一种等离子体增强化学气相沉积设备制造技术

本申请实施例提供一种等离子体增强化学气相沉积设备，当托盘组位于相邻两块电极板之间，任意两块托盘沿托盘厚度方向相互错开，使得多块托盘大致沿平面分布，相邻两块电极板分别位于托盘沿托盘厚度方向的两侧，相邻两块电极板之间是大致沿平面分布的多块托盘，相当于将原来处于相邻两块电极板之间的整块托盘分割成了多块托盘，减小了单块托盘的面积。单块托盘的面积减小，多块托盘的总面积仍然足够大，能够放置足够数量的电池片，能够确保单台设备的产能，单块托盘的面积相对较小，在一定程度上能够提高托盘的抗变形能力，缓解甚至消除托盘在搬运过程中的变形，使得托盘的形位公差和控制精度能够基本上处于允许的范围内。差和控制精度能够基本上处于允许的范围内。差和控制精度能够基本上处于允许的范围内。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子体增强化学气相沉积设备


[0001]本申请涉及太阳能电池
，尤其涉及一种等离子体增强化学气相沉积设备。

技术介绍

[0002]在太阳能电池制作过程中，需要对电池片镀膜，常用的镀膜方式为PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积)镀膜，PECVD分为管式PECVD和板式PECVD，对于板式PECVD而言，其电极的形状呈平板状，托盘承托电池片，电池片随托盘一起放置到两个平板状的电极之间形成放电回路，气体在电场作用下形成等离子体，最终完成电池片的镀膜。在使用过程中，承托电池片的托盘可能发生较大的变形导致托盘的形位公差和控制精度超出了允许的范围。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请实施例期望提供一种等离子体增强化学气相沉积设备，以缓解托盘的变形。
[0004]为达到上述目的，本申请实施例提供一种等离子体增强化学气相沉积设备，包括：
[0005]多块电极板；以及
[0006]托盘组，所述托盘组配置为能够移入或移出相邻两本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于，包括：多块电极板；以及托盘组，所述托盘组配置为能够移入或移出相邻两块所述电极板之间，所述托盘组包括多块承托电池片的托盘，所述电池片与所述托盘沿托盘厚度方向叠置；当所述托盘组位于相邻两块所述电极板之间，任意两块托盘沿所述托盘厚度方向相互错开，相邻两块所述电极板分别位于所述托盘沿所述托盘厚度方向的两侧。2.根据权利要求1所述的等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于，所述等离子体增强化学气相沉积设备还包括夹具和多个工艺腔室，至少一个所述工艺腔室内设置有所述电极板，所述夹具配置为将其中一个工艺腔室内的托盘传送至另一个工艺腔室内。3.根据权利要求2所述的等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于，所述夹具包括：主体支架；第一传送驱动装置，与所述主体支架驱动连接，所述第一传送驱动装置配置为驱动所述主体支架在各工艺腔室之间移动；以及抓手，连接在所述主体支架背离所述第一传送驱动装置的一侧，所述抓手配置为取放所述托盘。4.根据权利要求3所述的等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于，每块所述托盘对应设置有一个所述抓手。5.根据权利要求2所述的等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于，所述夹具包括：支撑件；第二传送驱动装置，与所述支撑件连接，所述第二传送驱动装置配置为驱动所述支撑件在各工艺腔室之间移动；以及承托臂，与所述支撑件连接，所述承托臂配置...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宝海，杨娜，潘家永，许伟伟，宋玉超，李轶军，李翔，李敦信，李义升，
申请(专利权)人：营口金辰机械股份有限公司，
类型：新型
国别省市：