成物或者进行滑动而使得泵无法重启。
[0004]专利文献1中提出了如下真空泵：即便生成物堆积于泵室内部，也本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空泵，其特征在于，具备：泵室；一对泵转子，它们以能够绕平行的旋转中心线旋转的方式配置于所述泵室内，各泵转子的所述旋转中心线的方向的两侧的转子端面；以及泵室内侧端面，其位于所述泵室的所述旋转中心线的方向的两侧，并与所述转子端面分别对置，在所述转子端面分别形成有转子端面凸部及转子端面凹部，所述转子端面凸部沿着所述转子端面的外周缘遍及该外周缘的整周而形成有外周缘侧凸部，所述转子端面凹部形成于所述转子端面的由所述外周缘侧凸部包围的部分，在相互对置的所述转子端面与所述泵室内侧端面之间，所述转子端面凸部以第1间隙与所述泵室内侧端面对置，所述转子端面凹部以比所述第1间隙宽的第2间隙与所述泵室内侧端面对置。2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，供转子轴贯通延伸的轴孔分别在所述泵转子的各转子端面及所述泵室内侧端面开口，所述转子端面凸部以将在所述转子端面开口的所述轴孔的整周包围的状态形成有内周缘侧凸部，所述转子端面凹部形成于所述外周缘侧凸部与所述内周缘侧凸部之间。3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述泵室在与所述泵转子的所述旋转中心线...

【专利技术属性】
技术研发人员：乙田朝史，茂木幸太郎，油井将希，岩下航己，
申请(专利权)人：樫山工业株式会社，
类型：发明
国别省市：