一种姿态可调的精密隔振平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种姿态可调的精密隔振平台，包括：上板、下板、被动隔振组件、主动隔振组件、振动传感器组件和控制器，被动隔振组件设置在下板与上板之间，主动隔振组件设置在下板与上板之间，振动传感器组件设置在下板和上板上，被动隔振组件的信号输出端和振动传感器组件的信号输出端与控制器的信号输入端电连接，控制器的信号输出端与主动隔振组件的信号输入端电连接。本实用新型专利技术通过在上板与下板之间安装被动隔振组件和主动隔振组件，通过主动隔振组件隔绝低频小幅振动，通过被动隔振组件隔绝高频大幅振动，从而实现降低上板与下板之间的振动频率和幅度的目的。之间的振动频率和幅度的目的。之间的振动频率和幅度的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种姿态可调的精密隔振平台


[0001]本技术涉及隔振领域，具体涉及一种姿态可调的精密隔振平台。

技术介绍

[0002]在超精密加工领域，环境振动是影响加工精度的重要因素，环境振动会传递到超精密加工设备，然后引发设备的振动，从而影响加工精度。因此，超精密机床与精密测量仪器都需要采用隔振装置来减轻和隔离环境振动。
[0003]隔振装置可分为被动隔振和主动隔振，其中被动隔振系统必须在系统共振频率倍以上的工作频带才能有效抑制振动，因而被动隔振无法满足对低频微小振动的隔振需求；主动隔振是通过主动进行反向振动来抵消低频微小振动，但是对于幅度较大的振动无法有效的隔振。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是主动隔振和被动隔振均存在无法弥补的缺陷，目的在于提供及一种姿态可调的精密隔振平台，解决了设备振动而影响加工精度的问题。
[0005]本技术通过下述技术方案实现：
[0006]一种姿态可调的精密隔振平台，包括：
[0007]上板；
[0008]下板，所述下板与所述上板平行设置；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种姿态可调的精密隔振平台，其特征在于，包括：上板；下板，所述下板与所述上板平行设置；被动隔振组件，所述被动隔振组件设置在所述下板与所述上板之间，且所述被动隔振组件的两端分别与所述下板和所述上板固定连接；主动隔振组件，所述主动隔振组件设置在所述下板与所述上板之间，且所述主动隔振组件的两端分别与所述下板和所述上板固定连接；振动传感器组件，所述振动传感器组件设置在所述下板和所述上板上；控制器，所述被动隔振组件的信号输出端和所述振动传感器组件的信号输出端与所述控制器的信号输入端电连接，所述控制器的信号输出端与所述主动隔振组件的信号输入端电连接。2.根据权利要求1所述的一种姿态可调的精密隔振平台，其特征在于，所述下板和所述上板均水平设置，且设定所述上板相对与所述下板所在的一侧为所述隔振平台的上侧；所述被动隔振组件包括多个伸缩杆和多个位移编码器，多个所述伸缩杆的下端与所述下板的外沿垂直固定连接，多个所述伸缩杆的上端与所述上板的外沿垂直固定连接，所述位移编码器固定设置在所述伸缩杆上，所述位移编码器的信号输出端与所述控制器的信号输入端电连接。3.根据权利要求2所述的一种姿态可调的精密隔振平台，其特征在于，所述伸缩杆包括气缸主体、活塞杆和挡块，所述气缸竖直设置且其内部设置有空腔，所述挡块水平设置在所述空腔内，并将所述空腔分隔为独立的上腔体和下腔体，所述上腔体的上侧面设置有通孔，所述活塞杆竖直设置，且所述活塞杆的下端穿过所述通孔与所述挡块的上侧面垂直固定连接；所述气缸主体的下端与所述下板固定连接，所述活塞杆的上端与所述上板固定连接。4.根据权利要求3所述的一种姿态可调的精密隔振平台，其特征在于，所述伸缩杆还包括气压调节组件，所述气压调节组件的供气端分别与所述上腔体和所述下腔体连通；所述气压调节组件包括气压泵和气管，所述气压泵的出气端通过气管分别与所述上腔体和所述下腔体连通，且所述气管上设置有电磁控制阀和减压阀；所述上腔体的上侧面和所述下腔体的下侧面均固定设置有缓冲橡胶垫。5.根据权利要求2所述的一种姿态可调的精密隔振平台，其特征在于，所述主动隔振组件包括垂直隔振系统和水平隔振系统，所述控制器的信号输出端分别与所述垂直隔振系统的控制信号输入端和所述水平隔振系统的控制信号输入端电连接；所述垂直隔振系统包括多个垂直移动音圈电机，所述垂直移动音圈电机包括第一定子、第一动子和第一壳体，所述第一定子和所述第一动子均设置在所述第一壳体内，所述第一定子通过第一支架与所述上板固定连接，所述第一动子与所述下板固定连接；所述水平...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄明，李加胜，阳红，魏巍，李星占，邓超东，刘品宽，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：新型
国别省市：