MPCVD谐振腔外部冷却强制风冷装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了MPCVD谐振腔外部冷却强制风冷装置，包括腔体，所述腔体内部设置有石英腔，所述腔体顶部设置有风箱，所述风箱顶部一侧设置有热翅片，所述热翅片外侧设置有进水管和出水管，所述热翅片内部设置有导流通道，所述进水管和出水管均与导流通道相连通，所述热翅片底部设置有高速风扇，所述风箱顶部一侧设置有开口，所述高速风扇设置于开口处；采用的热翅片具有高密度热交换面积，可以使得周围空气进入高速风扇前获得充分冷却，采用高速风扇，能够快速带走石英腔外围的高热量，此结构可以有效对石英腔进行散热，延长了使用寿命，减少了更换频率和后期维护工作量，并且节省了安装成本，提升了设备外观，增加设备的安放灵活性。活性。活性。

【技术实现步骤摘要】
MPCVD谐振腔外部冷却强制风冷装置


[0001]本技术涉及MPCVD
，特别涉及MPCVD谐振腔外部冷却强制风冷装置。

技术介绍

[0002]MPVCD工作温度高达1000℃左右，对真空密封材料的耐受度提出了严峻考验，有效降低密封材料的使用环境温度是必要的。
[0003]但是目前的MPVCD设备在工作时多使用排风扇通过排放管把谐振腔外部的高热带走，在实际使用过程中冷却效率有限，并且需要额外增加排风管，安装麻烦，实用性不足。
[0004]因此，有必要提供MPCVD谐振腔外部冷却强制风冷装置解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]一要解决的技术问题
[0006]本技术的目的在于提供MPCVD谐振腔外部冷却强制风冷装置，以解决上述
技术介绍
中现有目前的MPVCD设备在工作时多使用排风扇通过排放管把谐振腔外部的高热带走，在实际使用过程中冷却效率有限，并且需要额外增加排风管，安装麻烦，实用性不足的问题。
[0007]二技术方案
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：MPCVD谐本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.MPCVD谐振腔外部冷却强制风冷装置，包括腔体(11)，所述腔体(11)内部设置有石英腔(6)，其特征在于：所述腔体(11)顶部设置有风箱(4)，所述风箱(4)顶部一侧设置有热翅片(1)，所述热翅片(1)外侧设置有进水管(9)和出水管(10)，所述热翅片(1)内部设置有导流通道，所述进水管(9)和出水管(10)均与导流通道相连通，所述热翅片(1)底部设置有高速风扇(3)，所述风箱(4)顶部一侧设置有开口，所述高速风扇(3)设置于开口处。2.根据权利要求1所述的MPCVD谐振腔外部冷却强制风冷装置，其特征在于：所述石英腔(6)顶部设置有上密封垫(5)，所述石英腔(6)底部设置有下密封垫(8)。3.根据权利要求2所述的MPCVD谐振腔外部冷却强制风冷装置，其特征在于：所述高速风扇(3)...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵俊芳，郭志刚，刘永宁，
申请(专利权)人：碳方程新材料山西有限公司，
类型：新型
国别省市：