等离子体源及其启动方法技术

本申请涉及一种等离子体源及其启动方法，所述等离子体源包括：射频线圈及其对应的第一电离室，至少一个感应线圈及其对应的第二电离室，以及供气管路；其中，感应线圈串接在射频线圈前端，第一电离室与第二电离室串联连接；供气管路导入气体进入第一电离室，由射频线圈进行电离，未电离的气体进入第二电离室，由感应线圈进行二级电离后，输出等离子体；射频线圈产生磁场对进入第一电离室的气体进行电离，同时感应线圈通过感应射频线圈产生的磁场而产生电感，对进入第二电离室的气体进行电离；该技术方案，实现了多级射频电离效果，极大地提高了电离效率，可以在真空低气压下实现稳定的气体电离，增强了真空沉积过程的有效反应。增强了真空沉积过程的有效反应。增强了真空沉积过程的有效反应。

【技术实现步骤摘要】
等离子体源及其启动方法


[0001]本申请涉及离子源
，特别是一种等离子体源及其启动方法。

技术介绍

[0002]在等离子源主要包括平行平板等离子体源(电容耦合)、微波等离子体源和电感耦合(ICP)高频等离子体源等几种形式；电容耦合等离子体源一般是采用两圆型平行平板作为上下电极，射频电源通过配网耦合到上下极板上。微波等离子体利用微波电子回旋共振(ECR)技术来维持对反应气体的辉光放电，对控制薄膜的成分和镀膜内应力的较为灵活。电感耦合高频等离子体源主要是利用电感耦合高频等离子体装置，由高频发生器和感应圈、辉光放电管和供气系统、试样引入系统三部分组成；高频发生器产生高频磁场以供给等离子体能量，用高频点火装置产生放电，形成的离子与电子在电磁场作用下，与原子碰撞并使之电离形成更多的载流子，感应线圈将能量耦合给等离子体，并维持等离子辉光放电。
[0003]等离子体源的应用主要包括反应离子刻蚀RIE和等离子体增强化学气相沉积PECVD；其中，反应离子刻蚀的刻蚀过程同时兼有物理和化学两种作用，辉光放电在零点几到几十帕的低真空下进行。基于辉光放电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子体源，其特征在于，包括：射频线圈及其对应的第一电离室，至少一个感应线圈及其对应的第二电离室，以及供气管路；其中，所述感应线圈串接在射频线圈前端，第一电离室与第二电离室串联连接；所述供气管路导入气体进入第一电离室，由射频线圈进行电离，未电离的气体进入第二电离室，由所述感应线圈进行二级电离后，输出等离子体；所述射频线圈产生磁场对进入第一电离室的气体进行电离，同时所述感应线圈通过感应所述射频线圈产生的磁场而产生电感，对进入第二电离室的气体进行电离。2.根据权利要求1所述的等离子体源，其特征在于，所述第一电离室的截面积小于所述第二电离室的截面积；所述气体进入第一电离室的气体浓度高，进入第二电离室的气体空间体积大。3.根据权利要求1所述的等离子体源，其特征在于，所述感应线圈包括串联的第一线圈和第二线圈，其中，第一线圈套入所述射频线圈内，所述第二线圈包裹在所述第二电离室外。4.根据权利要求3所述的等离子体源，其特征在于，所述射频线圈包裹有金属带，用于增强射频线圈的磁场传导效率；所述第一线圈与射频线圈之间包裹有第一金属圈，用于增强第一线圈的导电性；所述第二电离室与第二线圈还设置有第二金属圈，用于增强第二线圈...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟基，吴秋生，冀鸣，赵刚，易洪波，
申请(专利权)人：佛山市博顿光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：