一种清灰装置及单晶炉清灰装置制造方法及图纸

技术编号:31360335 阅读:53 留言:0更新日期:2021-12-13 09:21
本实用新型专利技术提供一种清灰装置及单晶炉清灰装置,用于清理管道,其中,清灰装置包括驱动部件、传动部件和清灰部件;所述驱动部件与所述传动部件连接,所述清灰部件与所述传动部件连接,所述清灰部件设置在管道内,所述清灰部件至少部分与管道内壁相抵,所述传动部件至少部分伸入所述管道;所述驱动部件通过所述传动部件带动所述清灰部件清理所述管道内壁的沉积物。本实用新型专利技术能够实现自动对管道的管道内壁进行清理的有益效果。壁进行清理的有益效果。壁进行清理的有益效果。

【技术实现步骤摘要】
一种清灰装置及单晶炉清灰装置
[0001]本申请要求于2020年03月31日提交中国专利局、申请号为202020447689.3、专利技术名称为“一种清灰装置及单晶炉清灰装置”的中国专利申请的优先权,其全部内容通过引用结合在本申请中。


[0002]本技术涉及单晶硅制造
,尤其涉及一种清灰装置及单晶炉清灰装置。

技术介绍

[0003]单晶硅广泛应用于太阳能电池与半导体的制作,是光伏与电子工业发展的基石。直拉单晶的生产过程中,石英坩埚与硅熔体之间发生反应持续产生大量的挥发性杂质气体。
[0004]目前,现有单晶炉清灰装置中设置有真空泵,并充以氩气,氩气气流会带走部分挥发物,仍有大量挥发物沉积在单晶炉清灰装置各处,特别是单晶炉清灰装置底部管道的水冷部分。
[0005]技术人在研究上述现有技术的过程中发现,随着单晶炉清灰装置单炉运行时间变长,投料量的增加使得所产生挥发性气体的量增加,流经管道后附着在管道内壁的挥发物的量增加,并形成沾附在管道上的沉积物,致管道排气截面变小,容易造成管道堵塞,严重影响单晶炉清灰装置排气,不利于保持炉压及炉内高纯环境,影响拉晶过程及晶体品质。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种清灰装置及单晶炉清灰装置,以解决在先技术中管道容易被阻塞的问题。
[0007]为了解决上述技术问题,
[0008]本技术实施例提供一种清灰装置,用于清理管道,包括驱动部件、传动部件和清灰部件;
[0009]所述驱动部件与所述传动部件连接,所述清灰部件与所述传动部件连接,所述清灰部件设置在管道内,所述清灰部件至少部分与管道内壁相抵,所述传动部件至少部分伸入所述管道;
[0010]所述驱动部件通过所述传动部件带动所述清灰部件清理所述管道内壁的沉积物。
[0011]可选地,所述传动部件包括第一传动组件和第二传动组件,所述第一传动组件与所述驱动部件连接,所述第二传动组件的第一端与所述第一传动组件连接,其中,所述第一传动组件的传动方向相对于所述第二传动组件的传动方向呈角度设置;
[0012]所述第二传动组件的第二端伸入所述管道内侧,所述清灰部件设置在所述第二传动组件的第二端。
[0013]可选地,所述第一传动组件包括支撑件、悬臂和第一固定件,所述支撑件通过所述第一固定件与所述驱动部件连接,所述悬臂至少部分地嵌设于所述支撑件,所述第二传动组件与所述悬臂固定连接。
[0014]可选地,所述悬臂包括至少两个传动臂,所述传动臂的第一端嵌设于所述支撑件,所述传动臂的第二端与所述第二传动组件固定连接;
[0015]所述第二传动组件和所述管道的数量与所述传动臂的数量相同,至少两个所述传动臂相对所述驱动部件间隔设置。
[0016]可选地,所述第二传动组件包括伸缩杆和第二固定件,所述伸缩杆的第一端与所述悬臂通过所述第二固定件固定连接,所述伸缩杆的第二端与所述清灰部件固定连接,所述伸缩杆伸入所述管道内侧。
[0017]可选地,所述清灰部件包括连接部和灰爪,所述连接部与所述第二传动组件固定连接,所述灰爪与所述连接部连接,所述灰爪至少部分地与所述管道内壁相抵;
[0018]所述清灰部件的数量与所述第二传动组件的数量相同。
[0019]可选地,所述灰爪为与所述管道内壁相适配的环形结构;
[0020]所述环形结构为圆环形、椭圆环形、异形环形中的一者或者至少两者的组合。
[0021]可选地,所述灰爪所在的平面与所述第二传动组件的轴线方向相交,且夹角大于等于45
°
,并小于等于135
°

[0022]可选地,所述传动部件伸入所述管道的部分,与所述管道内壁之间具有间隙,以保证所述管道的正常排气。
[0023]第二方面,本技术实施例还提供了一种单晶炉清灰装置,包括上述的清灰装置;
[0024]其中,单晶炉包括托杆和排气管道,所述驱动部件包括所述托杆,所述管道为所述排气管道;
[0025]所述传动部件与所述托杆连接,所述清灰部件设置在所述排气管道内。
[0026]可选地,所述托杆上设置有坩埚件,所述托杆在所述单晶炉内移动,所述坩埚件随所述托杆移动;
[0027]在所述托杆沿第一方向移动的情况下,所述传动部件在所述托杆带动下沿所述第一方向移动,所述清灰部件随所述传动部件沿所述第一方向移动,并清理所述管道内壁的沉积物;
[0028]在所述托杆沿第二方向移动的情况下,所述传动部件在所述托杆带动下沿所述第二方向移动,所述清灰部件随所述传动部件沿所述第二方向移动,并清理所述管道内壁的所述沉积物。
[0029]在本技术实施例中,通过驱动部件和传动部件的配合设置,可以带动清灰部件沿管道内壁滑移。由于清灰部件至少部分地与管道内壁相抵,这样就可以通过摩擦对管道内壁的沉积物进行清理。本技术实施例能够实现自动对管道的管道内壁进行清理的有益效果。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对本技术实施例的
描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1表示本技术实施例提供的清灰装置的结构示意图;
[0032]图2表示本技术实施例提供的清灰装置的俯视图;
[0033]图3表示本技术实施例提供的支撑件的结构示意图;
[0034]图4表示本技术实施例提供的悬臂的结构示意图;
[0035]图5表示本技术实施例提供的伸缩杆和清灰部件配合时的结构示意图;
[0036]图6表示本技术实施例提供的清灰部件的结构示意图;
[0037]图7表示本技术实施例提供的单晶炉清灰装置使用方法的流程图。
[0038]附图标记说明:
[0039]10、驱动部件;20、传动部件;21、第一传动组件;211、支撑件;212、悬臂;213、第一固定件;22、第二传动组件;221、伸缩杆;222、第二固定件;30、清灰部件;31、连接部;32、灰爪。
具体实施方式
[0040]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0041]应理解,说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本技术的至少两个实施例中。因此,在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外,这些特定的特征、结构或特性可以任意适合的方式结合在一个或本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清灰装置,用于清理管道,其特征在于,包括驱动部件、传动部件和清灰部件;所述驱动部件与所述传动部件连接,所述清灰部件与所述传动部件连接,所述清灰部件设置在管道内,所述清灰部件至少部分与管道内壁相抵,所述传动部件至少部分伸入所述管道;所述驱动部件通过所述传动部件带动所述清灰部件清理所述管道内壁的沉积物。2.根据权利要求1所述的清灰装置,其特征在于,所述传动部件包括第一传动组件和第二传动组件,所述第一传动组件与所述驱动部件连接,所述第二传动组件的第一端与所述第一传动组件连接,其中,所述第一传动组件的传动方向相对于所述第二传动组件的传动方向呈角度设置;所述第二传动组件的第二端伸入所述管道内侧,所述清灰部件设置在所述第二传动组件的第二端。3.根据权利要求2所述的清灰装置,其特征在于,所述第一传动组件包括支撑件、悬臂和第一固定件,所述支撑件通过所述第一固定件与所述驱动部件连接,所述悬臂至少部分地嵌设于所述支撑件,所述第二传动组件与所述悬臂固定连接。4.根据权利要求3所述的清灰装置,其特征在于,所述悬臂包括至少两个传动臂,所述传动臂的第一端嵌设于所述支撑件,所述传动臂的第二端与所述第二传动组件固定连接;所述第二传动组件和所述管道的数量与所述传动臂的数量相同,至少两个所述传动臂相对所述驱动部件间隔设置。5.根据权利要求3所述的清灰装置,其特征在于,所述第二传动组件包括伸缩杆和第二固定件,所述伸缩杆的第一端与所述悬臂通过所述第二固定件固定连接,所述伸缩杆的第二端与所述清灰部件固定连接,所述伸缩杆伸入所述管道内侧。6.根据权利要求2所述的清灰装置,其特征在于,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:郝尧邓浩付泽华
申请(专利权)人:隆基绿能科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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