【技术实现步骤摘要】
一种载板位置检测装置
[0001]本技术涉及一种载板位置检测装置。
技术介绍
[0002]在制备高效异质结太阳能电池时,PVD(Physical Vapor Deposition,物理气相沉积)工序是非常关键的步骤之一。硅片放置在载板上,载板作为硅片承载传送托盘,输送硅片进入真空腔室进行物理气相沉积,为了保证沉积均匀,需对载板在真空腔室中传动的位置进行检测,以保证硅片准确到达沉积位置。为实现对载板位置的检测,现有的载板检测装置一般采用对射式检测单元,安装在真空腔室上下方,上方为发射单元,下方为接收单元,且需在对应位置设置观察窗以便安装调试。
[0003]但硅片会因载板高速传动产生的振动等原因出现破碎,形成的碎片一旦掉落遮挡到载板位置检测装置的接收单元,导致设备报警,需停止设备运转,破真空后取出碎硅片,才能恢复生产,增大了生产成本。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种载板位置检测装置,其结构简单,降低设备成本,有效避免碎片等物遮挡的问题,且便于维护。
[0005]本技术的目的通过如下技术方案实现:
[0006]一种载板位置检测装置,它包括穿设固定于真空腔室壁面上的固定管座组件、设于固定管座组件外端的反射式激光传感器以及将反射式激光传感器与固定管座组件固定连接以收发进入真空腔室的激光信号的传感安装组件。
[0007]较之现有技术而言,本技术的优点在于:
[0008](1)反射式激光传感器、固定管座组件与传感安装组件三者安装配合,其结构简单,传感器设置 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种载板位置检测装置,其特征在于:它包括穿设固定于真空腔室壁面上的固定管座组件、设于固定管座组件外端的反射式激光传感器以及将反射式激光传感器和固定管座组件固定连接以收发进入真空腔室的激光信号的传感安装组件。2.根据权利要求1所述的载板位置检测装置,其特征在于:所述固定管座组件包括设有内外贯通孔且外端设有固定凸沿的固定管座以及设于固定管座内外端以将固定管座密封固定在真空腔室壁面上的固定密封单元。3.根据权利要求2所述的载板位置检测装置,其特征在于:所述固定密封单元包括与固定凸沿下端面配合的固定管座密封圈以及设于固定管座内端的固定管座螺纹锁紧件。4.根据权利要求3所述的载板位置检测装置,其特征在于:所述固定管座螺纹锁紧件包括与固定管座外壁面螺纹配合的固定管座螺母以及设于固定管座螺母与真空腔室壁面之间的固定管座垫...
【专利技术属性】
技术研发人员:倪鹏玉,张建德,徐尔强,陈墩权,
申请(专利权)人:福建金石能源有限公司,
类型:新型
国别省市:
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