一种用于装饰镀膜的碳化钨靶材及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种用于装饰镀膜的碳化钨靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)筛分纯度≥99.98％的碳化钨原料，得到碳化钨粉末；(2)将步骤(1)所得碳化钨粉末进行烧结温度为1800

【技术实现步骤摘要】
一种用于装饰镀膜的碳化钨靶材及其制备方法


[0001]本专利技术属于溅射靶材
，涉及一种碳化钨靶材，尤其涉及一种用于装饰镀膜的碳化钨靶材及其制备方法。

技术介绍

[0002]在汽车零配件的生产过程中，为提高零配件表面的耐磨性及美观性，技术人员往往在其表面镀一层碳化钨作为耐磨层。目前大多数镀膜采用物理气相沉积法，这就要求尺寸较大的碳化钨靶材。然而，由于碳化钨靶材的成型温度高，质量大，难加工且靶材性能要求高，导致碳化钨靶材的生产过程复杂且不稳定，使得已有靶材无法满足行业对于靶材质量的高要求。
[0003]CN 103567440A公开了一种用于石油勘探钻头镀膜的碳化钨靶材的制备方法，包括如下步骤：(1)将纯度99.999％的碳化钨粉装入石墨模具内，进行冷压预；(2)将装有经过预冷压成形的碳化钨粉的石墨模具放入放电等离子炉内，在保护气氛下升温至1600
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2200℃；(3)在上述放电等离子炉内进行快速放电以形成短路，瞬间烧结上述碳化钨粉，形成晶粒细小均匀的碳化钨靶材毛坯；(4)上述毛坯随炉冷却后取出，并按要求进行机械加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于装饰镀膜的碳化钨靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：(1)筛分纯度≥99.98％的碳化钨原料，得到碳化钨粉末；(2)将步骤(1)所得碳化钨粉末进行烧结温度为1800
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1900℃，压制压力为35
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45MPa的真空热压烧结处理，得到碳化钨靶坯；(3)将步骤(2)所得碳化钨靶坯进行机加工，得到碳化钨靶材；其中，步骤(2)所述真空热压烧结处理包括顺次进行的保温处理和保温保压处理，且所述保温处理的升温过程分为至少3个升温阶段。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述碳化钨粉末的平均粒径≤5μm。3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述真空热压烧结处理包括依次进行的装模、抽真空、升温、保温处理、加压、保温保压处理、撤压与冷却。4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述装模具体为：将碳化钨粉末装入石墨模具中并进行压实，保证装模后平面度≤0.5mm；优选地，所述抽真空具体为：将石墨模具放入真空烧结炉中，抽真空至炉内绝对压力≤100Pa。5.根据权利要求3或4所述的制备方法，其特征在于，所述升温过程分为3个升温阶段，即依次进行的第一升温阶段、第二升温阶段和第三升温阶段；优选地，所述第一升温阶段的升温速率为8
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12℃/min；优选地，所述第一升温阶段的目标温度为900
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1100℃；优选地，所述第二升温阶段的升温速率为4
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6℃/min；优选地，所述第二升温阶段的目标温度为1450
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1550℃；优选地，所述第三升温阶段的升温速率为2
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4℃/min；优选地，所述第三升温阶段的目标温度为1800
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1900℃；优选地，所述保温处理的时间为80
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100min。6.根据权利要求3
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5任一项所述的制备方法，其特征在于，所述加压的速率为0.4
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0.6MPa/min；优选地，所述加压的目标压力为35
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45MPa；优选地，所述保温保压处理的时间为80
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100min。7.根据权利要求3
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6任一项所述的制备方法，其特征在于，所述撤压具体为：向真空烧结炉中充入氮气和/或氩气至炉内绝对压力为0.02
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0.04MPa；优选地，所述冷却具体为：待模具随炉冷却至温度≤200℃，取出模具并晾至室温。8.根据权利要求1
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7任一项所述的制备方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，杨慧珍，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：