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本申请实施例提供一种等离子体增强化学气相沉积设备，当托盘组位于相邻两块电极板之间，任意两块托盘沿托盘厚度方向相互错开，使得多块托盘大致沿平面分布，相邻两块电极板分别位于托盘沿托盘厚度方向的两侧，相邻两块电极板之间是大致沿平面分布的多块托盘，...
该专利属于营口金辰机械股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过营口金辰机械股份有限公司授权不得商用。

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