反射式磁控溅射镀膜厚度监测装置、镀膜机及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种反射式磁控溅射镀膜厚度监测装置、镀膜机、监测方法及镀膜方法，包括监测片，以及安装在镀膜机门板上的反射率测量机构，所述镀膜机门板上设置有供所述反射率测量机构测量所述监测片的反射率的测量孔。通过设计监测片，在单层镀膜完成后对该监测片进行反射率光谱测量，得到该层镀膜实际厚度，从而可以及时地在单层镀膜完成后进行补镀或后续镀层优化，从而实现镀膜过程中的膜层优化和改善，有效提高镀膜的稳定性，降低废品率，提高镀膜质量。膜质量。膜质量。

【技术实现步骤摘要】
反射式磁控溅射镀膜厚度监测装置、镀膜机及方法


[0001]本专利技术涉及玻璃基板镀膜
，尤其涉及一种反射式磁控溅射镀膜厚度监测装置、镀膜机、监测方法及镀膜方法。

技术介绍

[0002]随着汽车行业的飞速发展，车载显示模块日益增多，触控面板的导入已替代了绝大部分物理按键，因此车载玻璃盖板的镀膜需求也逐步增加，盖板产品的技术要求也变得越来越高。
[0003]目前车载盖板市场镀膜工艺要求以ARAF为主导，AR膜层具有提高玻璃透射率、降低玻璃反射率的作用，在实际运用中以减少电子视屏在环境光源下产生反光问题，使对比更强烈，景物图像更清晰。AF膜层特性是将有机氟化物材料沉积到基材上，使基材表面不仅具备较高的透过率而且还具有防水、耐磨等功能应用。
[0004]车载玻璃盖板制造中，ARAF成膜结果不仅需要满足上述光学特性，还需保证镀膜最终呈现颜色的一致性，因此薄膜厚度监测的准确性变得尤为重要。
[0005]当前盖板制造产业中，磁控溅射镀膜技术应用较为广泛，但膜厚监控几乎都以时间或晶振方式为主。这种监控方式的稳定性相对较差，镀膜厚度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反射式磁控溅射镀膜厚度监测装置，其特征在于，包括监测片，以及安装在镀膜机门板上的反射率测量机构，所述镀膜机门板上设置有供所述反射率测量机构测量所述监测片的反射率的测量孔。2.根据权利要求1所述的反射式磁控溅射镀膜厚度监测装置，其特征在于，所述监测片通过固定机构安置在所述镀膜机内部的转架电机上，且与待镀膜的玻璃基板位于同一高度。3.根据权利要求2所述的反射式磁控溅射镀膜厚度监测装置，其特征在于，所述固定机构包括挂板、固定盘，其中，所述挂板背面连接所述转架电机，所述挂板正面设置有用于安置所述固定盘的凹槽，所述监测片固定在所述固定盘上；所述监测片的高度与所述测量孔的高度相适配。4.根据权利要求3所述的反射式磁控溅射镀膜厚度监测装置，其特征在于，所述固定机构还包括盖板；所述固定盘中心可旋转地固定在所述凹槽内，所述固定盘上周向地布置有多个固定位，多个所述监测片一一对应地固定在多个所述固定位中，所述盖板盖装在所述凹槽上，且与所述挂板固定连接，所述盖板上开设有可使其中一个所述监测片露出的缺口，所述缺口的高度与所述测量孔的高度相适配；通过旋转驱动机构带动所述固定盘绕所述固定盘中心旋转。5.根据权利要求4所述的反射式磁控溅射镀膜厚度监测装置，其特征在于，所述旋转驱动机构包括旋转电机和传动连接件；所述镀膜机门板上开设有驱动轴孔，所述旋转电机的电机轴穿过所述驱动轴孔，并通过所述传动连接件固定连接所述固定盘的中心。6.根据权利要求4所述的反射式磁控溅射镀膜厚度监测装置，其特征在于，所述固定盘...

【专利技术属性】
技术研发人员：李青，李赫然，罗靖，任书明，王升，刘春元，向鸿，吕先跃，
申请(专利权)人：东旭光电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：