一种用于单晶硅棒的取棒保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于单晶硅棒的取棒保护装置，包括可拆卸地和副室相连接的连接件，连接件与驱动机构连接，驱动机构包括与连接件一端连接的控制箱、固定在控制箱内的微型电机、与微型电机的输出轴机械连接的第一螺杆和第二螺杆，第一螺杆横向转动安装在所述控制箱内，且上套装有主动齿轮，第二螺杆的下端穿过控制箱，且竖直转动安装在控制箱内，且下端上套装有从动齿轮，主动齿轮与从动齿轮相互啮合，第二螺杆上套设有保护环。本实用新型专利技术设计新颖，可以调节保护环的高度，满足不同长度单晶硅棒的保护要求，满足不同的使用情况，可根据实际情况实现对单晶硅棒不同位置的保护，实用性强，值得推广。值得推广。值得推广。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅棒的取棒保护装置


[0001]本技术涉及单晶硅生产制造领域，具体为一种用于单晶硅棒的取棒保护装置。

技术介绍

[0002]单晶硅棒的加工方式采用加料式拉制的方式，单晶硅棒在拉制成型后，在出棒的过程中，需要将单晶硅棒先从坩埚中升高至圆柱型空腔结构的副室中，而单晶硅棒上端固定且位于空腔中心轴位置，在副室旋转带动单晶硅棒移出时，会造成单晶硅棒的晃动，尤其在旋转启动、停止过程中由于惯性作用会加剧单晶硅棒的晃动，容易造成单晶硅棒的掉落及晶棒与副室内壁的磕碰。
[0003]目前为了防止单晶硅棒掉落，单晶炉在副室侧部会增加一个晶托装置，在副室升起后，将晶托装置打开，防止因旋转副室而导致单晶硅棒掉落，但对于副室旋转过程中引起的晶棒晃动却没有明显得到改善。
[0004]授权公告号CN209636367U的技术公开了一种单晶硅棒取棒保护装置，包括：用于设置于单晶炉的副室底端的保护环；以及和所述保护环固定连接，用于将所述保护环可拆卸地和副室相连接的连接件；其中，所述保护环的内环直径小于所述副室内壁的直径且大于单晶硅棒的直径；当所述连接件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅棒的取棒保护装置，包括可拆卸地和副室相连接的连接件(1)，其特征在于：所述连接件(1)与驱动机构(2)连接，所述驱动机构(2)包括与所述连接件(1)一端连接的控制箱(21)、固定在控制箱(21)内的微型电机(22)、与微型电机(22)的输出轴机械连接的第一螺杆(23)和第二螺杆(24)，所述第一螺杆(23)横向转动安装在所述控制箱(21)内，且上套装有主动齿轮(3)，所述第二螺杆(24)的下端穿过所...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡建名，
申请(专利权)人：扬州方通电子材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：