一种用于PBN坩埚自动清洗的花篮制造技术

本实用新型专利技术涉及清洗装置技术领域，公开了一种用于PBN坩埚自动清洗的花篮，包括底板和用于固定PBN坩埚的固定件，所述底板上均匀开设有若干个圆形通孔，底板上固定连接有相互对称的两个箱板、两个功能板，箱板与功能板固定连接，箱板和功能板上均匀开设有若干个矩形通槽，功能板中部固定连接有定位板，定位板上开设有长通槽和若干个半圆槽，长通槽和半圆槽相通；固定件包括承重柱和固定柱，承重柱的两端均固定连接固定柱。解决了PBN坩埚在清洗过程中不能完全浸泡在清洗液体内、PBN坩埚的籽晶腔会随着水流移动撞击到花篮而损坏以及花篮太轻不能沉入设定的位置而导致自动清洗无法进行的问题。进行的问题。进行的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于PBN坩埚自动清洗的花篮


[0001]本技术涉及清洗装置
，尤其涉及一种用于PBN坩埚自动清洗的花篮。

技术介绍

[0002]在目前的VGF砷化镓单晶生长中，需要将多晶料放置于PBN坩埚中进行生长，PBN坩埚是一种新型陶瓷材料，硬度大且脆，一般PBN坩埚的厚度在1mm左右，重量在100克左右且价格昂贵，在单晶生长的成本中占有比较重的比例，并且，PBN坩埚处理的好坏将直接影响单晶生长质量。为了控制成本及提升质量，需要不断优化PBN坩埚处理工艺，例如优化PBN坩埚清洗工艺，现有PBN坩埚清洗工艺多为自动清洗，自动清洗的原理是利用机械臂挂钩挂起花篮，然后按照设定好的程序依次升/降到槽内，它的优势是过程可以从上料台到下料台实现全自动清洗，节省人工和提升清洗效率及质量。
[0003]自动清洗的重要一环是承载物的设计，因为PBN坩埚质量轻，承载物降入槽内时，PBN坩埚浮在液体表面会有以下情况：1.PBN坩埚不能完全浸泡到液体导致不能完成清洗；2.PBN坩埚的籽晶腔会随着水流移动撞击到承载物而损坏；3.承载物太轻不能沉入设定的位置而导致本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于PBN坩埚自动清洗的花篮，包括底板，其特征在于：还包括用于固定PBN坩埚的固定件，所述底板上阵列分布有若干个圆形通孔，底板上固定连接有相互对称的两个箱板、两个功能板，箱板与功能板固定连接，箱板和功能板上均匀开设有若干个矩形通槽，功能板中部固定连接有定位板，定位板上开设有长通槽和若干个半圆槽，长通槽和半圆槽相通；固定件包括承重柱和固定柱，承重柱的两端均固定连接固定柱，长通槽的宽度与半圆槽的直径均小于承重柱的直径且等于固定柱的直径，承重柱与固定柱连接成一体后可在长通槽内自由滑动，固定柱可卡设在半圆槽内。2.根据权利要求1所述的一种用于PBN坩埚自动清洗的花篮，其特征在于：所述承重柱的两端均开设有螺纹孔，固定柱为外六角螺丝，外六角螺栓螺纹连接在螺纹孔内。3.根据权利要求2所述的一种用...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖雨，
申请(专利权)人：威科赛乐微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：