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氮氧化物传感器及其芯片制造技术
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下载氮氧化物传感器及其芯片的技术资料
文档序号:31308793
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本发明公开了一种氮氧化物传感器及其芯片,所述氮氧化物传感器芯片包括芯体,设于所述芯体内的多孔陶瓷功能区、参比电极及其参比气体通道,以及将所述芯体内设置的电极引出至表面的触点;所述多孔陶瓷功能区包括预定孔隙率的进气区、第一测试区和第二测试区,...
该专利属于深圳顺络电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳顺络电子股份有限公司授权不得商用。
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