【技术实现步骤摘要】
连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器
[0001]本技术主要涉及气体质量流量控制器的
，具体为连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器。
技术介绍
[0002]质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
[0003]一般的气体质量流量控制器，连接不够稳定，连接不够密闭容易泄漏。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为市面上大部分现有技术安装连接与防泄漏不够好，在实际使用中，存在一定的局限性。
技术实现思路
[0005]为了改善安装连接和防泄漏问题，本技术提供连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器。
[0006]采用如下的技术方案：
[0007]连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器，包括气体质量流量控制器本体、控制器、进气管、出气管；
[0008]所述气体质量流量控制器本体内设有内腔，所述控制器安装在所述气体质量流量控制器本体的上端面，所述进...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器，其特征在于：包括气体质量流量控制器本体(1)、控制器(2)、进气管(3)、出气管(4)；所述气体质量流量控制器本体(1)内设有内腔(11)，所述控制器(2)安装在所述气体质量流量控制器本体(1)的上端面，所述进气管(3)与所述出气管(4)分别安装在所述气体质量流量控制器本体(1)的左右两端，所述进气管(3)与所述出气管(4)的一端伸入到所述内腔(11)内，所述进气管(3)与所述出气管(4)伸入到所述内腔(11)的一端均设有安装槽(31)，所述安装槽(31)内安装有防漏组件(32)，所述进气管(3)与所述出气管(4)的另一端均安装有安装组件(41)。2.根据权利要求1所述的连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器，其特征在于：所述防漏组件(32)包括安装在所述安装槽(31)内的气囊(321)，所述进气管(3)与所述出气管(4)内对称设有进气槽(311)，所述进气槽(311)内安装有充气管(312)，所述充气管(312)的一端伸入到所述进气管(3)与所述出气管(4)内，另一端与所述气囊(321)连通。3.根据权利要求1所述的连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器，其特征在于：所述安装组件(41)包括对称安装在所述进气管(...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨兆宝，
申请(专利权)人：无锡爱拓利电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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