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本实用新型提供一种用于单晶硅棒的取棒保护装置,包括可拆卸地和副室相连接的连接件,连接件与驱动机构连接,驱动机构包括与连接件一端连接的控制箱、固定在控制箱内的微型电机、与微型电机的输出轴机械连接的第一螺杆和第二螺杆,第一螺杆横向转动安装在所述...该专利属于扬州方通电子材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过扬州方通电子材料科技有限公司授权不得商用。
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