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本实用新型提供了连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器,包括气体质量流量控制器本体、控制器、进气管、出气管;所述气体质量流量控制器本体内设有内腔,所述控制器安装在所述气体质量流量控制器本体的上端面,所述进气管与所述出气管分别安装在所述气体质量...该专利属于无锡爱拓利电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡爱拓利电子科技有限公司授权不得商用。
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