一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置，包括：团簇离子加速装置，所述团簇离子加速装置包括第一加速电极和第二加速电极，其中第一加速电极对团簇离子施加脉冲高压并作起始信号A，使团簇离子向第一反射装置偏转并被初加速，其中第二加速电极使团簇离子被加速2

【技术实现步骤摘要】
一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置


[0001]本专利技术涉及团簇束流检测
，尤其涉及一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置。

技术介绍

[0002]团簇是一种包含数个至数千个原子的粒子，属于亚纳米或纳米尺度，可以产生于固态、液态、气态物质。当具有一定速度的的团簇离子束与固体表面相互作用时，会产生与单原子离子、分子束显著不同的效应：高质荷比、横向溅射效应、多重散射现象，并且在相同的离子束流情况下，团簇离子能够传输更多的物质。
[0003]TOF是Time of flight的简写，直译为飞行时间的意思。飞行时间技术在广义上可理解为通过测量物体、粒子或波在固定介质中飞越一定距离所耗费时间，从而进一步理解离子或媒介某些性质的技术。在团簇束流综合沉积中，用于测量团簇离子的质量，但是现有技术中，TOF装置都较为简单，由于团簇离子受到的初速度可以不同，导致测量不够精准。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决上述的问题，而提出的一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置。
>[0005]为了实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置，其特征在于，包括：团簇离子加速装置(1)，所述团簇离子加速装置(1)包括第一加速电极和第二加速电极，其中第一加速电极对团簇离子施加脉冲高压并作起始信号A，使团簇离子向第一反射装置偏转并被初加速，其中第二加速电极使团簇离子被加速2
‑
5keV；第一飞行通道(2)，所述第一飞行通道(2)与团簇离子加速装置(1)的输出端连通，加速后的团簇离子在第一飞行通道(2)内自由飞行；第一反射装置(3)，所述第一反射装置(3)位于第一飞行通道(2)内用于反射团簇离子，所述第一反射装置(3)与第一飞行通道(2)的轴线夹角为10
‑
90
°
；第二飞行通道(4)，所述第二飞行通道(4)与第一飞行通道(2)连通，且第二飞行通道(4)位于第一反射装置(3)的反射线处轴向设置，第一反射装置(3)反射后的团簇离子在第二飞行通道(4)内自由飞行；第一接收器(5)，探测团簇离子并给出到达信号B1；时间数字转换器(6),用于记录起始信号An与到达信号Bn之间的时间差,n>0，计算出团簇的质量。2.根据权利要求1所述的一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置，其特征在于，所述第一飞行通道(2)内沿团簇离子运动路径设置有电极调制器(11)，所述电极调制器(11)用于调制团簇离子，调制出选择性离子和非选择离子，所述第一飞行通道(2)内偏离团簇离子运动路径平行设置有偏转电极(12)，所述偏转电极(12)将选择性离子从团簇离子中偏移飞行。3.根据权利要求2所述的一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置，其特征在于，所述第一飞行通道(2)内设置有第二反射装置(10)，所述第二反射装置(10)位于偏转...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴鹏，刘风光，赵巍胜，
申请(专利权)人：北京航空航天大学合肥创新研究院北京航空航天大学合肥研究生院，
类型：发明
国别省市：