清洗部件安装机构及基板清洗装置制造方法及图纸

一种清洗部件安装机构及基板清洗装置，清洗部件安装机构具有：清洗部件保持部(200)，该清洗部件保持部能够安装具有用于对基板(W)进行清洗的清洗部件的清洗部件组件(100)；部件旋转部(180)，该部件旋转部使由所述清洗部件保持部(200)保持的所述清洗部件组件(100)旋转；以及移动部(150)，该移动部使所述清洗部件保持部(200)以拆卸了所述清洗部件组件(100)的状态沿着轴向进行移动，并且定位于限制所述清洗部件保持部(200)的旋转的旋转固定位置。清洗部件保持部(200)的旋转的旋转固定位置。清洗部件保持部(200)的旋转的旋转固定位置。

【技术实现步骤摘要】
清洗部件安装机构及基板清洗装置


[0001]本专利技术涉及一种能够具有安装清洗部件组件且能够在安装了清洗部件组件的状态下进行旋转的清洗部件保持部的清洗部件安装机构及基板清洗装置。

技术介绍

[0002]以往，作为以高清洗度清洗抛光结束后的晶片等基板的方法，已知在通过由刷子、海绵构成的清洗部件摩擦基板的清洗面来进行刷洗(一次清洗)后，朝向基板喷射高压水(高速喷射流)，并且通过气蚀产生气泡来进行精清洗(二次清洗)。
[0003]作为清洗部件，例如已知辊型清洗部件、笔型清洗部件。作为一例，在日本特开2000
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301079号公报中，公开了一种基板清洗装置，具有：基板保持部，该基板保持部使基板大体在水平面内旋转并保持该基板；清洗件，该清洗件刷洗基板的被清洗面；以及清洗件保持部，该清洗件保持部将清洗件保持为能够绕该清洗件的轴线旋转。虽然辊型清洗部件、笔型清洗部件等清洗部件是适当地清洗并被利用，但是也在一定的周期进行更换。在更换清洗部件时，虽然将包括清洗部件的清洗部件组件安装于清洗部件保持部，但是由于清洗部件保持部旋转自如，因此安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洗部件安装机构，其特征在于，具备：清洗部件保持部，该清洗部件保持部能够安装具有用于对基板进行清洗的清洗部件的清洗部件组件；部件旋转部，该部件旋转部使由所述清洗部件保持部保持的所述清洗部件组件旋转；以及移动部，该移动部使所述清洗部件保持部以拆卸了所述清洗部件组件的状态沿着轴向进行移动，并且定位于限制所述清洗部件保持部的旋转的旋转固定位置。2.如权利要求1所述的清洗部件安装机构，其特征在于，所述移动部为弹性部件。3.如权利要求1或2所述的清洗部件安装机构，其特征在于，所述清洗部件保持部具有：通过所述部件旋转部而旋转的驱动部侧的清洗部件保持部和从动地进行旋转的从动部侧的清洗部件保持部，所述移动部设置于从动部侧的清洗部件保持部。4.如权利要求1或2所述的清洗部件安装机构，其特征在于，所述清洗部件保持部具有在周缘外侧突出的周缘突出部，所述周缘突出部与收容所述清洗部件保持部的至少一部分的收容部的内表面面接触，并且所述周缘突出部被按压向所述收容部的内表面，从而限制所述清洗部件保持部的旋转。5.如权利要求4所述的清洗部件安装机构，其特征在于，所述周缘突出部具有一个以上的槽部。6.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫崎充，藤本友章，井上拓也，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：