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下载真空泵的技术资料

文档序号:31372564

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在真空泵(1)中,在泵转子(30)的转子端面(33)形成的转子端面凸部(33a)以较窄的第1间隙(Δ1)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)遍及泵转子(30)的外周缘的整周而形成,并作为气体密封部发挥功能,能够确保泵排气性能。...
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