开关制造技术

本发明专利技术提供一种开关，它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第１根梁及第２根梁及第３根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极４～９，靠静电力使各梁１～３的位置变化、使梁１～３间的静电容量变化。通过使第１根梁１及第２根梁２间产生静电力，使两根梁都可动，从而梁１、２能高速地电耦合。另外，使配置在第２根梁２对面的第３根梁３产生静电力，预先靠近第１根梁１及第２根梁２，一旦第１根梁１及第２根梁间的静电力解除，第２根梁２向第３根梁３一侧移动，第１根梁１及第２根梁２的电耦合解除。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于电路的、利用由外部施加的力使电极机械移动、从而让信号通过或将其断开的开关。
技术介绍
作为电路用开关，已知的有使用已有空气桥(air bridge)的开关。在图16中，124为可动空气桥、126、128为分别在基板129上形成的电极，靠电极126、128和空气桥124间产生的静电力，使空气桥124向电极126或128水平移动。信号若输入空气桥124，则空气桥124与电极126或电极128间电连接，使信号断开或通过，它作为开关而动作(例如参考专利文献1)。另外，已知有如图17所示的微型机电RF开关。微型机电RF开关210具有下述的结构，即在基板221上形成多次弯折的弹簧悬架装置222，在其上悬架着微型平台220。该微型平台220下形成信号线，在信号线和微型平台220间一加上直流电位，就产生静电力，则平台220被信号线吸引。这时，通过多次弯折弹簧结构，使构成梁的材料的内部残余应力几乎由弹簧的多次弯折部分释放，起到机械应力缓冲器的作用(例如参考专利文献2)。特开2001-84884号公报[专利文献2]特开2001-143595号公报但是，在上述专利文献1的结构中用静电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种开关，其特征在于，包括配置成相互间保持一定间隔的第１、第２、第３根梁，以及对所述第１、第２、第３根梁各施加直流电位以对第１、第２、第３根梁外加驱动力的外加电压装置，其中，所述第１、第２、第３根梁均为可动电极。

【技术特征摘要】
JP 2002-7-26 2002-217872;JP 2002-7-26 2002-217873;1.一种开关，其特征在于，包括配置成相互间保持一定间隔的第1、第2、第3根梁，以及对所述第1、第2、第3根梁各施加直流电位以对第1、第2、第3根梁外加驱动力的外加电压装置，其中，所述第1、第2、第3根梁均为可动电极。2.如权利要求1所述的开关，其特征在于，在开关ON时，利用所述外加电压装置在所述第1根梁及所述第2根梁间产生驱动力，使第1根梁和第2根梁接触并电耦合，在开关OFF时，在所述第2根梁及所述第3根梁间产生驱动力，使第1根梁和第2根梁分开。3.如权利要求1所述的开关，其特征在于，所述第1、第2、第3根梁的间隔配置成能满足规定隔离度要求的间隔。4.如权利要求2所述的开关，其特征在于，所述外加电压装置对所述第1、第2、第3根梁外加一定时间的直流电压。5.如权利要求2所述的开关，其特征在于，所述第1根梁和所述第2根梁电耦合后，使所述第3根梁可动。6.如权利要求1所述的开关，其特征在于，通过改变所述梁的形状，使梁的弹簧常数变化。7.如权利要求1所述的开关，其特征在于，与所述第1根、第3根梁相比，所述第2根梁的形状较小。8.如权利要求2所述的开关，其特征在于，与所述第1根、第3根梁相比，所述第2根梁的形状较小，在第1根和第2根梁电耦合的状态下，对第3根梁外加来自第1根梁的驱动力，使第3根梁可向第1根、第2根梁侧移动。9.如权利要求2所述的开关，其特征在于，在所述第1根和第2根梁电耦合时，把第1根梁的电位和第2根梁的电位调换，不对所述第3根梁产生驱动力，使第3根梁可动。10.如权利要求2所述的开关，其特征在于，在所述第2根梁和第3根梁间需...

【专利技术属性】
技术研发人员：中西淑人，清水纪智，中村邦彦，内藤康幸，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]