一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备，包括设备主体，所述设备主体上安装有活动门，所述设备主体上设置有防护结构，所述防护盒固定安装于设备主体上，所述防护板连接于防护盒上，所述防护结构中的防护盒中设置有可调控制器，且可调控制器包括控制面板、转轴和橡胶垫。本实用新型专利技术所述的一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备，属于涂胶显影设备领域，防护结构可以有效地将控制器保护起来，保证控制器的完好性，采用磁铁、限位架等结构，既可以快速地打开防护板使用控制器，又可以保证防护板闭合后的稳固性，通过设置的可调控制器，可以根据实际情况进行微调，并且微调后不受外力情况下控制面板不会自行转动，使用稳固性好。用稳固性好。用稳固性好。

【技术实现步骤摘要】
一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备


[0001]本技术涉及涂胶显影设备领域，特别涉及一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备。

技术介绍

[0002]光刻(photoetching)是通过一系列生产步骤，将晶片表面薄膜的特定部分除去的工艺，通过光刻工艺过程，最终在晶片上保留的是特征图形部分。目前的光刻工艺中，一般采用涂胶显影设备进行涂胶、显影工作，因此对涂胶显影设备的使用较多；现有的涂胶显影设备中，控制面板直接固定在设备主体上，不能进行调节，使用时存在一定的局限性，并且不使用时得不到有效地保护，极易受到外界因素干扰而损坏，使用成本较高。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0005]一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备，包括设备主体，所述设备主体上安装有活动门，所述设备主体上设置有防护结构，且防护结构包括防护盒、内腔、滚珠、第一磁铁、限位架、防护板、腰型孔、第二磁铁和固定小块，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备，包括设备主体(1)，所述设备主体(1)上安装有活动门(2)，其特征在于：所述设备主体(1)上设置有防护结构(3)，且防护结构(3)包括防护盒(301)、内腔(302)、滚珠(303)、第一磁铁(304)、限位架(305)、防护板(306)、腰型孔(307)、第二磁铁(308)和固定小块(309)，所述防护盒(301)固定安装于设备主体(1)上，所述防护板(306)连接于防护盒(301)上，所述防护结构(3)中的防护盒(301)中设置有可调控制器，且可调控制器包括控制面板(4)、转轴(5)和橡胶垫(6)。2.根据权利要求1所述的一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备，其特征在于：所述活动门(2)上设有合页，且合页与设备主体(1)之间固定连接，所述活动门(2)通过合页转动连接于设备主体(1)上，所述活动门(2)上设置有方形槽，且活动门(2)上设置有透明玻璃。3.根据权利要求2所述的一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备，其特征在于：所述防护盒(301)固定于设备主体(1)上，所述内腔(302)开设于防护盒(301)上，所述滚珠(303)设置于防护盒(301)上，所述第一磁铁(304)固定安装于防护盒(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁统华，
申请(专利权)人：冈隆自动化系统设备昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：