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本发明公开了一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置，包括：团簇离子加速装置，所述团簇离子加速装置包括第一加速电极和第二加速电极，其中第一加速电极对团簇离子施加脉冲高压并作起始信号A，使团簇离子向第一反射装置偏转并被初加速，其中第二加速电...该专利属于北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院）所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院）授权不得商用。