蒸镀掩模、蒸镀掩模及有机半导体元件的制造方法技术

一种蒸镀掩模(100)的制造方法，所述蒸镀掩模(100)具备树脂层(10)和形成在树脂层(10)上的磁性金属体(20)，其包含如下工序：(A)准备具有至少一个第一开口部(25)的磁性金属体(20)的工序；(B)准备基板(60)的工序；(C)在对基板(60)的表面赋予含有树脂材料的溶液或树脂材料的清漆后，通过进行热处理而形成树脂层(10)的工序；(D)将基板(60)上所形成的树脂层(10)以覆盖至少一个第一开口部(25)的方式固定于磁性金属体(20)上的工序；(E)在树脂层(10)中的位于磁性金属体(20)的至少一个第一开口部(25)内的区域形成多个第二开口部(13)的工序；(F)在工序(E)之后，自树脂层(10)剥离基板(60)的工序。基板(60)的工序。基板(60)的工序。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模、蒸镀掩模及有机半导体元件的制造方法


[0001]本专利技术涉及蒸镀掩模的制造方法，尤其是涉及具有树脂层与金属层层叠而成的结构的蒸镀掩模的制造方法。而且，本专利技术还涉及蒸镀掩模、及使用蒸镀掩模的有机半导体元件的制造方法。

技术介绍

[0002]近年来，有机EL(Electro Luminescence，电致发光)显示装置作为下一代显示器而受到关注。在目前批量生产的有机EL显示装置中，有机EL层的形成主要使用真空蒸镀法而进行。
[0003]蒸镀掩模一般是金属制的掩模(金属掩模)。然而，随着有机EL显示装置的高清晰化的发展，变得难以使用金属掩模而精度良好地形成蒸镀图案。其原因在于：如果是目前的金属加工技术，难以在成为金属掩模的金属板(例如厚度为100μm左右)上以高精度形成与较短的像素间距(例如10～20μm左右)对应的较小的开口部。
[0004]因此，作为用以形成高清晰度的蒸镀图案的蒸镀掩模，提出了具有树脂层与金属层层叠而成的结构的蒸镀掩模(以下也称为“层叠型掩模”)。
[0005]例如，专利文献1揭示了一种层叠本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀掩模的制造方法，所述蒸镀掩模具备树脂层和形成在所述树脂层上的磁性金属体，所述制造方法的特征在于，包含如下工序：(A)准备具有至少一个第一开口部的磁性金属体的工序；(B)准备基板的工序；(C)在对所述基板的表面赋予含有树脂材料的溶液或树脂材料的清漆后，通过进行热处理而形成树脂层的工序；(D)在所述工序(A)、所述工序(B)以及所述工序(C)之后，将所述基板上所形成的所述树脂层以覆盖所述至少一个第一开口部的方式固定于所述磁性金属体上的工序；(E)在所述树脂层形成多个第二开口部的工序；(F)在所述工序(D)以及所述工序(E)之后，自所述树脂层剥离所述基板的工序，所述工序(D)包括：(D1)通过镀覆在所述树脂层的一部分上形成金属层的工序；(D2)经由所述金属层将所述树脂层接合于所述磁性金属体上的工序，在所述工序(D)中，在所述树脂层中的位于所述至少一个第一开口部内的区域不存在磁性金属。2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述工序(D)之后进行所述工序(E)，所述多个第二开口部形成于所述树脂层中的位于所述磁性金属体的所述至少一个第一开口部内的区域。3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述工序(C)与所述工序(D)之间进行所述工序(E)。4.根据权利要求1至3中任一项所述的制造方法，其特征在于，进一步包含在所述磁性金属体的周缘部设置框架的工序。5.根据权利要求1至4中任一项所述的制造方法，其特征在于，在所述工序(C)中，在如下条件下进行所述热处理，即，在所述树脂层中，在层的面内方向上生成在室温下大于0.2MPa的拉伸应力。6.根据权利要求1至5中任一项所述的制造方法，其特征在于，在所述工序(F)中，将所述基板剥离后，所述磁性金属体被赋予来自所述树脂层的压缩应力。7.根据权利要求1至6中任一项所述的制造方法，其特征在于，所述工序(D2)是将所述金属层熔接于所述磁性金属体上，由此经由所述金属层而将所述树脂层接合于所述磁性金属体上的工序。8.根据权利要求1至7中...

【专利技术属性】
技术研发人员：西田光志，崎尾进，岸本克彦，
申请(专利权)人：堺显示器制品株式会社，
类型：发明
国别省市：