本实用新型专利技术公开了一种点火棒及废气处理装置。所述点火棒包括点火棒本体和点火端子，所述点火棒本体具有点火端口，所述点火端子设在所述点火棒本体内并延伸至所述点火端口，所述点火棒还包括粉尘吸收组件；所述粉尘吸收组件包括：套管，连接在所述点火端口上，且所述套管的内壁具有粗糙的表面；及至少两层滤网，每层所述滤网设在所述套管远离所述点火端口一侧的内壁上。本实用新型专利技术可以保护点火端子不受粉尘覆盖，延长点火棒的使用寿命。延长点火棒的使用寿命。延长点火棒的使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
点火棒及废气处理装置
[0001]本技术涉及蚀刻领域，具体涉及一种点火棒及废气处理装置。
技术介绍
[0002]干法蚀刻制程的刻蚀反应中，会产生大量含有大量氟/氯化合物粉尘的尾气，此类氯化物/氟化物粉尘经过废气处理器燃烧生成大量氧化硅及金属氧化物粉尘，这些粉尘易附着，而干法蚀刻的废气处理器通过点火棒完成点火，但是点火棒常因附着大量粉尘而点火失效，造成宕机。
技术实现思路
[0003]本技术实施例提供一种点火棒及废气处理装置，可以保护点火端子不受粉尘覆盖，延长点火棒的使用寿命。
[0004]本技术实施例提供一种点火棒，包括点火棒本体和点火端子，所述点火棒本体具有点火端口，所述点火端子设在所述点火棒本体内并延伸至所述点火端口，所述点火棒还包括粉尘吸收组件；所述粉尘吸收组件包括：
[0005]套管，连接在所述点火端口上，且所述套管的内壁具有粗糙的表面；及
[0006]至少两层滤网，每层所述滤网设在所述套管远离所述点火端口一侧的内壁上。
[0007]可选的，在本技术的一些实施例中，所述套管的内壁的表面粗糙度大于2微米。
[0008]可选的，在本技术的一些实施例中，所述套管的内径为所述点火端口的内径的2至5倍。
[0009]可选的，在本技术的一些实施例中，所述滤网的网格孔径为0.01毫米至1毫米。
[0010]可选的，在本技术的一些实施例中，各层所述滤网的网格孔径按照由远离所述点火端口向靠近所述点火端口的方向呈递减的方式排列。
[0011]可选的，在本技术的一些实施例中，所述粉尘吸收组件包括两层滤网，按照由远离所述点火端口向靠近所述点火端口的方向，第一层滤网的网格孔径为0.1毫米至1毫米，第二层滤网的网格孔径为0.01毫米至0.09毫米。
[0012]可选的，在本技术的一些实施例中，所述粉尘吸收组件包括三层滤网，按照由远离所述点火端口向靠近所述点火端口的方向，第一层滤网的网格孔径为0.3毫米至1毫米，第二层滤网的网格孔径为0.1毫米至0.25毫米，第三层滤网的网格孔径为0.01毫米至0.09毫米。
[0013]可选的，在本技术的一些实施例中，所述套管包括对称的第一部分和第二部分，所述第一部分与第二部分可拆卸连接。
[0014]可选的，在本技术的一些实施例中，所述套管与所述点火端口可拆卸连接。
[0015]相应的，本技术实施例还提供一种废气处理装置，其包括上述任一所述的点
火棒。
[0016]本技术点火棒具有粉尘吸收组件，粉尘吸收组件包括套管和滤网，套管的粗糙的内壁和滤网能够吸附收集粉尘，保护点火端子不受粉尘覆盖，避免点火端子因粉尘附着而点火失效，延长点火棒的使用寿命。本技术的点火棒尤其适用于干法蚀刻废气处理器，通过使用具有粉尘吸收组件的点火棒，能够避免点火端子因粉尘附着而点火失效，减少宕机风险，延长保养时间。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是本技术实施例提供的点火棒的一可选实施方式的结构示意图；
[0019]图2是图1示出的粉尘吸收组件的立体结构示意图；
[0020]图3是本技术实施例提供的点火棒的另一可选实施方式的结构示意图；
[0021]图4是图3示出的粉尘吸收组件的立体结构示意图。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。此外，应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。在本技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上”和“下”通常是指装置实际使用或工作状态下的上和下，具体为附图中的图面方向；而“内”和“外”则是针对装置的轮廓而言的。
[0023]本技术实施例提供一种点火棒及废气处理装置。以下分别进行详细说明。需说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对实施例优选顺序的限定。
[0024]本技术实施例提供了一种点火棒，尤其适用于干法蚀刻尾气处理装置的点火棒。请参阅图1至图4，所述点火棒包括点火棒本体100，点火端子200和粉尘吸收组件300。
[0025]请参阅图1和图3，所述点火棒本体100具有点火端口110。所述点火棒本体100的点火端口110的内部呈中空状。
[0026]请参阅图1和图3，所述点火端子200设在所述点火棒本体100内，且所述点火端子200延伸至所述点火端口110。需要说明的是，所述点火端子200也可以称为打火端子。
[0027]请参阅图1和图3，所述粉尘吸收组件300包括套管310和至少两层滤网320。
[0028]请参阅图1和图3，所述套管310连接在所述点火棒本体100的点火端口110上。示例性的，所述套管310的一端与所述点火端口110的外壁连接。所述套管310与所述点火端口110优选为可拆卸连接，例如螺纹连接，以方便拆卸或更换所述粉尘吸收组件300。
[0029]所述套管310的内径优选为所述点火端口110的内径的2至5倍。可以理解的是，所述套管310的内径与所述点火端口110的内径的比值可以在2至5之间任意取值，例如：2、
2.5、3、3.5、4、4.5或5。
[0030]在一实施例中，所述套管310一体成型。在另一实施例中，所述套管310包括对称的第一部分和第二部分，所述第一部分与所述第二部分可拆卸连接。以方便拆卸和更换部件。
[0031]所述套管310的内壁具有粗糙的表面，可以例如通过喷砂打磨的方式来使所述套管310的内壁表面呈粗糙状或提高所述套管310内壁的表面粗糙度。通过使所述套管310的内壁呈粗糙状能够使所述套管310的内壁具有吸附粉尘的作用，例如燃烧干法刻蚀制程尾气过程中产生的氧化硅及金属氧化物等粉尘。
[0032]所述套管310的内壁的表面粗糙度RA优选为大于2微米(μm)，更优选为2微米至100微米。所述表面粗糙度RA可以例如为3.2微米、6.3微米、12.5微米、25微米、50微米、100微米等。通过将所述套管310的内壁的表面粗糙度RA控制在上述范围内能够较好地吸附粉尘。
[0033]请参阅图1至图4，所述粉尘吸收组件300包括至少两层滤网320。可以理解的是，所述滤网320的数量可以为两层、三层、四层或更多。所述滤网320用于吸附进入所述套管310内部的粉尘，例如燃烧干法刻蚀制程尾气过程中本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种点火棒，包括点火棒本体和点火端子，所述点火棒本体具有点火端口，所述点火端子设在所述点火棒本体内并延伸至所述点火端口，其特征在于，所述点火棒还包括粉尘吸收组件；所述粉尘吸收组件包括：套管，连接在所述点火端口上，且所述套管的内壁具有粗糙的表面；及至少两层滤网，每层所述滤网设在所述套管远离所述点火端口一侧的内壁上。2.根据权利要求1所述的点火棒，其特征在于，所述套管的内壁的表面粗糙度大于2微米。3.根据权利要求1所述的点火棒，其特征在于，所述套管的内径为所述点火端口的内径的2至5倍。4.根据权利要求1所述的点火棒，其特征在于，所述滤网的网格孔径为0.01毫米至1毫米。5.根据权利要求1所述的点火棒，其特征在于，各层所述滤网的网格孔径按照由远离所述点火端口向靠近所述点火端口的方向呈递减的方式排列。6.根据权利要求5所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫鑫，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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