氮氧化物传感器及其芯片制造技术

本发明专利技术公开了一种氮氧化物传感器及其芯片，所述氮氧化物传感器芯片包括芯体，设于所述芯体内的多孔陶瓷功能区、参比电极及其参比气体通道，以及将所述芯体内设置的电极引出至表面的触点；所述多孔陶瓷功能区包括预定孔隙率的进气区、第一测试区和第二测试区，所述进气区和所述第一测试区之间设有第一限流控制区，所述第一测试区和所述第二测试区之间设有第二限流控制区。本发明专利技术取消了所有空腔的制作，改为在多孔陶瓷的相关部位形成所需要的孔隙率及所需的孔径大小，不但降低了加工难度，简化了制作工艺，还避免了产品在烧结过程中容易出现腔体变形、芯体表面塌陷等诸多不良，提升了瓷体强度，还具有更高的设计和工艺灵活性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
氮氧化物传感器及其芯片


[0001]本专利技术涉及氮氧化物传感器的结构设计
，尤其涉及一种氮氧化物传感器及其芯片的结构改良。

技术介绍

[0002]国家环保法规要求，汽车尾气必须执行国五、国六标准，并在2021年07月01日全面推行国六标准，其中与国五标准相比，重型车国六氮氧化物限值减低了77％。在现行国六的排放标准下，氮氧传感器作为重要的一种尾气测量工具，配合卡车后处理系统(SCR)，来共同实现车辆尾气的达标排放。其原理为：当发动机尾气被排出时，氮氧传感器将汽车尾气中NOx(NO1和/或NO2)气体检测出来并转换成标准的CAN(ControllerAreaNetwork，控制器局域网络)总线数字信号，系统根据检测到的NOx气体浓度，控制喷出尿素并与其混合，在SCR系统催化剂表面上利用NH3还原NOx，反应成无害的N2，从而使汽车排出的尾气满足排放标准。
[0003]氮氧传感器器芯体工作原理是：汽车尾气通过进气腔口中的扩散障碍层进入到进气缓冲腔，气体在此腔室内得到适度的缓冲和稳定，然后继续通过下一层扩散障碍层进入到第一内部腔室，此本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮氧化物传感器芯片，其特征在于，包括芯体，设于所述芯体内的多孔陶瓷功能区、参比电极及其参比气体通道层，以及将所述芯体内设置的电极引出至表面的触点；所述参比气体通道层具有预设的孔隙率；所述多孔陶瓷功能区包括预定孔隙率的进气区、预定孔隙率的第一测试区和预定孔隙率的第二测试区，所述预定孔隙率的进气区和所述预定孔隙率的第一测试区之间设有第一限流控制区，所述预定孔隙率的第一测试区和所述预定孔隙率的第二测试区之间设有第二限流控制区。2.如权利要求1所述的氮氧化物传感器芯片，其特征在于，所述的多孔陶瓷功能区的主体材料为氧化铝和/或氧化锆，所述参比气体通道层的主体材料为氧化铝和/或氧化锆。3.如权利要求1所述的氮氧化物传感器芯片，其特征在于，所述陶瓷功能区的陶瓷孔隙率为30％～60％，孔径大小为5um
‑
50um。4.如权利要求1所述的氮氧化物传感器芯片，其特征在于，所述第一限流控制区的陶瓷孔隙率为10～30％，孔径大小为0.5um
‑
5um；所述第二限流控制区的陶瓷孔隙率为10～30％，孔径大小为0.5um
‑
5um。5.如权利要求1所述的氮氧化物传感器芯片，其特征在于，所述第一限流控制区的陶瓷孔隙率小于所述预定孔隙率的第一测试区的陶瓷孔隙率，所述第一限流控制区的陶瓷孔径小于所述预定孔径的第一测试区的陶瓷孔径，所述第二限流控制区的陶瓷孔隙率小于所述预定孔隙率的第二测试区的陶瓷孔隙率，所述第二限流控制区的陶瓷孔径小于所述预定孔径的第二测试区的陶瓷孔径。6.如权利要求1所述的氮氧化...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏财能，毛海波，贾广平，
申请(专利权)人：深圳顺络电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：