工艺控制方法、系统与电子设备技术方案

本公开提供一种工艺控制方法、系统和电子设备，方法包括：响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息，所述转投关系是指当第一生产流程的产出物为第二生产流程的原料物时，所述第一生产流程和所述第二生产流程存在转投关系；如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息。本公开实施例可以提高集成电路的生产效率，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
工艺控制方法、系统与电子设备


[0001]本公开涉及集成电路制造
，具体而言，涉及一种能够提高制造效率的工艺控制方法、系统与电子设备。

技术介绍

[0002]在集成电路制造过程中，由于制造流程复杂，需要多个生产流程配合以生成最终产品，每个生产流程用于生产一种产出物，各生产流程之间存在上下游转投关系，即一个生产流程的产出物是另一个生产流程的原料物。
[0003]由于生产流程较多，各生产流程的产出物通常需要存放在公用库位以供其他生产流程取用，各生产流程也会从公用库位取用原料物。因此，每个生产流程均设置有其对应的原料物存储库位和产出物存储库位。
[0004]但是在实际生产中，由于生产流程数量较多，转投关系较复杂，且各生产流程的生成时间不同、信息修改时间不同，常常存在一个生产流程的取料动作无法从其设定的取料库位中成功取料，导致生产流程中断的现象。此外，各生产流程的污染等级不同，也常存在一个生产流程取出的原料物污染该生产流程的机台，导致晶圆报废的情况。
[0005]因此，亟需一种能够提高工艺效率、减少生产成本的工艺控制方法。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工艺控制方法，其特征在于，包括：响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息，所述转投关系是指当第一生产流程的产出物为第二生产流程的原料物时，所述第一生产流程和所述第二生产流程存在转投关系；如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息。2.如权利要求1所述的工艺控制方法，其特征在于，所述取料信息包括首站污染源标签，所述存料信息包括尾站污染源标签，所述如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息包括：如果所述第一生产流程的尾站污染源标签不等于所述第二生产流程的首站污染源标签，生成污染等级不匹配警报信息。3.如权利要求1或2所述的工艺控制方法，其特征在于，所述取料信息包括原料物存储库位，所述存料信息包括产出物存储库位，所述如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息包括：如果所述第一生产流程的产出物存储库位不等于所述第二生产流程的原料物存储库位，生成库位不匹配警报信息。4.如权利要求2所述的工艺控制方法，其特征在于，包括：所述首站污染源标签和所述尾站污染源标签的种类包括铜制程标签、非铜制程的金属制程标签和非铜制程的非金属制程标签。5.如权利要求1所述的工艺控制方法，其特征在于，所述响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息包括：在新建目标生产流程时，获取所述目标生产流程的存料信息、取料信息以及所述目标生产流程与其他生产流程之间的转投关系；获取与所述目标生产流程具有直接或间接转投关系的生产流程的存料信息和取料信息。6.如权利要求1所述的工艺控制方法，其特征在于，所述响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息包括：在任意目标生产流程的取料信息、存料信息或转投关系发生变动时，获取所述目标生产流程的存料信息、取料信息以及所述目标生产流程与其他生产流程之间的转投关系；获取与所述目标生产流程具有直接或间接转投关系的生产流程的存料信息和取料信息。7.如权利要求6所述的工艺控制方法，其特征在于，所述如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息包括：在任意目标生产流程的原料物存储库位发生变动时，判断变动后的原料物存储库位是否等于所述目标生产流程的转投前生产流程的产出物存储库位，如果不等则生成存储库位不匹配警报信息；在任意目标生产流程的产出物存储库位发生变动时，判断变动后的产出物存储库位是否等于所述目标生产流程的转投后生产流程的原料物存储库位，如果不等则生成存储库位
不...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈丹丹，谢明宏，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：