【技术实现步骤摘要】
一种清灰装置及单晶炉清灰装置
[0001]本申请要求于2020年03月31日提交中国专利局、申请号为202020447689.3、专利技术名称为“一种清灰装置及单晶炉清灰装置”的中国专利申请的优先权，其全部内容通过引用结合在本申请中。
[0002]本技术涉及单晶硅制造
，尤其涉及一种清灰装置及单晶炉清灰装置。
技术介绍
[0003]单晶硅广泛应用于太阳能电池与半导体的制作，是光伏与电子工业发展的基石。直拉单晶的生产过程中，石英坩埚与硅熔体之间发生反应持续产生大量的挥发性杂质气体。
[0004]目前，现有单晶炉清灰装置中设置有真空泵，并充以氩气，氩气气流会带走部分挥发物，仍有大量挥发物沉积在单晶炉清灰装置各处，特别是单晶炉清灰装置底部管道的水冷部分。
[0005]技术人在研究上述现有技术的过程中发现，随着单晶炉清灰装置单炉运行时间变长，投料量的增加使得所产生挥发性气体的量增加，流经管道后附着在管道内壁的挥发物的量增加，并形成沾附在管道上的沉积物，致管道排气截面变小，容易造成管道堵塞，严重影响单晶炉...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种清灰装置，用于清理管道，其特征在于，包括驱动部件、传动部件和清灰部件；所述驱动部件与所述传动部件连接，所述清灰部件与所述传动部件连接，所述清灰部件设置在管道内，所述清灰部件至少部分与管道内壁相抵，所述传动部件至少部分伸入所述管道；所述驱动部件通过所述传动部件带动所述清灰部件清理所述管道内壁的沉积物。2.根据权利要求1所述的清灰装置，其特征在于，所述传动部件包括第一传动组件和第二传动组件，所述第一传动组件与所述驱动部件连接，所述第二传动组件的第一端与所述第一传动组件连接，其中，所述第一传动组件的传动方向相对于所述第二传动组件的传动方向呈角度设置；所述第二传动组件的第二端伸入所述管道内侧，所述清灰部件设置在所述第二传动组件的第二端。3.根据权利要求2所述的清灰装置，其特征在于，所述第一传动组件包括支撑件、悬臂和第一固定件，所述支撑件通过所述第一固定件与所述驱动部件连接，所述悬臂至少部分地嵌设于所述支撑件，所述第二传动组件与所述悬臂固定连接。4.根据权利要求3所述的清灰装置，其特征在于，所述悬臂包括至少两个传动臂，所述传动臂的第一端嵌设于所述支撑件，所述传动臂的第二端与所述第二传动组件固定连接；所述第二传动组件和所述管道的数量与所述传动臂的数量相同，至少两个所述传动臂相对所述驱动部件间隔设置。5.根据权利要求3所述的清灰装置，其特征在于，所述第二传动组件包括伸缩杆和第二固定件，所述伸缩杆的第一端与所述悬臂通过所述第二固定件固定连接，所述伸缩杆的第二端与所述清灰部件固定连接，所述伸缩杆伸入所述管道内侧。6.根据权利要求2所述的清灰装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：郝尧，邓浩，付泽华，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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