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本实用新型涉及清洗装置技术领域，公开了一种用于PBN坩埚自动清洗的花篮，包括底板和用于固定PBN坩埚的固定件，所述底板上均匀开设有若干个圆形通孔，底板上固定连接有相互对称的两个箱板、两个功能板，箱板与功能板固定连接，箱板和功能板上均匀开设有...
该专利属于威科赛乐微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威科赛乐微电子股份有限公司授权不得商用。

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