蒸镀掩模、蒸镀掩模及有机半导体元件的制造方法技术

一种蒸镀掩模(100)的制造方法，所述蒸镀掩模(100)具备树脂层(10)和形成在树脂层(10)上的磁性金属体(20)，其包含如下工序：(A)准备具有至少一个第一开口部(25)的磁性金属体(20)的工序；(B)准备基板(60)的工序；(C)在对基板(60)的表面赋予含有树脂材料的溶液或树脂材料的清漆后，通过进行热处理而形成树脂层(10)的工序；(D)将基板(60)上所形成的树脂层(10)以覆盖至少一个第一开口部(25)的方式固定于磁性金属体(20)上的工序；(E)在树脂层(10)中的位于磁性金属体(20)的至少一个第一开口部(25)内的区域形成多个第二开口部(13)的工序；(F)在工序(E)之后，自树脂层(10)剥离基板(60)的工序。基板(60)的工序。基板(60)的工序。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模、蒸镀掩模及有机半导体元件的制造方法


[0001]本专利技术涉及蒸镀掩模的制造方法，尤其是涉及具有树脂层与金属层层叠而成的结构的蒸镀掩模的制造方法。而且，本专利技术还涉及蒸镀掩模、及使用蒸镀掩模的有机半导体元件的制造方法。

技术介绍

[0002]近年来，有机EL(Electro Luminescence，电致发光)显示装置作为下一代显示器而受到关注。在目前批量生产的有机EL显示装置中，有机EL层的形成主要使用真空蒸镀法而进行。
[0003]蒸镀掩模一般是金属制的掩模(金属掩模)。然而，随着有机EL显示装置的高清晰化的发展，变得难以使用金属掩模而精度良好地形成蒸镀图案。其原因在于：如果是目前的金属加工技术，难以在成为金属掩模的金属板(例如厚度为100μm左右)上以高精度形成与较短的像素间距(例如10～20μm左右)对应的较小的开口部。
[0004]因此，作为用以形成高清晰度的蒸镀图案的蒸镀掩模，提出了具有树脂层与金属层层叠而成的结构的蒸镀掩模(以下也称为“层叠型掩模”)。
[0005]例如，专利文献1揭示了一种层叠型掩模，其层叠有树脂膜和作为金属磁性体的保持构件。在树脂膜上形成着与所需蒸镀图案对应的多个开口部。在保持构件上形成着尺寸比树脂膜的开口部大的狭缝。树脂膜的开口部配置于狭缝内。因此，在使用专利文献1的层叠型掩模的情况下，与树脂膜的多个开口部对应地形成蒸镀图案。即使是较小的开口部，也能够以高精度形成于比一般的金属掩模用金属板更薄的树脂膜上。
[0006]在树脂膜上形成如上所述的较小的开口部时，适宜地使用激光烧蚀法。在专利文献1中记载了如下的方法：对支撑材料(玻璃基板等)上所载置的树脂膜照射激光，形成所需尺寸的开口部。
[0007]图28的(a)～(d)分别是用以说明专利文献1中所揭示的现有的蒸镀掩模的制造方法的示意性工序剖视图。
[0008]在专利文献1中，首先如图28的(a)所示那样，在树脂膜81上形成具有开口部(狭缝)85的金属层82，获得层叠膜80。其次，如图28的(b)所示那样，在规定的面内方向对层叠膜80赋予张力的状态下，将层叠膜80安装于框架87上。其后，如图28的(c)所示那样，将层叠膜80载置于玻璃基板90上。此时，使树脂膜81的与金属层82为相反侧的面经由乙醇等液体88紧密接触于玻璃基板90上。其后，如图28的(d)所示那样，通过对树脂膜81中的由于金属层82的狭缝85而露出的部分照射激光L，在树脂膜81上形成多个开口部89。如此地进行而制造层叠型蒸镀掩模900。现有技术文献专利文献
[0009][专利文献1]日本专利特开2014
‑
205870号公报

技术实现思路

本专利技术所要解决的技术问题
[0010]然而，在图28所例示的现有的制造方法中存在如下问题：难以以高精度加工树脂膜，在树脂膜的开口部的周缘产生毛边。
[0011]如果在树脂膜产生毛边，则变得难以使所完成的蒸镀掩模紧密接触于成为蒸镀对象的基板(以下也称为“蒸镀对象基板”)上，可能在蒸镀掩模与蒸镀对象基板之间产生间隙。因此，如果使用现有的蒸镀掩模，则存在无法获得与蒸镀掩模的开口部对应的高清晰的蒸镀图案的可能性。详细情况如后所述。
[0012]另外，虽然尝试了在树脂膜的加工后通过擦拭等去除毛边，但并没有提出可抑制毛边产生自身的方法。
[0013]本专利技术是鉴于上述事实而成的，其目的在于提供可以在高清晰蒸镀图案的形成中适宜地使用的层叠型蒸镀掩模、及其制造方法。而且，本专利技术的其他目的在于提供使用此种蒸镀掩模的有机半导体元件的制造方法。解决问题的方案
[0014]本专利技术的一实施方式的蒸镀掩模的制造方法是具备树脂层和形成在所述树脂层上的磁性金属体的蒸镀掩模的制造方法，包含如下工序：(A)准备具有至少一个第一开口部的磁性金属体的工序；(B)准备基板的工序；(C)在对所述基板的表面赋予含有树脂材料的溶液或树脂材料的清漆后，通过进行热处理而形成树脂层的工序；(D)将所述基板上所形成的所述树脂层以覆盖所述至少一个第一开口部的方式固定于所述磁性金属体上的工序；(E)在所述树脂层形成多个第二开口部的工序；(F)在所述工序(E)之后，自所述树脂层剥离所述基板的工序。
[0015]在某一实施方式中，在所述工序(D)之后进行所述工序(E)，所述多个第二开口部形成于所述树脂层中的位于所述磁性金属体的所述至少一个第一开口部内的区域。
[0016]在某一实施方式中，在所述工序(C)与所述工序(D)之间进行所述工序(E)。
[0017]在某一实施方式中，上述方法进一步包含在所述磁性金属体的周缘部设置框架的工序。
[0018]在某一实施方式中，在所述工序(C)中，在如下条件下进行所述热处理，即，在所述树脂层中，在层的面内方向上生成在室温下大于0.2MPa的拉伸应力。
[0019]在某一实施方式中，所述至少一个第一开口部的宽度为30mm以上，如果将在所述工序(F)中剥离所述基板后，将所述磁性金属体保持于水平方向上时的所述树脂层中的位于所述磁性金属体的所述至少一个第一开口部内的区域的最大挠曲量设为δ，则在所述工序(C)中，在如下条件下进行所述热处理，即，在所述树脂层中生成所述最大挠曲量δ成为5μm以下的拉伸应力。
[0020]在某一实施方式中，如果将所述至少一个第一开口部的最小宽度设为W，将在所述工序(F)中剥离所述基板后，将所述磁性金属体保持于水平方向上时的所述树脂层中的位于所述磁性金属体的所述至少一个第一开口部内的区域的最大挠曲量设为δ，则在所述工序(C)中，在如下条件下进行所述热处理，即，对所述树脂层赋予δ/W成为0.01％以下的拉伸应力。
[0021]在某一实施方式中，在所述工序(F)中，将所述基板剥离后，所述磁性金属体被赋
予来自所述树脂层的压缩应力。
[0022]在某一实施方式中，所述树脂层是聚酰亚胺层，所述基板是玻璃基板，所述工序(C)的所述热处理包含将赋予了所述含有树脂材料的溶液或所述树脂材料的清漆的所述基板，以30℃/min以上的速度升温至300℃以上600℃以下的温度的工序。
[0023]在某一实施方式中，所述工序(D)包含：在所述树脂层的一部分上形成粘接层的工序(D1)，经由所述粘接层将所述树脂层接合于所述磁性金属体上的工序(D2)。
[0024]在某一实施方式中，所述粘接层是金属层，工序(D2)是将所述金属层熔接于所述磁性金属体上，由此经由所述金属层而将所述树脂层接合于所述磁性金属体上的工序。
[0025]在某一实施方式中，所述至少一个第一开口部的宽度为30mm以上，在所述树脂层中的位于所述磁性金属体的所述至少一个第一开口部内的区域并不存在磁性金属。
[0026]在某一实施方式中，所述磁性金属体具有开放式掩模结构。
[0027]本专利技术的一实施方式的蒸镀掩模具备：框架；磁性金属体，支撑于所述框架上，包含至少一个第一开口部；树脂层，配置于所述磁性金属体上，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀掩模的制造方法，所述蒸镀掩模具备树脂层和形成在所述树脂层上的磁性金属体，所述制造方法的特征在于，包含如下工序：(A)准备具有至少一个第一开口部的磁性金属体的工序；(B)准备基板的工序；(C)在对所述基板的表面赋予含有树脂材料的溶液或树脂材料的清漆后，通过进行热处理而形成树脂层的工序；(D)在所述工序(A)、所述工序(B)以及所述工序(C)之后，将所述基板上所形成的所述树脂层以覆盖所述至少一个第一开口部的方式固定于所述磁性金属体上的工序；(E)在所述树脂层形成多个第二开口部的工序；(F)在所述工序(D)以及所述工序(E)之后，自所述树脂层剥离所述基板的工序，所述工序(D)包括：(D1)通过镀覆在所述树脂层的一部分上形成金属层的工序；(D2)经由所述金属层将所述树脂层接合于所述磁性金属体上的工序，在所述工序(D)中，在所述树脂层中的位于所述至少一个第一开口部内的区域不存在磁性金属。2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述工序(D)之后进行所述工序(E)，所述多个第二开口部形成于所述树脂层中的位于所述磁性金属体的所述至少一个第一开口部内的区域。3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述工序(C)与所述工序(D)之间进行所述工序(E)。4.根据权利要求1至3中任一项所述的制造方法，其特征在于，进一步包含在所述磁性金属体的周缘部设置框架的工序。5.根据权利要求1至4中任一项所述的制造方法，其特征在于，在所述工序(C)中，在如下条件下进行所述热处理，即，在所述树脂层中，在层的面内方向上生成在室温下大于0.2MPa的拉伸应力。6.根据权利要求1至5中任一项所述的制造方法，其特征在于，在所述工序(F)中，将所述基板剥离后，所述磁性金属体被赋予来自所述树脂层的压缩应力。7.根据权利要求1至6中任一项所述的制造方法，其特征在于，所述工序(D2)是将所述金属层熔接于所述磁性金属体上，由此经由所述金属层而将所述树脂层接合于所述磁性金属体上的工序。8.根据权利要求1至7中...

【专利技术属性】
技术研发人员：西田光志，崎尾进，岸本克彦，
申请(专利权)人：堺显示器制品株式会社，
类型：发明
国别省市：