彩色和红外图像传感器制造技术

本公开涉及一种彩色和红外图像传感器(1)，包括硅衬底(10)、在衬底中和衬底上形成的MOS晶体管(16)、至少部分地形成在衬底中的第一光电二极管(2)、覆盖衬底的光敏层(26)，以及彩色滤光片(34)，光敏层插入在衬底和彩色滤光片之间。图像传感器还包括位于光敏层的任一侧并界定光敏层中的第二光电二极管(4)的第一和第二电极(22、28)，第一光电二极管被配置为吸收可见光谱和红外光谱的第一部分的电磁波，光敏层被配置为吸收可见光谱的电磁波并且允许红外光谱的所述第一部分的电磁波通过。红外光谱的所述第一部分的电磁波通过。红外光谱的所述第一部分的电磁波通过。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】彩色和红外图像传感器
[0001]本专利申请主张法国专利申请FR19/02157的优先权，该专利申请在此纳入作为参考。


[0002]本公开涉及图像传感器或电子成像器。

技术介绍

[0003]图像传感器因其小型化而被用于许多领域，尤其是电子设备领域。图像传感器存在于人机界面应用或图像捕获应用中。
[0004]对于某些应用，希望有一种能够同时获取彩色图像和红外图像的图像传感器。这种图像传感器在下面的描述中称为彩色和红外图像传感器。彩色和红外图像传感器的应用示例涉及获取其上投射有结构化红外图案的物体的红外图像。这种图像传感器的使用领域具体是机动车辆、无人机、智能手机、机器人和增强现实系统。
[0005]像素在入射辐射的作用下收集电荷的阶段称为像素的积分阶段。积分阶段之后通常是读出阶段，在此期间测量像素收集的电荷量。
[0006]彩色和红外图像传感器的设计需要考虑多个约束条件。首先，彩色图像的分辨率不应小于利用传统彩色图像传感器获得的分辨率。
[0007]其次，对于某些应用，可能需要图像传感器为全局快门类型，即实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种彩色和红外图像传感器(1)，包括硅衬底(10)、在所述衬底中和所述衬底上形成的MOS晶体管(16；60、62、70、72、74)、至少部分地形成在所述衬底中的第一光电二极管(2)、覆盖所述衬底的光敏层(26)，以及彩色滤光片(34)，所述光敏层插入在所述衬底和所述彩色滤光片之间，所述图像传感器还包括位于所述光敏层的任一侧并界定所述光敏层中的第二光电二极管(4)的第一和第二电极(22、28)，所述第一光电二极管被配置为吸收可见光谱和红外光谱的第一部分的电磁波，并且所述光敏层被配置为吸收所述可见光谱的电磁波并且允许所述红外光谱的所述第一部分的电磁波通过，所述图像传感器针对要获取的所述彩色图像的每个像素，包括至少第一、第二和第三子像素(SPix)，每个子像素包括所述第二光电二极管(4)之一，所述第一光电二极管(2)之一，以及所述彩色滤光片(34)之一，所述第一、第二和第三子像素的所述彩色滤光片允许所述可见光谱的不同范围内的电磁波通过，所述图像传感器针对要获取的所述彩色图像的每个像素，包括至少一个第四子像素(SPix)，所述第四子像素包括所述第二光电二极管(4)之一和所述彩色滤光片(34)之一，所述第四子像素的所述彩色滤光片被配置为阻挡所述可见光谱的所述电磁波，以及允许位于所述可见光谱和所述红外光谱的所述第一部分之间的所述红外光谱的第三部分中的电磁波通过，所述光敏层(26)被配置为吸收所述红外光谱的所述第三部分中的电磁波。2.根据权利要求1所述的图像传感器，还包括红外滤光片(40)、插入在所述光敏层(26)和所述红外滤光片之间的彩色滤光片(34)，所述红外滤光片被配置为允许所述可见光谱的电磁波通过，允许所述红外光谱的所述第一部分的电磁波通过，并且阻挡所述可见光谱和所述红外光谱的所述第一部分之间的所述红外光谱的至少第二部分的电磁波。3.根据权利要求2所述的图像传感器，包括插入在所述光敏层(26)和所述红外滤光片(50)之间的透镜阵列(36)。4.根据权利要求1至3中任一项所述的图像传感器，其中对于要获取的所述彩色图像的每个像素，所述第二电极(28)由所述第一、第二和第三子像素(S...

【专利技术属性】
技术研发人员：卡米尔，
申请(专利权)人：爱色乐居，
类型：发明
国别省市：