一种硅片检测装置制造方法及图纸

技术编号:31234804 阅读:22 留言:0更新日期:2021-12-08 10:15
本发明专利技术涉及硅片检测技术领域,公开了一种硅片检测装置。硅片检测装置包括传送单元、采集件、红外光源和调节组件。传送单元用于沿传送方向传送硅片;采集件和红外光源分别置于传送单元垂直于传送方向的两侧,红外光源发出的光线能够穿过硅片后到达采集件的采集端;调节组件设置有两个,两个调节组件分别连接于采集件和红外光源,调节组件能够调整采集件或红外光源的角度。本发明专利技术扩大了采集件与红外光源之间的相对角度的调节范围,保证了成像效果,提高了硅片上的隐裂等缺陷在采集到的图像上的清晰程度,保证了检测结果的准确度。保证了检测结果的准确度。保证了检测结果的准确度。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片检测装置


[0001]本专利技术涉及硅片检测
,尤其涉及一种硅片检测装置。

技术介绍

[0002]随着科技的发展,带来全球光伏行业的兴起。其中硅片是光伏产业重要材料之一,作为太阳能电池片的载体,硅片的质量的好坏决定了太阳能电池片转换效率的高低,因此检测硅片上的隐裂等缺陷是制作电池片的重要环节。
[0003]随着工业技术的发展,硅片生产线的速度不断提升,人工检测在速度上存在限制,无法跟上生产线的速度。因此机器视觉检测代替人工检测势在必行,利用高速触发摄像机对生产线上的硅片进行摄像,通过图像处理技术进行分析,检测出带有缺陷的硅片。现有技术中,用于检测硅片隐裂的装置成像效果较差,不能清晰的在图像上显示,不能保证硅片检测结果的准确性。
[0004]基于此,亟需一种硅片检测装置用来解决如上提到的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种硅片检测装置,扩大了采集件与红外光源之间的相对角度的调节范围,保证了成像效果,提高了硅片上的隐裂等缺陷在采集到的图像上的清晰程度,保证了检测结果的准确度。
[0006]为达此目的,本专利技术采用以下技术方案:
[0007]一种硅片检测装置,包括:
[0008]传送单元,用于沿传送方向传送硅片;
[0009]采集件;
[0010]红外光源,所述采集件和所述红外光源分别置于所述传送单元垂直于所述传送方向的两侧,所述红外光源发出的光线能够穿过所述硅片后到达所述采集件的采集端;
[0011]调节组件,设置有两个,两个所述调节组件分别连接于所述采集件和所述红外光源,所述调节组件能够调整所述采集件或所述红外光源的角度。
[0012]作为一种硅片检测装置的可选技术方案,所述调节组件包括基座和转动件,所述采集件或所述红外光源连接于所述转动件上,所述转动件上设置有转轴,所述转轴转动穿设于所述基座,所述转动件上开设有弧形槽,所述弧形槽的圆心位于所述转轴的轴线上,所述基座朝向所述转动件的一侧设置有凸起,所述凸起至少部分位于所述弧形槽内,且所述凸起能够沿所述弧形槽滑动。
[0013]作为一种硅片检测装置的可选技术方案,至少一个所述调节组件包括滑座,所述转动件上开设有滑槽,所述滑槽沿所述弧形槽的径向方向延伸,对应的所述采集件或所述红外光源连接于所述滑座,所述滑座能够沿所述滑槽滑动,以使对应的所述采集件或所述红外光源能够靠近或远离所述传送单元。
[0014]作为一种硅片检测装置的可选技术方案,所述硅片检测装置还包括移动组件,所
述移动组件设置有两个,两个所述移动组件与两个所述调节组件一一对应可拆卸连接,所述移动组件能够带动所述采集件或所述红外光源靠近或远离所述传送单元。
[0015]作为一种硅片检测装置的可选技术方案,所述移动组件包括滑轨、移动板和驱动件,所述滑轨垂直于所述传送方向设置,所述移动板与所述滑轨滑动配合,所述驱动件连接于所述移动板,所述驱动件能够驱动所述移动板沿所述滑轨滑动,所述移动板连接于所述调节组件。
[0016]作为一种硅片检测装置的可选技术方案,所述采集件和所述硅片之间的成像光路与所述红外光源发出的光源光路之间呈夹角设置,且所述成像光路、所述光源光路以及所述硅片能够相交于同一点。
[0017]作为一种硅片检测装置的可选技术方案,所述红外光源发出的所述光源光路与所述传送方向垂直设置,所述采集件与所述硅片之间的所述成像光路倾斜于所述传送方向设置;或,
[0018]所述红外光源发出的所述光源光路倾斜于所述传送方向设置,所述采集件与所述硅片之间的所述成像光路与所述传送方向垂直设置。
[0019]作为一种硅片检测装置的可选技术方案,所述传送单元包括沿所述传送方向间隔设置的两个传送件,所述传送件能够沿所述传送方向传送所述硅片,所述硅片置于所述传送件背离所述红外光源的一侧,两个所述传送件之间形成检测空间,所述红外光源发出的光线能够穿过所述检测空间到达所述硅片。
[0020]作为一种硅片检测装置的可选技术方案,所述采集件为短波红外线阵相机;和/或,所述红外光源为线光源,且能够发出短波红外光。
[0021]作为一种硅片检测装置的可选技术方案,所述硅片检测装置还包括上料单元,所述上料单元能够拾取所述硅片并向所述传送单元供给所述硅片。
[0022]本专利技术的有益效果:本专利技术提供的硅片检测装置包括传送单元、采集件、红外光源和调节组件,调节组件设置有两个,其中一个能够调节采集件的角度,便于调整采集件在硅片上的采集位置,便于调整至成像效果较好的位置,另一个调节组件能够调节红外光源的角度,利于调整采集件的采集位置的亮度,从而能够调整采集件采集到的图像的亮度,保证了成像效果。本实施例提供的硅片检测装置,设置两个调节组件,使得采集件与红外光源的角度均能够调整,扩大了采集件与红外光源之间的相对角度的调节范围,保证了成像效果,从而提高了硅片上的隐裂等缺陷在采集到图像上的清晰程度,保证了检测结果的准确度。而且,将红外光源和采集件分别设置在硅片的两侧,也避免了当采集件与红外光源设置在硅片同一侧时,红外光源发出的光被硅片直接反射至采集件内,进一步保证了成像质量。
附图说明
[0023]图1是本专利技术实施例提供的硅片检测装置上的硅片位于第一位置的正视图;
[0024]图2是本专利技术实施例提供的硅片检测装置上的硅片位于第一位置的结构示意图;
[0025]图3是本专利技术实施例提供的硅片检测装置上的硅片位于第二位置的正视图;
[0026]图4是本专利技术实施例提供的硅片检测装置上的硅片位于第二位置的结构示意图;
[0027]图5是图4中A处的局部放大图。
[0028]图中:
[0029]10、硅片;
[0030]1、采集件;2、红外光源;
[0031]3、调节组件;31、基座;32、转动件;321、弧形槽;322、滑槽;33、滑座;
[0032]4、传送件;41、检测空间。
具体实施方式
[0033]为使本专利技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面将结合附图对本专利技术实施例的技术方案做进一步的详细描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0034]在本专利技术的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0035]在本专利技术中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片检测装置,其特征在于,包括:传送单元,用于沿传送方向传送硅片(10);采集件(1);红外光源(2),所述采集件(1)和所述红外光源(2)分别置于所述传送单元垂直于所述传送方向的两侧,所述红外光源(2)发出的光线能够穿过所述硅片(10)后到达所述采集件(1)的采集端;调节组件(3),设置有两个,两个所述调节组件(3)分别连接于所述采集件(1)和所述红外光源(2),所述调节组件(3)能够调整所述采集件(1)或所述红外光源(2)的角度。2.根据权利要求1所述的硅片检测装置,其特征在于,所述调节组件(3)包括基座(31)和转动件(32),所述采集件(1)或所述红外光源(2)连接于所述转动件(32)上,所述转动件(32)上设置有转轴,所述转轴转动穿设于所述基座(31),所述转动件(32)上开设有弧形槽(321),所述弧形槽(321)的圆心位于所述转轴的轴线上,所述基座(31)朝向所述转动件(32)的一侧设置有凸起,所述凸起至少部分位于所述弧形槽(321)内,且所述凸起能够沿所述弧形槽(321)滑动。3.根据权利要求2所述的硅片检测装置,其特征在于,至少一个所述调节组件(3)包括滑座(33),所述转动件(32)上开设有滑槽(322),所述滑槽(322)沿所述弧形槽(321)的径向延伸,对应的所述采集件(1)或所述红外光源(2)连接于所述滑座(33),所述滑座(33)能够沿所述滑槽(322)滑动,以使对应的所述采集件(1)或所述红外光源(2)能够靠近或远离所述传送单元。4.根据权利要求1所述的硅片检测装置,其特征在于,所述硅片检测装置还包括移动组件,所述移动组件设置有两个,两个所述移动组件与两个所述调节组件(3)一一对应可拆卸连接,所述移动组件能够带动所述采集件(1)或所述红外光源(2)靠近或远离所述传送单元。5.根据权利要求4所述的硅片检测装置,其特征在于,...

【专利技术属性】
技术研发人员:卢亚宾曹深深云宏霞张聪梁坤
申请(专利权)人:博众精工科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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