MPCVD微波反射自动调节三销钉装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了MPCVD微波反射自动调节三销钉装置，包括外壳，所述外壳一侧底端设置有腔体，所述腔体内部设置有销钉，所述销钉顶端设置有贯通轴步进电机，所述贯通轴步进电机内布设置有贯通轴螺杆，所述贯通轴螺杆底端设置有联杆，所述联杆底端与销钉相连接，所述外壳一侧设置有水冷铜管；通过贯通轴步进电机来自动调节销钉的高度，具有导程小精度高的特点，可以使微波的反射调节更加精确，采用通轴步进电机可以及时准确的对设备微波反射率进行主动调节，解放人员，避免人员实时的观测设备微波的反射率，再去根据要求调节三销钉的繁复工作，销钉与贯通轴步进电机直接连接，使得装置结构紧凑，重量轻，避免占用太多设备的空间。间。间。

【技术实现步骤摘要】
MPCVD微波反射自动调节三销钉装置


[0001]本技术涉及MPCVD
，特别涉及MPCVD微波反射自动调节三销钉装置。

技术介绍

[0002]MPCVD在工作中，需要通过三销钉来调节微波发生器产生的微波在谐振腔和反应室的反射，让微波达到最大化利用，使设备的效率最大。
[0003]目前采用的三销钉都是手动调节销钉的运动，手动调节不能及时对设备中微波反射的变化做出反应，且需要人员实时观察设备反射率，来做出调节，并且销钉调节过程中微波的泄露也会对人员有所伤害。
[0004]因此，有必要提供MPCVD微波反射自动调节三销钉装置解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]一要解决的技术问题
[0006]本技术的目的在于提供MPCVD微波反射自动调节三销钉装置，以解决上述
技术介绍
中现有手动调节不能及时对设备中微波反射的变化做出反应，且需要人员实时观察设备反射率，来做出调节，并且销钉调节过程中微波的泄露也会对人员有所伤害的问题。
[0007]二技术方案
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.MPCVD微波反射自动调节三销钉装置，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)一侧底端设置有腔体(6)，所述腔体(6)内部设置有销钉(5)，所述销钉(5)顶端设置有贯通轴步进电机(2)，所述贯通轴步进电机(2)内布设置有贯通轴螺杆，所述贯通轴螺杆底端设置有联杆(4)，所述联杆(4)底端与销钉(5)相连接，所述外壳(1)一侧设置有水冷铜管(8)，所述外壳(1)另一侧设置有卡套快拧接头(7)，所述卡套快拧接头(7)与水冷铜管(8)相连通。2.根据权利要求1所述的MPCVD微波反射自动调节三销钉装置，其特征在于：所述贯通轴螺杆底端设置有螺丝，所述贯通轴螺杆通过螺丝与联杆(4)相连接。3.根据权利要求2所述的MPCVD微波反射自动调节三销钉装置，其特征在于：所述联杆(4)底部设置有第一顶丝，所述联杆(4)通过第一顶丝与销钉(...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵俊芳，郭志刚，刘永宁，康勇，
申请(专利权)人：碳方程新材料山西有限公司，
类型：新型
国别省市：